特表 2024-547154 研磨パッドのトリミング装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-12-26

(54)【発明の名称】研磨パッドのトリミング装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 53/017 20120101AFI20241219BHJP

   B24B 53/12 20060101ALI20241219BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20241219BHJP

【ＦＩ】

B24B53/017 A

B24B53/12 Z

H01L21/304 622M

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024539441

(86)(22)【出願日】2022-12-30

(85)【翻訳文提出日】2024-07-31

(86)【国際出願番号】 CN2022144028

(87)【国際公開番号】W WO2023131075

(87)【国際公開日】2023-07-13

(31)【優先権主張番号】202210004130.7

(32)【優先日】2022-01-05

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】520128152

【氏名又は名称】杭州▲衆▼硅▲電▼子科技有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】110001841

【氏名又は名称】弁理士法人ＡＴＥＮ

(72)【発明者】

【氏名】何 紅秀

(72)【発明者】

【氏名】楊 淵思

(72)【発明者】

【氏名】周 智鵬

【テーマコード（参考）】

3C047

5F057

【Ｆターム（参考）】

3C047AA16

3C047AA34

3C047EE04

5F057DA03

5F057EB27

5F057FA39

(57)【要約】

本発明は、研磨パッドのトリミング装置を開示し、以下を含む。接続アームは、水平に延伸する。トリミングヘッドユニットは、接続アームの一端に設けられ、研磨パッドのトリミングに用いられる。ベースユニットは、接続アームの他端に設けられ、接続アームと可動的に接続し、トリミングヘッドユニットを連れて垂直に上下移動するように接続アームを駆動し、トリミングヘッドユニットを垂直方向に向けて研磨パッドに接近又は遠ざける。本発明は、トリミング過程における均一で安定した正圧力を安定的に実現でき、研磨トリミング過程の一致性を保証する。運動拡大機構ではなく、トリミングヘッドユニットが研磨パッドに運動する過程における研磨パッドへの衝撃作用を効果的に軽減することができる。拡大作用がなく、トリミングヘッドユニットのワークステーション状態の一致性をより容易に保証できる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

研磨パッドのトリミング装置であって、
水平に延伸する接続アーム（１）と、
前記接続アーム（１）の一端に配置され、研磨パッドをトリミングするためのトリミングヘッドユニット（２）と、
前記接続アーム（１）の他端に配置されるベースユニット（３）と、を含み、
前記ベースユニット（３）は、前記接続アーム（１）と可動的に接続し、前記トリミングヘッドユニット（２）を連れて垂直に上下移動するように前記接続アーム（１）を駆動して、前記トリミングヘッドユニット（２）を研磨パッドに垂直な方向に向けて研磨パッドに接近又は遠ざける、ことを特徴とする研磨パッドのトリミング装置。

【請求項2】

前記接続アーム（１）は、水平姿勢で前記トリミングヘッドユニット（２）を連れて垂直に上下移動する、ことを特徴とする請求項１に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項3】

前記トリミングヘッドユニット（２）は、垂直に上下移動して研磨パッドと面接触し、且つ面接触の状態を保持して研磨パッドのトリミングを完了する、ことを特徴とする請求項１に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項4】

前記ベースユニット（３）は、少なくとも、
取り付け座（３１）と、
前記取り付け座（３１）に対して垂直に上下移動でき、前記接続アーム（１）と接続する継手（３２）と、
前記接続アーム（１）と接続し、前記接続アーム（１）の駆動で前記取り付け座（３１）に沿って垂直に上下移動できる可動接続板（３３）と、
を含む、ことを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項5】

前記ベースユニット（３）は、前記接続アーム（１）を貫通して前記可動接続板（３３）の上面に当接し、前記接続アーム（１）と前記可動接続板（３３）との隙間の大きさを調整し、前記接続アーム（１）が水平姿勢にあることを保証するための調整アセンブリ（３４）をさらに含む、ことを特徴とする請求項４に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項6】

前記調整アセンブリ（３４）は、少なくとも２つの第一調整部材（３４１）を含み、前記第一調整部材（３４１）は、前記接続アーム（１）の長手方向に沿って間隔を置いて配置され、前記少なくとも２つの第一調整部材（３４１）は連携して、前記接続アーム（１）の長手方向における傾斜姿勢を克服するための、前記接続アーム（１）と前記可動接続板（３３）との間の第１夾角を形成する、ことを特徴とする請求項５に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項7】

