2025-507198 密封構造及び真空炉

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2025-03-13

(54)【発明の名称】密封構造及び真空炉

(51)【国際特許分類】

   F16J 15/10 20060101AFI20250306BHJP

【ＦＩ】

F16J15/10 U

F16J15/10 C

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024554943

(86)(22)【出願日】2023-03-15

(85)【翻訳文提出日】2024-11-07

(86)【国際出願番号】 CN2023081578

(87)【国際公開番号】W WO2023174323

(87)【国際公開日】2023-09-21

(31)【優先権主張番号】202220578211.3

(32)【優先日】2022-03-15

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】523374747

【氏名又は名称】眉山博雅新材料股▲ふん▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＭＥＩＳＨＡＮ ＢＯＹＡ ＡＤＶＡＮＣＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ ＣＯ．， ＬＴＤ．

(74)【代理人】

【識別番号】100108453

【弁理士】

【氏名又は名称】村山 靖彦

(74)【代理人】

【識別番号】100188558

【弁理士】

【氏名又は名称】飯田 雅人

(74)【代理人】

【識別番号】100110364

【弁理士】

【氏名又は名称】実広 信哉

(72)【発明者】

【氏名】王 宇

(72)【発明者】

【氏名】官 ▲偉▼明

(72)【発明者】

【氏名】梁 振▲興▼

【テーマコード（参考）】

3J040

【Ｆターム（参考）】

3J040BA03

3J040EA16

3J040FA05

3J040HA22

3J040HA30

(57)【要約】

本明細書の実施例は、密封構造及び真空炉を提供し、該密封構造は、バッフル板であって、前記バッフル板の第１側面及び第２側面を貫通する第１貫通孔が形成される、バッフル板と、密封対象部材が貫通するための内孔が形成され、前記バッフル板に接続された第１構造部材であって、前記内孔の少なくとも一部は、前記第１貫通孔に位置し、かつ前記内孔の少なくとも一部は、前記第１側面及び前記第２側面の両方に対して平行ではない、第１構造部材と、前記バッフル板と前記第１構造部材との間の隙間を密封し、かつ前記密封対象部材と前記第１構造部材との間の隙間を密封する密封アセンブリと、を含む。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

バッフル板であって、前記バッフル板の第１側面及び第２側面を貫通する第１貫通孔が形成される、バッフル板と、
密封対象部材が貫通するための内孔が形成された第１構造部材であって、前記第１構造部材は、前記バッフル板に接続されており、前記内孔の少なくとも一部は、前記第１貫通孔内に位置し、かつ前記内孔の少なくとも一部は、前記第１側面及び前記第２側面の両方に対して平行ではない、第１構造部材と、
前記バッフル板と前記第１構造部材との間の隙間を密封し、かつ前記密封対象部材と前記第１構造部材との間の隙間を密封するための密封アセンブリと、
を含む、密封構造。

【請求項2】

前記第１構造部材は、前記第１貫通孔を介して前記バッフル板を貫通し、
前記密封アセンブリは、前記密封対象部材と前記第１構造部材との間の隙間を密封するための第１密封部材を含み、
前記第１密封部材は、前記内孔の内壁と前記密封対象部材との間に設けられる、請求項１に記載の密封構造。

【請求項3】

前記密封アセンブリは、前記第１貫通孔の一端に位置する第２密封部材を含み、
前記第２密封部材は、前記バッフル板の第１側面又は第２側面に当接して、前記バッフル板と前記第１構造部材との間の隙間を密封する、請求項２に記載の密封構造。

【請求項4】

前記密封アセンブリは、前記バッフル板と前記第１構造部材との間の隙間を密封するための第３密封部材をさらに含み、
前記第２密封部材と前記第３密封部材とは、それぞれ前記第１貫通孔の両端に位置し、かつそれぞれ前記バッフル板の第１側面と第２側面とに当接する、請求項３に記載の密封構造。

【請求項5】

前記密封アセンブリは、前記バッフル板と前記第１構造部材との間の隙間を密封するための第４密封部材を含み、前記第４密封部材の少なくとも一部は、前記第１貫通孔の内壁と前記第１構造部材の外壁との間に設けられる、請求項２に記載の密封構造。

