特表 2025-505707 エアバッグカバーに穿孔ラインを入れる方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2025-02-28

(54)【発明の名称】エアバッグカバーに穿孔ラインを入れる方法

(51)【国際特許分類】

   B60R 21/2165 20110101AFI20250220BHJP

   B23K 26/36 20140101ALI20250220BHJP

【ＦＩ】

B60R21/2165

B23K26/36

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024547448

(86)(22)【出願日】2023-02-07

(85)【翻訳文提出日】2024-08-30

(86)【国際出願番号】 EP2023052958

(87)【国際公開番号】W WO2023152117

(87)【国際公開日】2023-08-17

(31)【優先権主張番号】102022103016.4

(32)【優先日】2022-02-09

(33)【優先権主張国・地域又は機関】DE

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】502122347

【氏名又は名称】イェーノプティク アウトマティジールングステヒニーク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

(74)【代理人】

【識別番号】100176072

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 功

(74)【代理人】

【識別番号】100154612

【弁理士】

【氏名又は名称】今井 秀樹

(72)【発明者】

【氏名】ケルン アンドレ

【テーマコード（参考）】

3D054

4E168

【Ｆターム（参考）】

3D054AA03

3D054AA07

3D054AA13

3D054AA14

3D054BB02

3D054BB09

3D054FF16

3D054FF17

4E168AD00

4E168DA23

(57)【要約】

本発明は、エアバッグカバー（１）に穿孔ラインを入れる方法に関し、その際、エアバッグカバー（１）は仮想線（Ｌ）に沿って器具（２）に対して相対的にガイドされる。この方法を実施するために、加工ビーム（３．１）及び第１の測定ビーム（４．１）を放射し、それらによって、加工ビーム源（３）に面するエアバッグカバー（１）の側面（６）に位置する加工場所（ＢＯ）を照射し、第２の測定ビーム（５．１）を放射し、それによって、エアバッグカバー（１）の、加工ビーム源と反対側の側面（７）に位置する測定位置（ＭＯ）を照射する。次いで、第１の経路長（ａ）と第２の経路長（ｂ）とを確定及び評価し、その際、第１の経路長（ａ）と第２の経路長（ｂ）を、残存する残肉厚（ＲＷＳ）の確定のために使用する。加工ビーム源を、確定された残肉厚（ＲＷＳ）に依存して制御する。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

エアバッグカバー（１）に穿孔ラインを入れる方法であって、その際、前記エアバッグカバー（１）は、仮想線（Ｌ）に沿って、加工ビーム源（３）及び第１の測定ビーム源（４）を有する器具（２）に対して相対的にガイドされるものであり、
エアバッグカバー（１）を用意するステップと、
前記加工ビーム源（３）によって加工ビーム（３．１）を放射するステップと、
前記第１の測定ビーム源（４）によって第１の測定ビーム（４．１）を放射するステップと、
第２の測定ビーム源（５）によって第２の測定ビーム（５．１）を放射するステップと、
前記加工ビーム源（３）に面する前記エアバッグカバー（１）の側面（６）に位置する加工位置（ＢＯ）に、照射軸（ＢＡ）に沿って前記加工ビーム（３．１）と前記第１の測定ビーム（４．１）とを照射するステップと、その際、前記加工ビーム（３．１）の照射によって前記加工位置（ＢＯ）において材料除去が行われものであり、
測定位置（ＭＯ）に第２の測定ビーム（５．１）を照射するステップと、
前記第１の測定ビーム（４．１）の第１の経路長（ａ）を確定するステップと、
前記第２の測定ビーム（５．１）の第２の経路長（ｂ）を確定するステップと、
前記第１及び第２の経路長（ａ、ｂ）を評価するステップと、その際、前記第１及び第２の経路長（ａ、ｂ）はパラメータの確定のために使用されるものであり、
確定された前記パラメータに依存して前記加工ビーム源（３）を制御するステップと、その際、前記パラメータは、残存する残肉厚（ＲＷＳ）であり、
前記照射軸（ＢＡ）上に在り、前記エアバッグカバー（１）の、前記加工ビーム源（３）と反対側の側面（７）上の位置に、測定位置（ＭＯ）として、第２の測定ビーム（５．１）を照射するステップと、を含み、
前記エアバッグカバー（１）が用意される前に、前記第１の測定ビーム源（４）と前記第２の測定ビーム源（５）との間の距離（ｃ）を確定し、
前記距離（ｃ）と、前記第１の経路長（ａ）と前記第２の経路長（ｂ）との和との差から前記残存する残肉厚（ＲＷＳ）を確定する、方法において、
前記第１の測定ビーム源（４）と前記第２の測定ビーム源（５）との間の前記距離（ｃ）を、前記エアバッグカバー（１）の用意の前に、規定の厚さ（ｄ）を有する反射素子（８）によって確定し、その際、前記反射素子（８）を前記加工位置（ＢＯ）に用意することを特徴とする、エアバッグカバー（１）に穿孔ラインを入れる方法。