前記調整アセンブリ（３４）は、少なくとも２つの第二調整部材（３４２）を含み、前記第二調整部材（３４２）は、前記接続アーム（１）の幅方向に沿って間隔を置いて配置され、前記少なくとも２つの第二調整部材（３４２）は連携して、前記接続アーム（１）の幅方向における傾斜姿勢を克服するための、前記接続アーム（１）と前記可動接続板（３３）との間の第２夾角を形成する、ことを特徴とする請求項６に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項8】

前記第一調整部材（３４１）及び前記第二調整部材（３４２）は、互いに垂直に配置される、ことを特徴とする請求項７に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項9】

前記第一調整部材（３４１）及び前記第二調整部材（３４２）の総数は６個であり、前記接続アーム（１）の中心軸線で対称に配置された２組に分けられる、ことを特徴とする請求項７に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項10】

前記接続アーム（１）と前記可動接続板（３３）との間は、前記第一調整部材（３４１）及び前記第二調整部材（３４２）に近接する締結具（３５）により接続されている、ことを特徴とする請求項７に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項11】

前記取り付け座（３１）には、垂直に延伸したガイド機構（３１１）が設けられ、前記可動接続板（３３）は、前記ガイド機構（３１１）に沿って垂直に上下に移動する、ことを特徴とする請求項４に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項12】

前記ガイド機構（３１１）と前記トリミングヘッドユニット（２）は、前記取り付け座（３１）の両側にそれぞれ設けられている、ことを特徴とする請求項１１に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項13】

前記ガイド機構（３１１）の上下両端には、前記可動接続板（３３）の上下の移動ストロークを制限するストッパ（３１２）がそれぞれ形成されている、ことを特徴とする請求項１１に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項14】

前記継手（３２）は、前記可動接続板（３３）と別体に設けられ、又は、前記継手（３２）は、前記可動接続板（３３）と一体に設けられている、ことを特徴とする請求項４に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項15】

前記継手（３２）は、動力機構（３６）の駆動によって上下に動き、前記継手（３２）と前記動力機構（３６）との間に可動隙間（３７）が形成され、
或いは、前記継手（３２）は、前記動力機構（３６）と一体的に接続されている、ことを特徴とする請求項４に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項16】

前記動力機構（３６）は、シリンダである、ことを特徴とする請求項１５に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項17】

前記接続アーム（１）の端部に下部が開口したカバー体（１１）が形成され、前記継手（３２）、前記可動接続板（３３）は、それぞれカバー体（１１）の内上面に接続され、
前記カバー体（１１）の上面に、透かし彫り部（１１１）を形成する、ことを特徴とする請求項４に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項18】

前記トリミングヘッドユニット（２）は、駆動ユニット（２１）とトリミングシート（２２）とを含む、ことを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【請求項19】

前記ベースユニット（３）は、揺動ユニット（４）に接続され、前記揺動ユニット（４）は固定ベース（５）に接続され、前記揺動ユニット（４）はベースユニット（３）、接続アーム（１）及びトリミングヘッドユニット（２）の全周方向の揺動を駆動するのに用いられる、ことを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載の研磨パッドのトリミング装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体集積回路チップ製造設備の分野に属し、特に研磨パッドのトリミング装置に関する。

【背景技術】

【0002】

化学機械研磨平坦化（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｌａｎａｒｉｚａｔｉｏｎ、ＣＭＰ）設備では、ウェハは、粗い研磨パッド表面で研磨する。研磨時間が長くなるにつれて、研磨パッド表面は、平らに研磨され、研磨の効果を失う。ダイヤモンド砥石車盤付きのトリミング器で研磨パッド表面をトリミングし、研磨パッド表面を粗くして摩擦力を持たせ、研磨の機能を継続させる。

【0003】

研磨過程全体を完了するためには、研磨パッドのトリミング器は、高さ方向で研磨パッドに接近する過程が必要であり、現在、研磨パッドのトリミング器のこのＵＰ／Ｄｏｗｎ過程は、基本的に梃子の原理によって実現している。動力装置は、梃子の短いアーム一端を制御することによって梃子の長いアーム一端の俯仰を実現し、図１に示すように、即ち研磨パッドのトリミング器のトリミングヘッドのＵＰ／Ｄｏｗｎ過程を実現する。