【請求項6】

前記第１構造部材の前記第１貫通孔における位置を制限する第１位置制限構造をさらに含む、請求項４に記載の密封構造。

【請求項7】

前記第１位置制限構造は、第１ナット及び第１雄ねじを含み、前記第１雄ねじは、前記第１構造部材に設けられ、前記第１ナットは、前記バッフル板の第２側面が位置する側において、前記第１構造部材の前記第１雄ねじに螺合する、請求項６に記載の密封構造。

【請求項8】

前記第１構造部材に外嵌され、かつ前記第１ナットと前記第３密封部材との間に位置する第２構造部材をさらに含み、
前記第２構造部材は、第１主リング部及び第１保持リング部を含み、前記第１主リング部は、前記第１構造部材に外嵌され、前記第１保持リング部は、軸線方向において前記第１主リング部の一端に位置し、
前記第３密封部材及び前記第１保持リング部は、いずれも前記バッフル板と前記第１主リング部との間に位置し、かつ前記第３密封部材は、前記第１保持リング部の内側リングに位置する、請求項７に記載の密封構造。

【請求項9】

前記第１構造部材は、第１主リング部及び第１保持リング部を含み、前記内孔は、前記第１主リング部に形成され、前記第１主リング部は、前記第１貫通孔を介して前記バッフル板を貫通し、前記第１保持リング部は、前記バッフル板の前記第１側面が位置する側に位置し、かつ前記第１保持リング部は、前記第１主リング部の外側を取り囲み、前記第１保持リング部の外径は、前記第１貫通孔の直径より大きい、請求項２に記載の密封構造。

【請求項10】

前記第１構造部材は、第２保持リング部をさらに含み、前記第２保持リング部は、前記バッフル板の前記第１側面が位置する側に位置し、前記第２保持リング部は、前記第１保持リング部の前記バッフル板に向かう側に設けられ、かつ前記第２保持リング部の外径は、前記第１主リング部の外径より大きい、請求項９に記載の密封構造。

【請求項11】

前記第１主リング部の外径と前記第１主リング部の内径との比は、１．１～２である、請求項９に記載の密封構造。

【請求項12】

前記第１貫通孔の直径と第１主リング部の内径との比は、１．２～２．５である、請求項９に記載の密封構造。

【請求項13】

第１密封部材を前記内孔に位置制限するよう構成された第２位置制限構造をさらに含む、請求項２に記載の密封構造。

【請求項14】

前記第２位置制限構造は、第２ナット及び第１雌ねじを含み、前記第１雌ねじは、前記内孔内に位置し、前記第２ナットは、前記バッフル板の第２側面が位置する側において、前記内孔の前記第１雌ねじに接続される、請求項１３に記載の密封構造。

【請求項15】

前記第２位置制限構造は、前記内孔に設けられた位置制限ボスを含み、前記第１密封部材は、前記位置制限ボスと前記第２ナットとの間に設けられる、請求項１４に記載の密封構造。

【請求項16】

前記第１密封部材と前記第２ナットとの間に第１ガスケットが設けられる、請求項１４に記載の密封構造。

【請求項17】

前記密封アセンブリは、少なくとも２つの前記第１密封部材を含み、少なくとも２つの隣接する前記第１密封部材の間に第２ガスケットが設けられる、請求項２に記載の密封構造。

【請求項18】

前記第１構造部材は、前記バッフル板の第２側面が位置する側から前記第１貫通孔に貫入され、前記第１貫通孔の前記第１側面に近接する一端に位置制限ストッパーが設けられ、
前記密封対象部材は、前記第１貫通孔及び前記内孔を貫通し、
前記密封アセンブリは、第５密封部材を含み、前記第５密封部材は、前記第１貫通孔内に設けられ、前記密封対象部材に外嵌され、かつ前記位置制限ストッパーと前記第１構造部材との間に位置する、請求項１に記載の密封構造。

