特表 2025-503295 内蔵型冷却装置を有する高出力ファイバアレイアセンブリ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2025-01-30

(54)【発明の名称】内蔵型冷却装置を有する高出力ファイバアレイアセンブリ

(51)【国際特許分類】

   G02B 6/24 20060101AFI20250123BHJP

   G02B 6/02 20060101ALI20250123BHJP

   G02B 6/26 20060101ALI20250123BHJP

【ＦＩ】

G02B6/24

G02B6/02 421

G02B6/26

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024545233

(86)(22)【出願日】2023-02-22

(85)【翻訳文提出日】2024-07-30

(86)【国際出願番号】 IB2023051589

(87)【国際公開番号】W WO2023161800

(87)【国際公開日】2023-08-31

(31)【優先権主張番号】63/313,998

(32)【優先日】2022-02-25

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】591043064

【氏名又は名称】モレックス エルエルシー

(74)【代理人】

【識別番号】100116207

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 俊明

(74)【代理人】

【識別番号】100096426

【弁理士】

【氏名又は名称】川合 誠

(72)【発明者】

【氏名】デヴィンダー パル シン サイニ

(72)【発明者】

【氏名】ドナルド エドワード ラッセル

(72)【発明者】

【氏名】ケネス デュアン キャントレル

(72)【発明者】

【氏名】レイン マイケル ラフォレット

【テーマコード（参考）】

2H036

2H137

2H250

【Ｆターム（参考）】

2H036JA01

2H036KA02

2H036LA03

2H036LA05

2H036LA07

2H036LA08

2H137AA13

2H137AB15

2H137BA15

2H137BC16

2H137BC71

2H137CA15E

2H137CA25E

2H137CA74

2H137CA78

2H137CC01

2H137CC11

2H137DB01

2H137DB11

2H137DB14

2H137HA01

2H137HA05

2H250AC19

2H250AC25

(57)【要約】

【解決手段】高出力用途のための光ファイバアレイアセンブリは、支持構造体と、光ファイバアレイと、複数のエンドキャップと、流体導管装置と、を含む。光ファイバアレイは、支持構造体を通って延在しており、共通の長手方向に延在する複数の光ファイバを有する。複数のエンドキャップは、エンドキャップの各々が、光ファイバのうちの１つの端部分に取り付けられるように配置されている。流体導管装置は、支持構造体を通って延在する１つ以上の導管を有する。１つ以上の導管は、エンドキャップから後方反射して支持構造体に進入する光エネルギーから生じる熱を除去するために、中の流体の流れを支持するように構成されている。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

高出力用途のための光ファイバアレイアセンブリであって、
支持構造体と、
該支持構造体を通って延在しており、共通の長手方向に延在する複数の光ファイバを有する光ファイバアレイと、
複数のエンドキャップであって、該エンドキャップの各々が前記光ファイバのうちの１つの端部分に取り付けられるように配置されている、複数のエンドキャップと、
前記支持構造体を通って延在する１つ以上の導管を有する流体導管装置と、を備え、前記１つ以上の導管が、前記エンドキャップから後方反射して前記支持構造体に進入する光エネルギーから生じる熱を除去するために、中の流体の流れを支持するように構成されている、光ファイバアレイアセンブリ。

【請求項2】

前記１つ以上の導管が、前記支持構造体内に形成された少なくとも１つのチャネルを含む、請求項１に記載の光ファイバアレイアセンブリ。

【請求項3】

前記１つ以上の導管が、前記支持構造体を通って延在する少なくとも１つのチューブを含む、請求項１に記載の光ファイバアレイアセンブリ。

【請求項4】

前記支持構造体が、後方反射した光エネルギーを受け取るように位置決めされた空隙を含み、前記１つ以上の導管が、前記光ファイバアレイ内の複数の光ファイバを横断して延在し、それによって、前記空隙を画定する側壁を通って支持構造体に進入する光及び／又は熱としての後方反射した光エネルギーを受け取る第１の導管セグメントを有する第１の導管を含む、請求項１に記載の光ファイバアレイアセンブリ。