【0004】

この方法にはいくつかの欠陥がある。まず、研磨パッドの摩損過程において、研磨パッドの高さの変化により、研磨パッドのトリミング器を支持するロボットアームの空間角度αは、絶えず変化する過程である。つまり、研磨パッドのトリミング器が研磨パッドに加える圧力方向Ｆ２は、絶えず変化し、これによりトリミング後の研磨パッドの状態が相対的に安定した状態に保証できなくなり、最終的に研磨パッドで研磨を完了したウェハも一致性を保証できなくなる。次に、梃子の原理自身の特性により、α角は、ほとんどの場合０ではなく、研磨パッドのトリミング器が研磨パッドに与える圧力は、ほとんどの場合正圧力ではない。即ち、研磨パッドのトリミング器の異なる区域の研磨圧力は、一致ではなく、研磨パッドのトリミング器の作業過程中の揺動速度が限られ、これは研磨パッドの異なる区域のトリミング程度の一致ではなく、即ち、研磨パッドの形態の一致性を保証できなく、研磨を完了したウェハの一致性に影響する。さらに、この梃子の原理のＵＰ／Ｄｏｗｎの実現方式は、実際は運動増幅機構であり、動力装置の変位を増幅して研磨パッドのトリミング器ヘッドの運動を実現するが、同時に研磨パッドのトリミング器の空間位置の安定性を大幅に低下させることになる。動力装置の変動が倍に増幅されて研磨パッドのトリミング器のトリミングヘッドに伝達しやすく、その結果として、研磨パッドのトリミング器が研磨パッドに接近する過程中の運動衝撃が増幅されて、研磨パッドが衝撃で損傷される可能性が増大する。最後に、研磨パッドのトリミング器は、ＵＰ／Ｄｏｗｎ運動過程中にＵＰ／Ｄｏｗｎの極限位置が存在し、ハードリミットを設定する必要があり、ハードリミットは加工、取り付け、デバッグ過程中の誤差がすべて梃子機構により増幅されるため、これによって異なるワークステーション上の研磨パッドのトリミング器の一致性を保証できない。

【発明の概要】

【0005】

従来の技術の不足を克服するため、本発明は、動力方向と運動方向が一致し、接続アームがトリミングヘッドユニットを連れて平行移動の方式で研磨パッドのトリミングを実現させ、トリミング圧力がさらに均一な研磨パッドのトリミング装置を提供する。

【0006】

本発明がその技術問題を解決するために採用する技術方案は、研磨パッドのトリミング装置であり、
水平に延伸する接続アームと、
前記接続アームの一端に配置され、研磨パッドをトリミングするためのトリミングヘッドユニットと、
前記接続アームの他端に配置されるベースユニットと、を含む。
前記ベースユニットは、前記接続アームと可動的に接続し、前記トリミングヘッドユニットを連れて垂直に上下移動するように前記接続アームを駆動して、前記トリミングヘッドユニットを研磨パッドに垂直な方向に向けて研磨パッドに接近又は遠ざける。

【0007】

本発明は、ベースユニットを利用して接続アームを駆動して垂直に上下移動させ、トリミングヘッドユニットを垂直に下へ研磨パッドに対しトリミングさせ、動力方向と運動方向の一致性を保証する。平行移動の方式によってトリミングヘッドユニットの上下運動を実現し、トリミング過程における均一で、安定した研磨圧力を実現し、従来技術の梃子原理に存在するトリミングヘッドユニットが研磨パッドに加える圧力が絶えず変化する問題を解決し、作用力の拡大問題もなく、研磨パッド形態の一致性を保証する。

【0008】

さらに、前記接続アームは、水平姿勢でトリミングヘッドユニットを連れて垂直に上下移動してもよい。

【0009】

さらに、前記トリミングヘッドユニットは、垂直に上下移動して研磨パッドと面接触し、かつ面接触の状態を保持して研磨パッドのトリミングを完了してもよい。

【0010】

さらに、前記ベースユニットは、少なくとも、
取り付け座と、
前記取り付け座に対して垂直に上下移動でき、前記接続アームと接続する継手と、
前記接続アームと接続し、前記接続アームの駆動で前記取り付け座に沿って垂直に上下移動できる可動接続板とを含んでもよい。
可動接続板は、トリミングヘッドユニットと接続アームがもたらす曲げモーメントを耐えることができ、構造全体の安定性を保証する。

【0011】

さらに、前記ベースユニットは、前記接続アームを貫通して前記可動接続板の上面に当接し、前記接続アームと前記可動接続板との隙間の大きさを調節し、前記接続アームが水平姿勢であることを保証するための調整アセンブリを含んでもよい。
調節アセンブリの設置は、接続アームの水平姿勢を実現するための調節を補助することができ、それにより部品の加工精度に対する要求をある程度低減することができる。