【請求項19】

前記第１構造部材の外壁に第２雄ねじが設けられ、前記第１貫通孔の内壁に、前記第２雄ねじに適合する第２雌ねじが設けられる、請求項１８に記載の密封構造。

【請求項20】

前記第１構造部材は、導電材料から形成され、前記第１構造部材の外表面と前記第１貫通孔の内壁面との間に絶縁層が設けられる、請求項１に記載の密封構造。

【請求項21】

前記第１構造部材は、絶縁材料から形成され、及び／又は、前記密封アセンブリは、絶縁材料から形成される、請求項１に記載の密封構造。

【請求項22】

請求項１～２１のいずれか一項に記載の密封構造と、炉体と、を含む真空炉であって、前記炉体の側壁に開口部が設けられ、前記密封構造が前記バッフル板を介して前記開口部に設けられる、真空炉。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

［相互参照］
本願は、２０２２年３月１５日に提出された出願番号が２０２２２０５７８２１１．３号である中国特許出願の優先権を主張するものであり、その全ての内容は参照により本願に組み込まれるものとする。

【0002】

本明細書は、密封プロセスの分野に関し、具体的には、密封構造と、該密封構造を応用する真空炉とに関する。

【背景技術】

【0003】

工業生産において、密封構造によって部品を密封する必要があるシーンが多い。例えば、真空炉のコイルは、炉床内に位置し、コイルヘッドは、外へ順に炉床壁、炉体を貫通してから電源に接続される。コイルは、短絡を避けるために炉体から絶縁する必要があり、かつ真空炉内部の真空効果を保持するために、コイルが炉体を貫通する箇所に対して密封措置を講じる必要がある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

したがって、どのように密封構造の密封効果を向上させるかは、本分野で解決すべき技術的課題である。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本明細書の第１態様に係る密封構造は、バッフル板であって、前記バッフル板の第１側面及び第２側面を貫通する第１貫通孔が形成される、バッフル板と、密封対象部材が貫通するための内孔が形成された第１構造部材であって、前記第１構造部材は、前記バッフル板に接続されており、前記内孔の少なくとも一部は、前記第１貫通孔内に位置し、かつ前記内孔の少なくとも一部は、前記第１側面及び前記第２側面の両方に対して平行ではない、第１構造部材と、前記バッフル板と前記第１構造部材との間の隙間を密封し、かつ前記密封対象部材と前記第１構造部材との間の隙間を密封するための密封アセンブリと、を含む。

【0006】

いくつかの実施例では、前記第１構造部材は、前記第１貫通孔を介して前記バッフル板を貫通し、前記密封アセンブリは、前記密封対象部材と前記第１構造部材との間の隙間を密封するための第１密封部材を含み、前記第１密封部材は、前記内孔の内壁と前記密封対象部材との間に設けられる。

【0007】

いくつかの実施例では、前記密封アセンブリは、前記第１貫通孔の一端に位置する第２密封部材を含み、前記第２密封部材は、前記バッフル板の第１側面又は第２側面に当接して、前記バッフル板と前記第１構造部材との間の隙間を密封する。

【0008】

いくつかの実施例では、前記密封アセンブリは、前記バッフル板と前記第１構造部材との間の隙間を密封するための第３密封部材をさらに含み、前記第２密封部材と前記第３密封部材とは、それぞれ前記第１貫通孔の両端に位置し、かつそれぞれ前記バッフル板の第１側面と第２側面とに当接する。

【0009】

いくつかの実施例では、前記密封アセンブリは、前記バッフル板と前記第１構造部材との間の隙間を密封するための第４密封部材を含み、前記第４密封部材の少なくとも一部は、前記第１貫通孔の内壁と前記第１構造部材の外壁との間に設けられる。

【0010】

いくつかの実施例では、前記密封構造は、前記第１構造部材の前記第１貫通孔における位置を制限する第１位置制限構造をさらに含む。

【0011】

いくつかの実施例では、前記第１位置制限構造は、第１ナット及び第１雄ねじを含み、前記第１雄ねじは、前記第１構造部材に設けられ、前記第１ナットは、前記バッフル板の第２側面が位置する側において、前記第１構造部材の前記第１雄ねじに螺合する。