【請求項5】

前記第１の導管セグメントが、前記光ファイバアレイの第１の側において複数の光ファイバを横断して延在しており、前記光ファイバアレイの第１の側とは反対側の前記光ファイバの第２の側において複数の光ファイバを横断して延在する第２の導管セグメントを有する第２の導管を更に備える、請求項４に記載の光ファイバアレイアセンブリ。

【請求項6】

前記第１及び第２の導管が各々、それぞれ、中を通って流体が出入りする入口及び出口を有する、請求項５に記載の光ファイバアレイアセンブリ。

【請求項7】

前記空隙の側壁が、後方反射した光エネルギーを吸収する吸収コーティングを有する、請求項４に記載の光ファイバアレイアセンブリ。

【請求項8】

前記支持構造体が、後方反射した光エネルギーを透過し、前記１つ以上の導管内を流れる流体が、後方反射した光エネルギーを吸収する吸収ダイを含む、請求項１に記載の光ファイバアレイアセンブリ。

【請求項9】

前記エンドキャップから後方反射してエンドキャップの円周方向側壁から支持構造体に進入する光エネルギーを除去するために、複数のエンドキャップを横断して延在する第３の導管セグメントを更に備える、請求項４に記載の光ファイバアレイアセンブリ。

【請求項10】

後方反射した光エネルギーを吸収する吸収ダイを内部に有する、流体を含有する閉ループ導管を更に備え、該閉ループ導管は、該閉ループ導管によって吸収された熱が支持構造体を通って前記第１の導管に流れるように、径方向において前記第１の導管よりも光ファイバの近くに位置する、請求項４に記載の光ファイバアレイアセンブリ。

【請求項11】

前記支持構造体は、前記光ファイバアレイが間に位置する状態で、互いに嵌合する上部及び下部支持構造体を含み、該上部及び下部支持構造体は各々、該上部及び下部支持構造体が互いに嵌合しているときに空隙を画定する対応するノッチを含む、請求項１に記載の光ファイバアレイアセンブリ。

【請求項12】

前記１つ以上の導管が、それぞれ、前記上部及び下部支持構造体内に延在する第１及び第２の導管を含み、該第１及び第２の導管は、前記上部及び下部支持構造体が接触する嵌合面の周りに、互いに対して対称に配置されている、請求項１１に記載の光ファイバアレイアセンブリ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

（関連出願の相互参照）
本出願は、２０２２年２月２５日に出願された米国特許仮出願第６３／３１３，９９８号の利益を主張するものであり、その内容は、参照により本明細書に組み込まれる。

【背景技術】

【0002】

レーザ切断及び溶接、付加製造、指向性エネルギー兵器などのような複数の用途のための、光ファイバアレイを介して送達される高光出力に対する需要は増え続けている。これらのシステムにおいて伝送される光は高出力であるため、光ファイバアセンブリには、様々な光学素子及び迷光エネルギーからの反射とともに、熱の蓄積が存在する。光ファイバアレイが効率的に機能し、かつ損傷しないように、この熱を低減し放散させる必要がある。

【発明の概要】

【0003】

本明細書で説明する主題の一態様によれば、高出力用途のための光ファイバアレイアセンブリは、支持構造体と、光ファイバアレイと、複数のエンドキャップと、流体導管装置と、を含む。光ファイバアレイは、支持構造体を通って延在しており、共通の長手方向に延在する複数の光ファイバを有する。複数のエンドキャップは、エンドキャップの各々が、光ファイバのうちの１つの端部分に取り付けられるように配置されている。流体導管装置は、支持構造体を通って延在する１つ以上の導管を有する。１つ以上の導管は、エンドキャップから後方反射して支持構造体に進入する光エネルギーから生じる熱を除去するために、中の流体の流れを支持するように構成されている。

【0004】

別の特定の実施形態では、１つ以上の導管は、支持構造体内に形成された少なくとも１つのチャネルを含む。

【0005】

更に別の特定の実施形態では、１つ以上の導管は、支持構造体を通って延在する少なくとも１つのチューブを含む。

【0006】

別の特定の実施形態では、支持構造体は、後方反射した光エネルギーを受け取るように位置決めされた空隙を含む。１つ以上の導管は、光ファイバアレイ内の複数の光ファイバを横断して延在し、それによって、空隙を画定する側壁を通って支持構造体に進入する光及び／又は熱として後方反射した光エネルギーを受け取る第１の導管セグメントを有する第１の導管を含む。