【0012】

さらに、前記調節アセンブリは、少なくとも二つの第一調整部材を含み、前記第一調整部材は、前記接続アームの長手方向に沿って間隔を置いて配置され、少なくとも二つの第一調整部材は連携して、前記接続アームの長手方向における傾斜姿勢を克服するための、前記接続アームと前記可動接続板との間の第１夾角を形成してもよい。

【0013】

さらに、前記調節アセンブリは、少なくとも二つの第二調整部材を含み、前記第二調整部材は接続アームの幅方向に沿って間隔を置いて配置され、少なくとも二つの第二調整部材は連携して、前記接続アームの幅方向における傾斜姿勢を克服するための、前記接続アームと前記可動接続板との間の第２夾角を形成してもよい。

【0014】

さらに、前記第一調整部材と前記第二調整部材は、互いに垂直に配置されてもよい。

【0015】

さらに、前記第一調整部材と前記第二調整部材の総数は６個であり、前記接続アームの中心軸線で対称に配置された２組に分けられてもよい。

【0016】

さらに、前記接続アームと前記可動接続板との間は、前記第一調整部材と前記第二調整部材に近接する締結具により接続されてもよい。

【0017】

さらに、前記取り付け座には、垂直に延伸するガイド機構が設けられ、前記可動接続板は、ガイド機構に沿って垂直に上下に移動してもよい。

【0018】

さらに、前記ガイド機構と前記トリミングヘッドユニットは、それぞれ前記取り付け座の両側に設けられていてもよい。トリミングヘッドユニット、継手及びガイド機構は、左から右の順に配置される。継手は、トリミングヘッドユニットとガイド機構との間に配置される。稼動過程中に、動力機構の継手に対する推力が加わっても、一定程度にトリミングヘッドユニットの自重がガイド機構に対する曲げモーメントを克服でき、ガイド機構の負荷を減少し、ガイド機構の寿命を増加する。

【0019】

さらに、前記ガイド機構の上下両端には、前記可動接続板の上下の移動ストロークを制限するストッパがそれぞれ形成されていてもよい。ストッパは、ＵＰ／Ｄｏｗｎ運動過程全体でリミッターとしての作用を果たし、トリミングヘッドユニットの安全稼動範囲を保証する。

【0020】

さらに、前記継手と前記可動接続板は、別体に設けられ、或は、前記継手と前記可動接続板は一体に設けられてもよい。

【0021】

さらに、前記継手は、動力機構の駆動で上下に動き、前記継手と前記動力機構との間に可動隙間を形成する。
或は、前記継手は、前記動力機構と一体的に接続されていてもよい。

【0022】

可動隙間の存在は、継手と動力機構との間に保護作用を形成でき、両者の柔軟性を増加する。継手と動力機構が一体的に接続して全体構造をさらに簡単にさせる。

【0023】

さらに、前記動力機構は、シリンダであってもよい。

【0024】

さらに、前記接続アームの端部に下部が開口したカバー体が形成され、前記継手、前記可動接続板はそれぞれカバー体の内上面に接続され、前記カバー体の上面に透かし彫り部を形成してもよい。

【0025】

さらに、前記トリミングヘッドユニットは、駆動ユニットとトリミングシートを含んでもよい。

【0026】

さらに、前記ベースユニットは、揺動ユニットに接続され、前記揺動ユニットは固定ベースに接続され、前記揺動ユニットは、前記ベースユニット、前記接続アーム及び前記トリミングヘッドユニットの全周方向の揺動を駆動するのに用いてもよい。

【0027】

本発明の有益な効果は以下のとおりである。１）従来の回転ＵＰ／Ｄｏｗｎ構造に対して、平行移動ＵＰ／Ｄｏｗｎ構造は安定してトリミング過程中の均一で安定した正圧力を実現することができ、研磨トリミング過程の一致性を保証する。２）従来の回転ＵＰ／Ｄｏｗｎ構造に対して、平行移動ＵＰ／Ｄｏｗｎ構造は運動拡大機構ではなく、トリミングヘッドユニットが研磨パッドまで運動する過程中に研磨パッドに対する衝撃作用を有効に軽減することができる。３）従来の回転ＵＰ／Ｄｏｗｎ構造に対して、ハードリミット構造の位置誤差において、平行移動ＵＰ／Ｄｏｗｎ構造は拡大作用がなく、トリミングヘッドユニットのワークステーション状態の一致性を保証しやすい。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】従来技術の作用メカニズムの概略図であり、この時、トリミングヘッドユニットは、Ａを支点として上下運動を実現する。