【0012】

いくつかの実施例では、前記密封構造は、前記第１構造部材に外嵌され、かつ前記第１ナットと前記第３密封部材との間に位置する第２構造部材をさらに含み、前記第２構造部材は、第１主リング部及び第１保持リング部を含み、前記第１主リング部は、前記第１構造部材に外嵌され、前記第１保持リング部は、軸線方向において前記第１主リング部の一端に位置し、前記第３密封部材及び前記第１保持リング部は、いずれも前記バッフル板と前記第１主リング部との間に位置し、かつ前記第３密封部材は、前記第１保持リング部の内側リングに位置する。

【0013】

いくつかの実施例では、前記第１構造部材は、第１主リング部及び第１保持リング部を含み、前記内孔は、前記第１主リング部に形成され、前記第１主リング部は、前記第１貫通孔を介して前記バッフル板を貫通し、前記第１保持リング部は、前記バッフル板の前記第１側面が位置する側に位置し、かつ前記第１保持リング部は、前記第１主リング部の外側を取り囲み、前記第１保持リング部の外径は、前記第１貫通孔の直径より大きい。

【0014】

いくつかの実施例では、前記第１構造部材は、第２保持リング部をさらに含み、前記第２保持リング部は、前記バッフル板の前記第１側面が位置する側に位置し、前記第２保持リング部は、前記第１保持リング部の前記バッフル板に向かう側に設けられ、かつ前記第２保持リング部の外径は、前記第１主リング部の外径より大きい。

【0015】

いくつかの実施例では、前記第１主リング部の外径と前記第１主リング部の内径との比は、１．１～２である。

【0016】

いくつかの実施例では、前記第１貫通孔の直径と第１主リング部の内径との比は、１．２～２．５である。

【0017】

いくつかの実施例では、前記密封構造は、第１密封部材を前記内孔に位置制限するよう構成された第２位置制限構造をさらに含む。

【0018】

いくつかの実施例では、前記第２位置制限構造は、第２ナット及び第１雌ねじを含み、前記第１雌ねじは、前記内孔内に位置し、前記第２ナットは、前記バッフル板の第２側面が位置する側において、前記内孔の前記第１雌ねじに接続される。

【0019】

いくつかの実施例では、前記第２位置制限構造は、前記内孔に設けられた位置制限ボスを含み、前記第１密封部材は、前記位置制限ボスと前記第２ナットとの間に設けられる。

【0020】

いくつかの実施例では、前記第１密封部材と前記第２ナットとの間に第１ガスケットが設けられる。

【0021】

いくつかの実施例では、前記密封アセンブリは、少なくとも２つの前記第１密封部材を含み、少なくとも２つの隣接する前記第１密封部材の間に第２ガスケットが設けられる。

【0022】

いくつかの実施例では、前記第１構造部材は、前記バッフル板の第２側面が位置する側から前記第１貫通孔に貫入され、前記第１貫通孔の前記第１側面に近接する一端に位置制限ストッパーが設けられ、前記密封対象部材は、前記第１貫通孔及び前記内孔を貫通し、前記密封アセンブリは、第５密封部材を含み、前記第５密封部材は、前記第１貫通孔内に設けられ、前記密封対象部材に外嵌され、かつ前記位置制限ストッパーと前記第１構造部材との間に位置する。

【0023】

いくつかの実施例では、前記第１構造部材の外壁に第２雄ねじが設けられ、前記第１貫通孔の内壁に、前記第２雄ねじに適合する第２雌ねじが設けられる。

【0024】

いくつかの実施例では、前記第１構造部材は、導電材料から形成され、前記第１構造部材の外表面と前記第１貫通孔の内壁面との間に絶縁層が設けられる。

【0025】

いくつかの実施例では、前記第１構造部材は、絶縁材料から形成され、及び／又は、前記密封アセンブリは、絶縁材料から形成される。

【0026】

本明細書の第２態様に係る真空炉は、密封構造と、炉体と、を含み、前記炉体の側壁に開口部が設けられ、前記密封構造が前記バッフル板を介して前記開口部に設けられる。

【0027】

いくつかの実施例では、前記バッフル板は、第１側面が前記炉体内に位置し、第２側面が前記炉体外に位置する。

【図面の簡単な説明】

【0028】

本明細書は、例示的な実施例によってさらに説明され、これらの例示的な実施例は、添付の図面によって詳細に説明される。これらの実施例は、限定するものではなく、これらの実施例では、同じ番号は、同じ構造を表す。