【0007】

別の特定の実施形態では、第１の導管セグメントは、光ファイバアレイの第１の側において複数の光ファイバを横断して延在しており、アレイアセンブリは、光ファイバアレイの第１の側とは反対側の光ファイバの第２の側において複数の光ファイバを横断して延在する第２の導管セグメントを有する第２の導管を更に含む。

【0008】

別の特定の実施形態では、第１及び第２の導管は各々、それぞれ、中を通って流体が出入りする入口及び出口を有する。

【0009】

別の特定の実施形態では、空隙の側壁は、後方反射した光エネルギーを吸収する吸収コーティングを有する。

【0010】

別の特定の実施形態では、支持構造体は、後方反射した光エネルギーを透過し、１つ以上の導管内を流れる流体は、後方反射した光エネルギーを吸収する吸収ダイを含む。

【0011】

別の特定の実施形態では、光ファイバアレイアセンブリは、エンドキャップから後方反射してエンドキャップの円周方向側壁から支持構造体に進入する光エネルギーを除去するために、複数のエンドキャップを横断して延在する第３の導管セグメントを更に含む。

【0012】

別の特定の実施形態では、光ファイバアレイアセンブリは、後方反射した光エネルギーを吸収する、内部に吸収ダイを有する、流体を含有する閉ループ導管を更に含む。閉ループ導管は、閉ループ導管によって吸収された熱が支持構造体を通って第１の導管に流れるように、径方向において第１の導管よりも光ファイバの近くに位置する。

【0013】

別の特定の実施形態では、支持構造体は、光ファイバアレイが間に位置する状態で、互いに嵌合する上部及び下部支持構造体を含み、上部及び下部支持構造体は各々、上部及び下部支持構造体が互いに嵌合しているときに空隙を画定する対応するノッチを含む。

【0014】

別の特定の実施形態では、１つ以上の導管は、それぞれ、上部及び下部支持構造体内に延在する第１及び第２の導管を含む。第１及び第２の導管は、上部及び下部支持構造体が接触する嵌合面の周りに、互いに対して対称に配置されている。

【0015】

この「発明の概要」は、「発明を実施するための形態」において下で更に説明される様々な概念を簡略化された形態で紹介するために提供されている。この「発明の概要」は、特許請求される主題の主要な特徴又は本質的な特徴を特定することを意図するものでもなければ、特許請求される主題の範囲を決定することを支援するものとして使用することを意図するものでもない。更に、特許請求される主題は、本開示の任意の部分において述べられる任意の又は全ての欠点を解決する実装形態に限定されない。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】高出力ファイバアレイアセンブリの一例の概略分解斜視図である。

【図2】図１に示されるファイバアレイアセンブリの前面である。

【図3】高出力ファイバアレイアセンブリに採用された光ファイバのうちの１つ及び取り囲むエンドキャップ内を伝播する光エネルギーの概略図である。

【図4】熱による悪影響を軽減するために、図１に示される高出力ファイバアレイアセンブリに組み込まれ得る冷却チャネルの一実施形態の異なる図である。

【図5】熱による悪影響を軽減するために、図１に示される高出力ファイバアレイアセンブリに組み込まれ得る冷却チャネルの一実施形態の異なる図である。

【図6】熱による悪影響を軽減するために、図１に示される高出力ファイバアレイアセンブリに組み込まれ得る冷却チャネルの一実施形態の異なる図である。

【図7】エンドキャップを保冷するために１つ以上の追加の冷却チャネルがファイバエンドキャップの上方及び／又は下方に位置する、高出力ファイバアレイアセンブリの別の実施形態の異なる図である。

【図8】エンドキャップを保冷するために１つ以上の追加の冷却チャネルがファイバエンドキャップの上方及び／又は下方に位置する、高出力ファイバアレイアセンブリの別の実施形態の異なる図である。

【図9】エンドキャップを保冷するために１つ以上の追加の冷却チャネルがファイバエンドキャップの上方及び／又は下方に位置する、高出力ファイバアレイアセンブリの別の実施形態の異なる図である。