【図2】本発明の作用メカニズムの概略図であり、この時、トリミングヘッドユニットは、上下平行移動する。

【図3】本発明の構造概略図である。

【図4】本発明のベースユニットの斜視図１である。

【図5】本発明のベースユニットの斜視図２である。

【図6】本発明のベースユニットの部分斜視図である。

【図7】本発明のベースユニットの平面図である。

【図8】本発明の第一調整部材の動作原理の概略図である。

【図9】本発明の平面図である。

【図10】図９中のＤ-Ｄ断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0029】

当業者に本発明の実施形態をより良く理解してもらうために、以下に、本発明の実施形態における添付図面を用いて、本発明の実施形態における技術的方案を明瞭かつ完全に説明する。説明された実施形態は、本発明の一部の実施形態にすぎず、全ての実施形態ではないことは明らかである。本発明における実施形態に基づいて、当業者が創造的な労働を行わないという前提の下で得られた他のすべての実施形態は、本発明の保護の範囲に属するべきである。

【0030】

図２-図３に示すように、研磨パッドのトリミング装置は、水平に延伸する接続アーム１と、接続アーム１の一端に配置され、研磨パッドをトリミングするためのトリミングヘッドユニット２と、接続アーム１の他端に配置されるベースユニット２とを含む。ベースユニット２は、接続アーム１と可動的に接続し、トリミングヘッドユニット２を連れて垂直に上下移動するように接続アーム１を駆動して、トリミングヘッドユニット２を研磨パッドに垂直な方向に向けて研磨パッドに接近又は遠ざけ、もちろん、研磨パッドに垂直な方向に沿って研磨パッドに近づく又は離れるとも言える。トリミングヘッドユニット２は、上下移動して研磨パッドに接触する過程で研磨パッドと面接触するだけでなく、接触した後のトリミング過程全体も面接触の状態で、即ちトリミングヘッドユニットと研磨パッドが面接触を保持する状態で研磨パッドのトリミングを完了する。

【0031】

接続アーム１は、水平姿勢でトリミングヘッドユニット２を連れて垂直に上下移動し、即ち上下移動の過程で接続アーム１が傾くことはない。

【0032】

図４、図５に示すように、ベースユニット３は、取り付け座３１、継手３２、可動接続板３３、及び調整アセンブリ３４を有する。

【0033】

取り付け座３１は、相対的に固定され、他の部品の取り付け固定を担当し、一体型部品より構成されているため、多体部品の取り付け過程においてもたらす取り付け誤差を避け、トリミングヘッドユニット２の稼動過程の精度要求を保証する。

【0034】

継手３２と接続アーム１とは、ボルトにより固定接続され、かつ、取り付け座３１に対して垂直に上下に動くことができ、すなわち、継手２１は、接続アーム１を連れて垂直に上下に動く。

【0035】

継手３２は、動力機構３６の駆動によって上下に動き、継手３２と動力機構３６との間に可動隙間３７を形成する。図５に示すように、可動隙間３７は、横方向に動く隙間を含み、垂直方向に動く隙間を含み、また、円周方向に回転して動く隙間を含む。本実施例において、動力機構３６は、シリンダを選択しており、それを垂直に取り付けて継手３２の垂直の上下平行移動を実現する。もちろん、継手３２と動力機構３６とが一体構造として設けられてもよい。

【0036】

可動接続板３３は、接続アーム１に接続されている。具体的には、可動接続板３３は、接続アーム１の下方に接続され、それは接続アーム１の駆動によって取り付け座３１に沿って垂直に上下移動することができる。

【0037】

可動接続板３３は、継手３２と別体に設けられてもよく、両者が一体構造に接続されてもよい。

【0038】

可動接続板３３の垂直の上下平行移動を保証するために、取り付け座３１に垂直に延びるガイド機構３１１が設けられ、可動接続板３３は、このガイド機構３１１に沿って垂直に上下に移動する。可動接続板３３がガイド機構３１１から離脱することを防止するために、ガイド機構３１１の上下両端にそれぞれストッパ３１２が形成され、可動接続板３３の上下の移動ストロークを制限することができる。本実施形態では、ガイド機構３１１は、平行に２つのガイドレールと４つのスライダを設けた構造とし、安定性と強度を確保している。