【0029】

【図1】本明細書のいくつかの実施例に係る密封構造の概略構成図である。

【図2】本明細書のいくつかの実施例に係る密封構造の概略構成図である。

【図3】本明細書のいくつかの実施例に係る密封アセンブリの取付概略図である。

【図4】本明細書のいくつかの実施例に係る密封アセンブリの別の取付概略図である。

【図5】本明細書のいくつかの実施例に係る密封アセンブリのさらなる取付概略図である。

【図6】本明細書のいくつかの実施例に係る密封アセンブリのさらなる別の取付概略図である。

【図7】本明細書のいくつかの実施例に係る第４密封部材の概略構成図である。

【図8】本明細書の別の実施例に係る第４密封部材の概略構成図である。

【図9】本明細書のいくつかの実施例に係る第１構造部材の概略構成図である。

【図10A】本明細書の別の実施例に係る密封構造の概略構成図である。

【図10B】本明細書の別の実施例に係る第２構造部材の概略構成図である。

【図11】本明細書のさらなる別の実施例に係る密封構造の概略構成図である。

【図12】本明細書のいくつかの実施例に係る第２位置制限構造の取付概略図である。

【図13】本明細書のいくつかの実施例に係る第２ナットの概略構成図である。

【図14】本明細書のさらなる別の実施例に係る密封構造の概略構成図である。

【図15】本明細書のいくつかの実施例に係る真空炉の概略構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0030】

本明細書の実施例の技術手段をより明確に説明するために、以下に実施例の説明に使用する必要がある図面を簡単に説明する。明らかに、以下に説明される図面は、本明細書のいくつかの例又は実施例に過ぎず、当業者にとって、創造的労働をすることなく、さらに、これらの図面により本明細書を他の類似状況に適用することができる。言語環境において明らか又は別に説明する限り、図中の同じ番号は同じ構造又は操作を代表する。

【0031】

本明細書で使用される「システム」、「装置」、「ユニット」及び／又は「モジュール」は、異なるレベルの異なるコンポーネント、素子、部品、部分又は組立を区別するための方法であることを理解されたい。しかしながら、他の用語が同じ目的を達成できる場合には、他の表現によって用語を置き換えてもよい。

【0032】

本明細書と特許請求書に示されるように、コンテキストに明らかに示される例外な状況に限り、「１」、「１つ」、「１種」及び／又は「該」などの単語は、単数を特に指すことではなく、複数を意味することができる。一般的には、用語「含む」と「含み」は、既に明らかに識別されたステップと要素を含むことだけを意味するが、これらのステップと要素は排他性の羅列を構成することができず、方法又はデバイスも他のステップと要素を含む可能性がある。

【0033】

真空炉は、真空環境を提供し、真空環境で加熱することができる設備である。真空炉は、密封された炉床を有してもよく、炉床は、金属カバー又は石英ガラスカバーなどによって密封されてもよい。炉床は、管路を介して真空装置に接続されて、炉床内の真空環境を実現することができる。炉床内に加熱装置が設けられてもよく、加熱装置は、コイルを含んでもよい。コイルに通電すると、炉床内の加熱を実現することができる。真空炉は、結晶成長、真空焼入れ、真空ろう付け、真空焼鈍、真空磁気付加、真空焼戻し、真空焼結、真空拡散溶接、真空浸炭などに適用されてもよい。

【0034】

真空炉において、一部の部品は、炉床内から炉床外に貫通する必要がある。該部品は、例えば、信号伝送用のケーブル又は加熱用のコイルなどである。以下、コイルが炉床内から炉床外に貫通する場合を例として説明する。真空炉における、炉床を加熱するコイルは、加熱を実現するために通電する必要があり、コイルは、真空炉の炉壁から炉外に出る必要があり、炉外に位置する電源に接続される。炉壁に貫通孔が形成されてもよく、コイル外管（例えば銅管）は、該貫通孔を貫通して、炉床内から炉床外に出ることができる。コイルは、コイル外管に貫入され、コイル外管は、コイルを保護する役割を果たすことができる。コイル外管は、接続部材（例えば、ナット）によって炉壁に固定されてもよい。上記構造は、貫通孔（例えば、貫通孔の内壁とコイル外管との間、及びコイル外管とコイルとの間）に隙間が存在して、真空炉の真空度に影響を与える可能性がある。