【請求項2】

前記第１の測定ビーム源（４）は、干渉断層撮影装置の測定ビーム源であり、
前記第１の経路長（ａ）を、光干渉断層撮影法によって確定することを特徴とする、請求項１に記載のエアバッグカバー（１）に穿孔ラインを入れる方法。

【請求項3】

前記第２の測定ビーム源（５）は、干渉断層撮影装置の測定ビーム源であり、
前記第２の経路長（ｂ）を、光干渉断層撮影法によって確定することを特徴とする、請求項１又は２に記載のエアバッグカバー（１）に穿孔ラインを入れる方法。

【請求項4】

前記エアバッグカバー（１）を、前記方法の全体の間において、支持平面部材（９）上に載置することを特徴とする、請求項１～３のいずれか一項に記載のエアバッグカバー（１）に穿孔ラインを入れる方法。

【請求項5】

前記測定位置（ＭＯ）の照射の前に、前記第２の測定ビーム（５．１）が、前記支持平面部材（９）を透過することを特徴とする、請求項４に記載のエアバッグカバー（１）に穿孔ラインを入れる方法。

【請求項6】

前記測定位置（ＭＯ）の照射の前に、前記第２の測定ビーム（５．１）が、前記支持平面部材（９）の凹部を透過することを特徴とする、請求項４に記載のエアバッグカバー（１）に穿孔ラインを入れる方法。

【請求項7】

前記第１の測定ビーム（４．１）を、前記加工ビーム（３．１）と、少なくとも部分的に、ビーム平行に又はビーム重畳してガイドすることを特徴とする、請求項１～６のいずれか一項に記載のエアバッグカバー（１）に穿孔ラインを入れる方法。

【請求項8】

前記加工ビーム（３．１）が第１の波長を有し、前記第１の測定ビーム（４．１）が第２の波長を有し、
前記第１の波長が前記第２の波長と異なることを特徴とする、請求項１～７のいずれか一項に記載のエアバッグカバー（１）に穿孔ラインを入れる方法。

【請求項9】

前記第１の測定ビーム（４．１）が白色光ビームであることを特徴とする、請求項１～８のいずれか一項に記載のエアバッグカバー（１）に穿孔ラインを入れる方法。

【請求項10】

前記第１の測定ビーム（４．１）がファイバレーザのレーザビームであることを特徴とする、請求項１～９のいずれか一項に記載のエアバッグカバー（１）に穿孔ラインを入れる方法。

【請求項11】

前記加工ビーム（３．１）がＣＯ_２レーザのレーザビームであることを特徴とする、請求項１～９のいずれか一項に記載のエアバッグカバー（１）に穿孔ラインを入れる方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、エアバッグカバーに穿孔ラインを入れる方法に関し、その際、エアバッグカバーの残肉厚を確定し、残肉厚に依存して加工ビーム源を制御する。

【背景技術】

【0002】

ワークピース、特に、エアバッグ（エアバッグカバー）の放出のための板状の材料であり得るワークピースを加工する方法は、特許文献１から知られている。領域弱化のために、弱化レーザビームが弱化レーザから放射され、この弱化レーザビームは、測定レーザビームに対して、ビーム重畳して、ビーム平行に、又は適合する態様においてガイドされ、その際、測定レーザビームは、弱化レーザビームの波長とは異なる波長を有する。弱化する領域は、弱化レーザビームの波長に対してよりも測定レーザビームの波長に対して高い透過率を有する。弱化される領域は、歯のように一列に隣り合って配置することができる。測定レーザビームの現在の出力は検出センサによって測定され、所定の測定レーザと弱化レーザとの相対経路比を用いて、現在の出力から間接的に残肉厚が確定される。確定された残肉厚に基づいて、弱化レーザのレーザ出力及び／又はレーザ持続時間の設定が行われる。開示された方法においては、残肉厚の確定のために、及び、それによって、弱体化レーザのパラメータの設定のために、ワークピースを通過するレーザ放射の透過が常に必要とされる。その結果、ごく僅かな残肉厚しか確定できず、この方法は、適合する光学特性を有する特定のワークピース材料にのみ適している。