【図10】下部及び上部冷却チャネルが各々、それと関連付けられた閉ループ冷却チャネルを有する、高出力ファイバアレイアセンブリの別の実施形態の異なる図である。

【図11】下部及び上部冷却チャネルが各々、それと関連付けられた閉ループ冷却チャネルを有する、高出力ファイバアレイアセンブリの別の実施形態の異なる図である。

【図12】冷却導管が、支持構造体を通って延在するチューブから形成されている、高出力ファイバアレイアセンブリの別の実施形態の異なる図である。

【図13】冷却導管が、支持構造体を通って延在するチューブから形成されている、高出力ファイバアレイアセンブリの別の実施形態の異なる図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

図１は、高出力が採用された結果として蓄積し得る熱を除去するためにチャネル又はチューブなどの冷却導管が組み込まれ得る、高出力ファイバアレイアセンブリの一例の概略分解斜視図を示す。光ファイバ１のアレイは、下部支持構造体３ａと上部支持構造体３ｂとの間に固定され、これらの支持構造体は、嵌合されると、一緒になって支持構造体３を画定する。ファイバエンドキャップ２は、光ファイバ１の端部分に取り付けられており、そこから、光ファイバ１内を伝播する光が出る。エネルギー密度が高くなり過ぎると、ファイバの端面が損傷し得、ひいては、アレイの故障を生じさせ得る。この損傷は、ガラス－空気界面において発生する。光ファイバ端面に融合させることができるファイバエンドキャップ２は、光が出るためのより大きい領域を可能にすることによってこの損傷を軽減し、ガラス－空気界面におけるエネルギー密度の低減をもたらし、ひいては、光ファイバ１に生じる損傷を低減又は排除する。図２は、ファイバエンドキャップ２が下部支持構造体３ａと上部支持構造体３ｂとの間で可視である、ファイバアレイアセンブリの前面を示す。図１及び図２、並びにそれに続く図では、同じ要素が同じ参照番号で表されていることに留意されたい。

【0018】

光ファイバ１は、概して、互いに平行に配置されて、下部支持構造体３ａに沿って長手方向に延在する。下部支持構造体３ａは、光ファイバ１の各々が横断する長手方向に幅を有するノッチ３０ａを含む。ノッチ３０ａは、隆起部３１及び３３の側壁によって画定される。対応するノッチ３０ｂは、上部支持構造体３ｂに位置する。

【0019】

ファイバエンドキャップ２は、隆起部３１によって支持されており、内部に画定されたＶ溝内に位置し得る。同様に、光ファイバ１は、隆起部３２及び３３によって支持され得る。いくつかの場合では、エンドキャップ２及び光ファイバ１を支持構造体に固定するために、エポキシなどの好適な接着剤が使用され得る。光ファイバ１は、概して、ファイバジャケットによって取り囲まれ、図１に見られるように、光ファイバ１がノッチ３０ａの幅を横断する場所を含む領域ではファイバジャケットが除去されていることに留意されたい。

【0020】

上部支持構造体３ｂ及び下部支持構造体３ａは、広範囲にわたる異なる材料から形成することができる。例解的な例としては、高出力ファイバアレイアセンブリにおいて使用される光の動作波長を透過し得るガラス、並びに金属及び金属合金、などが挙げられ得る。

【0021】

図３は、光ファイバ１のうちの１つの発光端部を取り囲むファイバエンドキャップ２をより詳細に示す。示されるように、光２０は、光ファイバ１からエンドキャップ２の中へ伝播し、光ファイバ１内を伝播する光と比較してより広い領域にわたって広がる光２１としてエンドキャップ２から出る。また、ファイバエンドキャップ２を通して後方反射する光２２も示されている。後方反射した光２２は、エンドキャップ２の外周に沿った様々な点、並びに光ファイバ１がエンドキャップ２と接触する入射面において、光２３としてファイバエンドキャップ２から出る。この光は、支持構造体によって吸収され熱に変換されることができ、この熱は、次いでファイバアレイアセンブリ内に収容される。しかしながら、出力が増加すると、ファイバアセンブリがより高温になり、ファイバアレイアセンブリを構築するために使用されたエポキシなどの、ファイバアレイアセンブリの様々な構成要素の故障をもたらす。エポキシは、光学系の端面に到達し得る粒子からガスを放出し、更なる故障をもたらし得る。