【0035】

本明細書の実施例に係る密封構造の第１構造部材の内孔には、密封対象部材が貫通可能である。密封アセンブリを設けることで、バッフル板と第１構造部材との間の隙間及び密封対象部材と第１構造部材との間の隙間がいずれも密封されることにより、バッフル板の貫通孔における密封性が向上する。該密封構造は、真空炉に適用されて、真空炉の真空度を保証してもよい。該密封構造は、電気炉、転炉などの高温炉体に適用されて、電気炉、転炉などの設備の保温性能を保証してもよい。

【0036】

図１及び図２は、いずれも本明細書のいくつかの実施例に係る密封構造の概略構成図であり、以下、図２を参照して密封構造を詳細に説明する。図１及び図２に示すように、密封構造１０００は、バッフル板１００、第１構造部材２００及び密封アセンブリ４００を含んでもよい。バッフル板１００に第１貫通孔１１０が形成され、第１貫通孔１１０は、バッフル板１００の第１側面１０１及び第２側面１０２を貫通する。即ち、第１貫通孔１１０は、バッフル板１００の第１側面１０１が位置する側と第２側面１０２が位置する側とを連通してもよい。第１構造部材２００には、密封対象部材３００が貫通するための内孔２０１が形成される。第１構造部材２００は、バッフル板１００に接続される。内孔２０１の少なくとも一部は、第１貫通孔１１０内に位置する。即ち、第１構造部材２００の少なくとも一部は、第１貫通孔１１０内に位置し、第１構造部材２００がバッフル板１００に接続される場合、内孔２０１の少なくとも一部は、第１側面１０１及び第２側面１０２の両方に対して平行ではない。密封アセンブリ４００は、バッフル板１００と第１構造部材２００との間の隙間、及び密封対象部材３００と第１構造部材２００との間の隙間を密封する。

【0037】

バッフル板１００は、第１構造部材２００に取付基礎を提供してもよく、密封構造１０００が真空炉、電気炉、転炉などの炉体に用いられる場合、バッフル板は、炉体の内部環境と外部環境とを仕切ることができる。バッフル板１００上の第１貫通孔１１０は、密封構造１０００の他の部品が通過するためのものであってもよい。バッフル板１００の第１側面１０１及び第２側面１０２は、バッフル板１００の両側面を表す。いくつかの実施例では、密封アセンブリ４００が真空炉に用いられる場合、真空炉の炉体の内部に向かうバッフル板１００の側面は、第１側面１０１であってもよく、炉体の外部に向かうバッフル板１００の側面は、第２側面１０２であってもよい。いくつかの実施例では、バッフル板１００は、密封しやすいように、平面板状構造であってもよい。別の実施例では、バッフル板１００は、例えば円弧板状構造、波形板状構造などの他の板状構造であってもよい。いくつかの実施例では、第１側面１０１と第２側面１０２とは、基本的に平行であってもよい。別の実施例では、第１側面１０１と第２側面１０２との間は、０°より大きい夾角を有してもよい。例えば、第１側面１０１と第２側面１０２との間は、５°、１０°などの夾角を有してもよい。いくつかの実施例では、貫通孔１１０の軸線は、第１側面１０１又は第２側面１０２に垂直であってもよい。