【0003】

ワークピースのレーザ材料加工の更なる方法が、特許文献２に開示されている。この方法は、材料加工ビームと１つ以上の画像化ビームとを放射することを含む。ワークピースの位相変化領域には、材料加工ビーム及び少なくとも１つの画像化ビームが照射される。画像化ビームは、低コヒーレンス干渉法を用いて、位相変化領域の少なくとも１点において測定を行うために使用される。このために、ワークピースによって反射された画像化ビームの部分は、経路長差に基づく干渉法出力を生成するために、例えばリファレンスアームからの他の部分と組み合わされる。次いで、干渉法出力は、例えば、位相変化領域の止まり孔の深さのような、少なくとも１つの特性を特定するために、処理される。位相変化領域の少なくとも１つの特定された特性に基づいて、加工プロセスの少なくとも１つのパラメータを制御することができる。

【0004】

特許文献３は、レーザビームを用いてワークピースを切断する方法を開示している。この場合、レーザ装置によって放射されたレーザビームによって、ワークピース上に切断カーフが形成される。切断カーフには、同時に、干渉断層撮影装置の光源から放射される測定ビームが照射される。干渉断層撮影装置はリファレンスアームを使用し、リファレンスアームから放たれた光が、反射された測定ビームと干渉する。測定ビームは切断カーフを測定するために偏向され、切断カーフの少なくとも１つの幾何学的特性を確定するために干渉応答が検出される。検出された切断カーフの少なくとも１つの特性に基づいて、切断工程のプロセスパラメータ、特にレーザ装置のパラメータを制御することができる。

【0005】

上記の２つの方法の欠点は、リファレンスアームがそれぞれワークピースに依存しないことである。このことは、ワークピースが載置される支持平面部材（支持平面）の凹凸、ワークピースの表面の凹凸、又はワークピースの肉厚のばらつきが考慮されず、残存する残肉厚が正確に確定されないことにつながることを意味する。

【0006】

特許文献４から、エアバッグカバーに目標破断線を入れる装置が知られており、この装置は、対向する側から加工位置に向けられる２つのセンサを含む。残存する残肉厚は、２つのセンサの信号の組み合わせから導出される。

【0007】

特許文献５は、高エネルギーの加工ビームによってワークピースを加工するための加工装置を開示している。光干渉断層撮影装置として形成された少なくとも１つの走査装置が加工ヘッドに配置されており、この走査装置によってワークピース表面を１次元、２次元又は３次元に走査することができる。走査は、その干渉断層撮影装置から照射され、ワークピース表面において反射される測定ビームを用いて行われる。反射された測定ビームは、少なくとも部分的にリファレンス光ビームとともに検出器上に導かれる。

【0008】

特許文献６には、レーザ穿孔の方法と、板状部品へのレーザ穿孔の方法を実施するための装置が記載されている。穿孔工程の前に、穿孔領域における少なくとも１つの測定手段によって、２つの部品表面の間の距離によって規定される部品の厚さが確定される。第２の測定手段によって、穿孔工程中に、穿孔の深さが検出される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【特許文献1】独国特許出願公開第１０２０１８００２３００号明細書

【特許文献2】国際公開第２０１４／１３８９３９号パンフレット

【特許文献3】独国特許出願公開第１０２０１８１２９４０７号明細書

【特許文献4】国際公開第０１／７０４４５号パンフレット

【特許文献5】欧州特許第１９７７８５０号明細書

【特許文献6】独国特許出願公開第１０３５５９３１号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

本発明の課題は、エアバッグカバーに穿孔ラインを入れる方法であって、凹凸又は肉厚のばらつきに依存せずに、残存する残肉厚を正確に確定することができ、且つ、測定ビームの領域において不透明なワークピースに対して、残存する残肉厚の正確な確定が可能な方法を見出すことにある。