【0039】

さらに、ガイド機構３１１及びトリミングヘッドユニット２は、取り付け座３１の両側にそれぞれ設けられている。すなわち、トリミングヘッドユニット２、継手３２及びガイド機構３１１は、左から右に順に設けられている。

【0040】

調整アセンブリ３４は、接続アーム１を貫通して可動接続板３３の上面に当接することにより、接続アーム１と可動接続板３３との間の隙間の大きさを調整し、接続アーム１が常に水平姿勢であることを保証する。もちろん、理想的な状態では、各ワークピースの加工精度を保証する前提で、接続アーム１が常に水平姿勢であってもよく、この場合、調整アセンブリ３４は省略してもよい。

【0041】

具体的には、図６、図７に示すように、調整アセンブリ３４は、接続アーム１の長手方向に沿って間隔を置いて配置される少なくとも二つの第一調整部材３４１を含み、かつ第一調整部材３４１は、接続アーム１の中心軸線方向に位置することが望ましい。したがって、少なくとも二つの第一調整部材３４１が連携して接続アーム１と可動接続板３３との間の第１夾角を形成し、接続アーム１の長手方向における傾斜姿勢を克服する。図８に示すβ角が上述の第１夾角であり、図２に示す方向を例に説明すると、接続アーム１の自重で反時計回りに回転する傾向があり、第一調整部材３４１を下に回転して可動接続板３３の上面に当接させることにより、接続アーム１の右端がその左端を相対的に上に持ち上げ、接続アーム１の自重による傾斜を克服し、すなわち接続アーム１の長手方向における傾斜姿勢を克服し、接続アーム１の軸方向の水平姿勢を保証する。

【0042】

調整アセンブリ３４は、また少なくとも二つの第二調整部材３４２を含み、第二調整部材３４２は、接続アーム１の幅方向に沿って間隔を置いて配置され、かつ第二調整部材３４２は接続アーム１の幅方向の水平線上に位置することが望ましく、したがって少なくとも二つの第二調整部材３４２は連携して接続アーム１と可動接続板３３との間の第２夾角を形成し、接続アーム１の幅方向の傾斜姿勢を克服する。

【0043】

調整を便利にするため、また第一調整部材３４１と第二調整部材３４２が連携して接続アーム１を水平姿勢にするため、第一調整部材３４１と第二調整部材３４２は互いに垂直に配置され、すなわちすべての第一調整部材３４１の中心結線とすべての第二調整部材３４２の中心結線とを互いに垂直にする。

【0044】

本実施形態では、図７に示すように、第一調整部材３４１と第二調整部材３４２の総数は六個であり、接続アーム１の中心軸線で対称に配置された二組に分けられ、各組は三個である。この場合、第一調整部材３４１と第二調整部材３４２は明確な境界がなく、一部の調整部材は、長手方向姿勢を調整する第一調整部材３４１としても幅方向姿勢を調整する第二調整部材３４２としてもよい。

【0045】

接続アーム１と可動接続板３３との間は、締結具３５によって接続され、締結具３５は前記第一調整部材３４１と第二調整部材３４２に近接して配置され、本実施形態では、締結具３５の数は四個であり、調整アセンブリ３４の外周に配置される。具体的に組み立てる時に、まず調整アセンブリ３４を組み立てて、それから締結具３５を組み立てることができる。

【0046】

接続アーム１の端部に下部が開口したカバー体１１が形成され、継手３２、可動接続板３３がそれぞれカバー体１１の内上面と接続され、これにより継手３２、可動接続板３３、取り付け座３１、動力機構３６、ガイド機構３１１がカバー体１１内にカバーされる。カバー体１１の上面に透かし彫り部１１１を形成し、接続アーム１の重量を軽減する。

【0047】

トリミングヘッドユニット２は、図９、図１０に示すように、トリミング工程のアクチュエータであり、駆動ユニット２１と、トリミングシート２２とを有し、駆動ユニット２１の駆動により垂直に上下に動き、トリミングシート２２が回転することにより研磨マットをトリミングする。

【0048】

図３に示すように、ベースユニット３が揺動ユニット４と接続され、揺動ユニット４が固定ベース５と接続され、前記揺動ユニット４がベースユニット３、接続アーム１及びトリミングヘッドユニット２を全周方向に揺動させ、研磨マット各所のトリミングを実現する。

【0049】

上記の具体的な実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明を限定するものではなく、本発明の精神および請求項の保護範囲内で、本発明に対してなされたいかなる修正および改変も、本発明の保護範囲に含まれる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【国際調査報告】