【0038】

第１構造部材２００の少なくとも一部は、バッフル板１００の第１貫通孔１１０内に位置し、バッフル板１００により支持されてもよい（例えば、第１貫通孔１１０の側壁により支持される）。第１構造部材２００は、第１貫通孔１１０を貫通してもよく、第１貫通孔１１０を貫通せずに進入するだけでもよい。第１構造部材２００の内孔２０１は、密封対象部材３００を貫通するためのものであってもよい。内孔２０１の少なくとも一部が第１側面１０１及び第２側面１０２の両方に対して平行ではないことは、内孔２０１の少なくとも一部が第１側面１０１及び第２側面１０２のいずれとも０°より大きい夾角を有すると理解できる。これにより、密封対象部材３００が内孔２０１を介してバッフル板１００の第１側面１０１が位置する側からバッフル板１００の第２側面１０２が位置する側まで貫通することを保証することができる。いくつかの実施例では、内孔２０１の軸線は、直線である。内孔２０１は、図２におけるＢ方向に沿って延びてもよく、図２におけるＢ方向と一定の夾角、例えば、５°、１０°などの夾角を有してもよい。別の実施例では、内孔２０１の軸線は、折れ線又は曲線であってもよい。いくつかの実施例では、内孔２０１の軸線（又は内孔２０１の軸線の少なくとも一部）は、第１貫通孔１１０の軸線と（基本的に）平行であってもよく、（基本的に）重なってもよい。本明細書では、「基本」は、１つの特徴（例えば、基本的な重なり）と該特徴（例えば、完全な重なり）との偏差が１つの閾値より小さいことを説明する。該閾値は、絶対数（例えば、距離差分値が１ｃｍ、５ｍｍである）、又は相対値（例えば、該閾値は、第１貫通孔１１０の孔径の１０％、５％である）であってもよい。

【0039】

密封対象部材３００は、真空炉、電気炉、転炉などの炉体のコイル、ケーブルなどを含んでもよい。密封対象部材３００は、外管を含んでもよく、コイル、ケーブルなどは、外管に貫入してもよく、外管は、コイル、ケーブルを保護する役割を果たすことができる。

【0040】

バッフル板１００と第１構造部材２００との間の隙間は、第１貫通孔１１０に形成され、バッフル板１００と第１構造部材２００との間の隙間を密封するために、密封アセンブリ４００は、第１貫通孔１１０内、第１貫通孔１１０の任意の一端又は第１貫通孔１１０の両端に位置してもよい。密封対象部材３００と第１構造部材２００との間の隙間は、内孔２０１に形成され、密封対象部材３００と第１構造部材２００との間の隙間を密封するために、密封アセンブリ４００は、内孔２０１内、内孔２０１の任意の一端又は内孔２０１の両端に位置してもよい。密封アセンブリ４００の具体的な構造及び含まれる部品などについては、以下の関連説明を参照する。なお、図２において、第１構造部材２００、密封アセンブリ４００の形状、構造、設置位置は、例示的なものに過ぎず、異なる実施例では、第１構造部材２００、密封アセンブリ４００の形状、構造、設置位置は、変化してもよい。

【0041】

いくつかの実施例では、第１構造部材２００は、第１貫通孔１１０を介してバッフル板１００を貫通する。このとき、第１貫通孔１１０を貫通する第１構造部材２００の部分の長さは、第１貫通孔１１０の長さより長い。密封アセンブリ４００は、第１密封部材４０１を含んでもよい。第１密封部材４０１は、密封対象部材３００と第１構造部材２００との間の隙間を密封する。第１密封部材４０１は、内孔２０１の内壁と密封対象部材３００との間に設けられる。いくつかの実施例では、第１密封部材４０１は、密封対象部材３００の外側に外嵌された密封リングであってもよい。いくつかの実施例では、密封リング（第１密封部材４０１）は、内孔２０１の内壁と密封対象部材３００との間に取り付けられた後、圧縮された状態にあることにより、第１密封部材４０１の密封効果を向上させることができる。別の実施例では、第１密封部材４０１は、シーラント（例えば、凝固後に固体状態となるシーラント）であってもよく、シーラント（第１密封部材４０１）は、内孔２０１において第１密封部材４０１と密封対象部材３００との間の隙間を封止してもよい。

【0042】

いくつかの実施例では、第１密封部材４０１が密封リングである場合、第１密封部材４０１の横断面の外輪郭は、円形、楕円形、三角形、矩形、多角形又は不規則な形状などであってもよい。

【0043】

図３は、本明細書のいくつかの実施例に係る密封アセンブリの取付概略図であり、図４は、本明細書のいくつかの実施例に係る密封アセンブリの別の取付概略図である。いくつかの実施例では、図３及び図４に示すように、密封アセンブリ４００は、バッフル板１００に当接する第２密封部材４０２を含む。第２密封部材４０２は、第１貫通孔１１０の一端に位置することにより、バッフル板１００と第１構造部材２００との間の隙間を密封する。