【課題を解決するための手段】

【0011】

この課題は、本発明によれば、エアバッグカバーに穿孔ラインを入れる方法によって解決される。すなわち、本方法においては、エアバッグカバーを、仮想線に沿って、加工ビーム源と第１の測定ビーム源とを有する器具に対して相対的にガイドし、加工ビーム源によって加工ビームを放射し、第１の測定ビーム源によって第１の測定ビームを放射し、第２の測定ビーム源によって第２の測定ビームを放射し、加工ビーム源に面するエアバックカバーの側面に位置する加工位置に、照射軸に沿って加工ビームと第１の測定ビームとを照射し、その際、加工ビームの照射によって加工位置において材料除去が行われ、測定位置に第２の測定ビームを照射し、第１の測定ビームの第１の経路長、及び、第２の測定ビームの第２の経路長を確定し、第１の経路長及び第２の経路長を評価し、その際、第１の経路長及び第２の経路長は残存する残肉厚の確定のために使用され、確定された残存する残肉厚に依存して加工ビーム源を制御するものであり、課題は以下によって解決される。照射軸上に在り、エアバッグカバーの、加工ビーム源と反対側の側面上の位置に、測定位置として、第２の測定ビームを照射する。エアバッグカバーが用意される前に、第１の測定ビーム源と第２の測定ビーム源との間の距離を確定する。そして、第１の測定ビーム源と第２の測定ビーム源との間の距離と、第１の経路長と第２の経路長との和との差から残肉厚を確定する。第１の測定ビーム源と第２の測定ビーム源との間の距離は、規定された厚さを有する反射素子によって確定され、その際、反射素子を加工位置に用意する。

【0012】

有利には、第１の測定ビーム源及び／又は第２の測定ビーム源は、それぞれ干渉断層撮影装置の測定ビーム源であり、第１の経路長及び／又は第２の経路長は、光干渉断層撮影法によって確定される。光干渉断層撮影法を実施するために、第１の測定ビーム及び／又は第２の測定ビームは、照射前に、それぞれのビーム経路に存在するビームスプリッタによって、リファレンスアームに向かって部分的に反射され得る、又は部分的に透過され得る。その後、リファレンスアームを通過したそれぞれの測定ビームの一部は、エアバッグカバーによって反射されたそれぞれの測定ビームの一部と重畳される、或いは干渉させられ、干渉応答が検出器によって検出される。干渉応答から、第１の経路長及び／又は第２の経路長を確定することができる。

【0013】

エアバッグカバーは、方法の全体の間、支持平面部材上に載置され得る。支持平面部材は、第２の測定ビームに対して透明又は部分的に透明とすることができ、それによって第２の測定ビームは、測定位置への照射の前に支持平面部材を透過できる。代替的には、支持平面部材は凹部を有することができ、それによって、第２の測定ビームは、測定位置への照射の前に、支持平面部材のその凹部を透過できる。

【0014】

第１の測定ビームは、測定位置への照射の前後に、加工ビームと、少なくとも部分的にビーム平行に又はビーム重畳して、有利にガイドされ得る。

【0015】

加工ビームが第１の波長を有し、第１の測定ビームが第２の波長を有する場合、有利である。第１の波長は第２の波長と異なっていてもよい。代替的には、第１の測定ビームは白色光ビームであってもよい。

【0016】

特に好適には、第１の測定ビームは、ファイバレーザのレーザビームとして実施される。

【0017】

有利には、加工ビームはＣＯ_２レーザのレーザビームである。同様に、有利には、加工ビーム源は別のパルスレーザであり、そのパルスレーザの、パルスエネルギ、パルス長、繰り返し周波数、及び／又は発光スペクトルが、確定された残肉厚に依存して制御される。

【0018】

以下、本発明を、図面を参照して実施例によってさらに詳細に説明する。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】器具、エアバッグカバー、支持平面部材、及び第２の測定ビーム源を含む、本方法を実施するための配置の側面図である。