【0022】

図４、図５、及び図６は、熱による悪影響を軽減するために図１に示される高出力ファイバアレイアセンブリに組み込まれ得る冷却チャネルの一実施形態を示す。図４は、光ファイバ１が、ページの中へ延在する水平面に配置されている側面図である。図５及び図６は、それぞれ、上部支持構造体３ｂを有しないファイバアレイアセンブリの斜視図、及び上部支持構造体３ｂを所定の位置に有するファイバアレイアセンブリの斜視図である。示されるように、下部冷却チャネル４ａは、下部支持構造体３ａ内に形成されており、上部冷却チャネル４ｂは、上部支持構造体３ｂ内に形成されている。下部冷却チャネル４ａは、それぞれ、中を通って冷却流体（例えば、蒸留水又はより高い熱容量を有する他のものなどの液体、窒素などのガスなど）が下部冷却チャネル４ａを出入りする入口及び出口チャネルセグメントを有する。この例では、入口及び出口チャネルセグメントは、光ファイバ１に大きく平行して延在する。横チャネルセグメントは、入口及び出口チャネルセグメントと流体連通しており、光ファイバ１のアレイを横断して、ノッチ３０ａの側壁に平行に延在する。すなわち、入口及び出口チャネルセグメント及び横チャネルセグメントは、連続したチャネルを形成し、横チャネルセグメントは、ノッチ３０ｂの側壁に平行に延在する。図４及び図６に示される例では、上部冷却チャネル４ｂは、上部冷却チャネルに対して対称の様式で配置されているが、これは必須ではない。更に、いくつかの実施形態では、下部冷却チャネル４ａ及び上部冷却チャネル４ｂのうちの一方だけが採用され得る。

【0023】

図４の側面図で最も良く分かるように、ファイバエンドキャップ２から光ファイバ１に向かって逆に放散する反射光２３は、上部ノッチ３０ｂ及び下部ノッチ３０ａによって画定された空隙に進入し、次いで、上部及び下部支持構造体内に画定されたノッチ３０ｂ及び３０ａの側壁によって、光及び熱エネルギー８として吸収される。横チャネルセグメントは、空隙に実用的にできるだけ近づけて支持構造体に位置し、それによって、構造的完全性を維持する。このようにして、横チャネルセグメントは、空隙を横断した後に支持構造体に進入する光及び／又は熱８を吸収することができる。

【0024】

いくつかの実施形態では、ファイバエンドキャップ２から後方反射された光を吸収するために、吸収性材料が上部ノッチ３０ａ及び下部ノッチ３０ｂの側壁にコーティングされ得る。代替的な一実施形態では、支持構造体が、光ファイバ内の光エネルギーを透過するガラスなどの材料から形成されている場合、冷却導管の冷却流体は、支持構造体に進入する反射光を吸収するための吸収ダイを含み得る。

【0025】

いくつかの実施形態では、冷却チャネル４ａ及び４ｂは、アレイ内の光ファイバの数及びサイズ、並びにそれらを通して伝送される出力の量を含む、様々な要因に依存して、わずか１ミリメートル～数ミリメートルの範囲である直径を有し得る。概して、冷却チャネルの直径は、光ファイバの直径よりも大きく、いくつかの典型的な高出力用途では、数百ミクロン～１ミリメートル超の範囲であり得る。冷却チャネルは、フェムト秒レーザを使用するレーザエッチングなどの任意の好適な技法によって、又は支持構造体を形成するために使用され得る３Ｄ印刷技術によって形成され得る。

【0026】

図７～図９は、エンドキャップ２を保冷するために１つ以上の追加の冷却チャネルがファイバエンドキャップ２の上方及び／又は下方に位置付する、高出力ファイバアレイアセンブリの別の実施形態を示す。追加の冷却チャネルは、ファイバエンドキャップ２の外周から出る光及び熱１３を受け取ることによって、ファイバエンドキャップ２を冷却することができる。図７は、光ファイバ１が、ページの中へ延在する水平面に配置される側面図である。図８及び図９は、上部支持構造体３ｂを所定の位置に有しない、ファイバアレイアセンブリの２つの異なる斜視図である。この実施形態では、前方の下部冷却チャネル１１ａ及び上部冷却チャネル１１ｂは、それぞれ、エンドキャップ２の下方及び上方に延在する横断セグメントを有する。この実施形態では、前方の下部冷却チャネル１１ａ及び上部冷却チャネル１１ｂは、下部冷却チャネル４ａ及び上部冷却チャネル４ｂの分岐として形成されている。代替的な一実施形態では、前方の下部冷却チャネル１１ａ及び上部冷却チャネル１１ｂは、下部冷却チャネル４ａ及び上部冷却チャネル４ｂから独立しており、したがって、それらを通って流れる流体の別々の量を有する。

【0027】

図１０～図１１は、下部冷却チャネル４ａ及び上部冷却チャネル４ｂが、各々、それと関連付けられた閉ループ冷却チャネルを有する、高出力ファイバアレイアセンブリの更に別の実施形態を示す。図１０は側面図を示し、図１１は分解斜視図を示す。示されるように、下部冷却チャネル４ａは、下部閉ループ冷却チャネル１６ａと関連付けられており、上部冷却チャネル４ｂは、上部閉ループ冷却チャネル１６ｂと関連付けられている。下部閉ループ冷却チャネル１６ａ及び上部閉ループ冷却チャネル１６ｂは、径方向において下部冷却チャネル４ａ及び上部冷却チャネル４ｂよりも光ファイバ２の近くに位置し、それによって、ファイバエンドキャップ２から後方反射された光によって生じるエネルギーをより良好に受け取る。透過型支持構造体を採用しているこれらの実施形態では、下部閉ループ冷却チャネル１６ａ及び上部閉ループ冷却チャネル１６ｂは、支持構造体３に進入して閉ループチャネルの流体を加熱する光をより良好に吸収するための吸収ダイを含むことができる。図１０で矢印１８が示すように、下部閉ループ冷却チャネル１６ａ及び上部閉ループ冷却チャネル１６ｂからの熱は、それぞれ、下部冷却チャネル４ａ及び上部冷却チャネル４ｂへと流れ、中を流れる流体によってファイバアレイアセンブリから熱が除去される。

【0028】

図１２及び図１３は、冷却導管が、支持構造体３を通って延在するチューブ１７ａ及び１７ｂから形成されている、高出力ファイバアレイアセンブリの別の実施形態を示す。図１２は側面図であり、図１３は分解斜視図である。示されるように、チューブ１７ａ及び１７ｂは、下部支持構造体３ａ及び上部支持構造体３ｂ内に形成されたノッチ３０ａ及び３０ｂによって画定された空隙を通って延在する。示される例では、チューブ１７ｂは、光ファイバアレイの上方の空隙に延在し、チューブ１７ａは、光ファイバアレイの下方の空隙に延在する。

【0029】

上で説明した例解的な実施形態の様々な特徴は、当業者に事象であろう異なる実施形態において組み合わされ得ることに留意されたい。例えば、いくつかの実施形態では、高出力ファイバアレイアセンブリは、チャネル及びチューブから形成された冷却導管を組み込み得る。別の例として、いくつかの実施形態では、閉ループ冷却チャネルは、上部又は下部支持構造体のうちの一方にだけ位置し得、上部又は下部支持構造体の他方は、エンドキャップを保冷するために前方冷却チャネルを含み得る。より一般的には、描画される実施形態に示される導管の数及び導管の特定の構成は、例解のみを目的として提示されたものであり、エンドキャップから後方反射して支持構造体に進入する光エネルギーにから生じる熱を除去するために組み込まれ得る導管装置のタイプ又は種類を限定するものではない。

【0030】

上述の説明は、説明の目的のために、特定の実施形態を参照しながら説明されている。しかしながら、例解的な実施形態は、網羅的であること、又は本発明を開示された正確な形態に限定することを意図するものではない。上記の教示を考慮して、多くの修正及び変形が可能である。実施形態は、実施形態及びその実用的な用途の原理を最も良く説明し、それによって、他の当業者が、想到される特定の使用に好適であり得る実施形態及び様々な修正例を最も良く利用することを可能にするために選択及び説明された。したがって、本実施形態は、例解的なものであって限定的なものではないとみなされるべきであり、本発明は、本明細書に与えられる詳細に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲の範囲内及び均等の範囲内で修正され得る。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【国際調査報告】