【図2】エアバッグカバーの残肉厚を確定するための、加工ビーム、第１の測定ビーム、及び第２の測定ビームのビーム経路を示す側面図である。

【図3】第１の測定ビーム源と第２の測定ビーム源との間の距離を確定するために加工位置に反射素子を有する、第１の測定ビームと第２の測定ビームのビーム経路の側面図である。

【図4】本方法の有利な一実施形態における、加工ビーム、第１の測定ビーム、及び第２の測定ビームのビーム経路の側面図である。

【図5】本方法の更なる有利な一実施形態における、加工ビーム、第１の測定ビーム、及び第２の測定ビームのビーム経路の側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

エアバッグカバー１に穿孔ラインを入れる方法を実施するための配置が図１に概略的に示される。本方法の間、エアバッグカバー１は、仮想線Ｌに沿って器具２に対して相対的にガイドされ、それによって、複数の加工位置ＢＯに、エアバッグカバー１に穿孔ラインを形成する複数の止まり孔を設けることができる。加工方法の全体の間、エアバッグカバー１は支持平面部材９上に位置する、又はロボットアーム（図示せず）によって保持される。

【0021】

器具２は、加工ビーム源３と第１の測定ビーム源４とを含む。加工ビーム源３は、照射軸ＢＡに沿って調節されており、その照射軸ＢＡは、加工ビーム源３に面するエアバッグカバー１の側面６に対して実質的に垂直である。第２の測定ビーム源５は、方法の全体の間、加工ビーム源３と反対側の、エアバッグカバー１の側面７に配置される。

【0022】

最初に、穿孔ラインを入れるエアバッグカバー１を用意する。エアバッグカバー１に、複数の止まり孔或いは穿孔ラインを形成するために、加工ビーム源３は加工ビーム３．１を放射し、この加工ビーム３．１によって、加工ビーム源３に面するエアバッグカバー１の側面６に位置する加工位置ＢＯが照射される。加工ビーム３．１の照射によって、加工位置ＢＯにエネルギーが入力され、その結果材料除去が行われる。加工位置ＢＯにおいて、エアバッグカバー１は、加工ビーム３．１による照射後に、残肉厚ＲＷＳを有し、この残肉厚ＲＷＳは、加工位置ＢＯにおけるエアバッグカバー１の厚さから止まり孔の深さを引いたものに等しい。残肉厚ＲＷＳは、エアバッグカバー１の加工と同時に確定される。

【0023】

残肉厚ＲＷＳを確定するために、第１の測定ビーム源４は第１の測定ビーム４．１を放射し、この第１の測定ビーム４．１は加工位置ＢＯに照射される。加工位置ＢＯにおいて拡散反射された第１の測定ビーム４．１は、図示されない検出器によって検出される。第１の測定ビーム４．１の照射によって、第１の測定ビーム源４から加工位置ＢＯまでの距離に相当する第１の経路長ａが確定される。第２の測定ビーム源５は第２の測定ビーム５．１を放射し、この第２の測定ビーム５．１は、照射軸ＢＡ上において、加工ビーム源３と反対側の、エアバッグカバー１の側面７に位置する測定位置ＭＯに照射される。測定位置ＭＯによって反射された第２の測定ビーム５．１は、同じく図示されない更なる検出器によって検出される。第２の測定ビーム５．１の照射によって、第２の経路長ｂが確定され、これは第２の測定ビーム源５から測定位置ＭＯまでの距離に相当する。この距離は、空間的な距離としてではなく、むしろ光学的な距離或いはビーム経路に沿った経路長と解される。第１の経路長ａ及び第２の経路長ｂを考慮して、残肉厚ＲＷＳを確定することが望ましい。残存する残肉厚ＲＷＳに依存して、加工ビーム源３を制御する。第１の経路長ａ及び第２の経路長ｂを用いて残肉厚ＲＷＳを確定するためには、エアバッグカバー１に対する第１の測定ビーム源４及び第２の測定ビーム源５の位置、したがって互いに対する相対位置、又は少なくとも互いの距離を知ることが有利である。

【0024】

図２は、加工ビーム３．１、第１の測定ビーム４．１、及び第２の測定ビーム５．１のビーム経路を示す。更に、第１の経路長ａ、第２の経路長ｂ、及び第１の測定ビーム源４と第２の測定ビーム源５との間の距離ｃが符号付けされている。加工ビーム３．１と第１の測定ビーム４．１とは、図２に示されるように、ビーム重畳して伸びることができる。しかしながら、第１の測定ビーム４．１は、照射軸ＢＡに沿って伸びないこともできる。第１の測定ビーム４．１は、特に、照射軸ＢＡに沿って、ビーム平行に又は少なくとも部分的にビーム平行に伸びることができる。

【0025】

エアバッグカバー１が用意される前に、第１の測定ビーム源４と第２の測定ビーム源５との間の距離ｃを、その距離ｃと、第１の経路長ａと第２の経路長ｂとの和との差から、残存する残肉厚ＲＷＳを算定するために、確定することができる。図３は、距離ｃの確定のための配置を示す。この場合、距離ｃは、規定の厚さｄを有する反射素子８の挿入によって確定される。照射軸ＢＡに沿った反射素子８の厚さｄが既知である場合、距離ｃは、第１の経路長ａと第２の経路長ｂとを特定することによって確定することができ、その距離ｃは、第１の経路長ａと、第２の経路長ｂと、反射素子８の厚さｄとの和になる。その際、第１の経路長ａ及び第２の経路長ｂは、光干渉断層撮影法を用いて確定することもできる。第１の測定ビーム源４と第２の測定ビーム源５との間の距離ｃは、測定ビーム源の位置の確定によって、又は、測定ビーム源の一方への反射コーティングの塗布によっても確定することができる。図３には、第２の測定ビーム源５のための検出器が示されており、その検出器は、ビームスプリッタの下流側においてリファレンスアームに対向して配置されている。

【0026】

第１の経路長ａ及び／又は第２の経路長ｂは、光干渉断層撮影法を用いて確定することができる。このために、ビームスプリッタがそれぞれの測定ビーム経路に存在し、そのビームスプリッタは、測定ビーム源からリファレンスアームに入射する光を部分的に反射又は部分的に透過させる。リファレンスアームにはミラーが配置され、そのミラーは、リファレンスアームに反射された測定ビームの一部を反射してビームスプリッタに戻す。測定位置ＭＯ及び／又は加工位置ＢＯにおいては、照射された測定ビームの一部も反射され、ビームスプリッタにおいて、リファレンスアームに反射された測定ビームの一部と再び結合される。測定ビームの２つの部分は互いに干渉し、検出器によって検出された干渉応答から、リファレンスアームに反射された測定ビームの部分と透過された測定ビームの部分との間の経路長差を確定することができる。次いで、この経路長差から、第１の経路長ａ及び／又は第２の経路長ｂを確定することができる。図４には、第１の測定ビーム源４のためのそのようなリファレンスアームが、ビームスプリッタ及びフラットミラーと共に示される。

【0027】

エアバッグカバー１が、方法の全体の間において支持平面部材９上に載置される場合、エアバッグカバー１は、常に、加工ビーム３．１の反対側の側面７に載置される。図４にも示すように、第１の測定ビーム４．１は、加工ビーム３．１と部分的にのみ重畳してガイドすることもできる。残肉厚ＲＷＳを決定するためには、第２の測定ビーム源５から放射される第２の測定ビーム５．１が、支持平面部材９を通って測定位置ＭＯに到達する必要がある。このために、支持平面部材９は、第２の測定ビーム５．１に対して少なくとも部分的に透明であり得る。これには、各加工位置ＢＯ、延いては各測定位置ＭＯを任意に選択できるという利点がある。

【0028】

代替的には、図５に示すように、支持平面部材は凹部を有することが可能であり、その凹部を通って第２の測定ビーム５．１がエアバッグカバー１に到達する。

【符号の説明】

【0029】

１ エアバッグカバー
２ 器具
３ 加工ビーム源
３．１ 加工ビーム
４ 第１の測定ビーム源
４．１ 第１の測定ビーム
５ 第２の測定ビーム源
５．１ 第２の測定ビーム
６ 加工ビーム源に面する側面
７ 加工ビーム源と反対側の側面
８ 反射素子
９ 支持平面部材
ａ 第１の経路長
ｂ 第２の経路長
ｃ 距離
ｄ 厚さ
ＢＡ 照射軸
ＢＯ 加工位置
ＭＯ 測定位置
ＲＷＳ 残肉厚
Ｌ 仮想線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【国際調査報告】