【0044】

いくつかの実施例では、図３に示すように、第２密封部材４０２は、バッフル板１００の第１側面１０１に当接してもよい。いくつかの実施例では、図４に示すように、第２密封部材４０２は、バッフル板１００の第２側面１０２に当接してもよい。いくつかの実施例では、第２密封部材４０２は、第１構造部材２００に外嵌された密封リングを含んでもよい。別の実施例では、第２密封部材４０２は、シーラント（例えば、凝固後に固体状態となるシーラント）を含んでもよく、シーラントは、第１貫通孔１１０においてバッフル板１００と第１構造部材２００との間の隙間を封止することができる。

【0045】

いくつかの実施例では、第２密封部材４０２が密封リングである場合、第２密封部材４０２の横断面の外輪郭は、円形、楕円形、三角形、矩形、多角形又は不規則な形状などであってもよい。

【0046】

バッフル板１００に当接する第２密封部材４０２を設けることにより、第２密封部材４０２は、バッフル板１００と第１構造部材２００との間の隙間を効果的に密封することができ、かつ第２密封部材４０２が第１貫通孔１１０の端部に設けられてバッフル板１００に当接することにより密封を実現するため、第２密封部材４０２は、配置が基本的に第１貫通孔１１０のサイズにより制限されず、第２密封部材４０２の形状及びサイズに対する制限が小さく、かつ取り付けやすい。

【0047】

図５は、本明細書のいくつかの実施例に係る密封アセンブリのさらなる取付概略図である。図５に示すように、密封アセンブリ４００は、バッフル板１００に当接する第３密封部材４０３をさらに含む。第３密封部材４０３は、バッフル板１００と第１構造部材２００との間の隙間を密封する。第２密封部材４０２と第３密封部材４０３は、それぞれ第１貫通孔１１０の両端に位置してもよい。第２密封部材４０２と第３密封部材４０３は、それぞれバッフル板１００の第１側面１０１と第２側面１０２に当接してもよい。第３密封部材４０３の構造、形状は、第２密封部材４０２と類似してもよく、具体的には、第２密封部材４０２の関連説明を参照してもよい。

【0048】

第２密封部材４０２及び第３密封部材４０３を設け、第１貫通孔１１０の両端に密封を行うことにより、バッフル板１００と第１構造部材２００との間の隙間をよりよく密封することができ、かつ第２密封部材４０２及び第３密封部材４０３の配置は、基本的に第１貫通孔１１０のサイズにより制限されず、第２密封部材４０２及び第３密封部材４０３の形状、サイズに対する制限が小さい。

【0049】

図６は、本明細書のいくつかの実施例に係る密封アセンブリのさらなる別の取付概略図である。図６に示すように、密封アセンブリ４００は、第４密封部材４０４を含んでもよい。第４密封部材４０４は、バッフル板１００と第１構造部材２００との間の隙間を密封してもよい。第４密封部材４０４の少なくとも一部は、バッフル板１００の第１貫通孔１１０の内壁と第１構造部材２００の外壁との間に設けられる。即ち、第４密封部材４０４の少なくとも一部は、バッフル板１００の第１貫通孔１１０内に設けられる。

【0050】

いくつかの実施例では、第４密封部材４０４は、密封リングであってもよい。密封リング（第４密封部材４０４）は、バッフル板１００の第１貫通孔１１０内に位置し、第１構造部材２００の外側に外嵌されてもよい。別の実施例では、第４密封部材４０４は、バッフル板１００の第１貫通孔１１０内に充填され、かつバッフル板１００の第１貫通孔１１０の内壁と第１構造部材２００の外壁との間に位置するシーラント（例えば、凝固後に固体状態となるシーラント）であってもよく、シーラント（第４密封部材４０４）は、第１貫通孔１１０内に第１構造部材２００とバッフル板１００との間の隙間を封止してもよい。

【0051】

第４密封部材４０４は、密封リングである場合、複数の異なる形状であってもよい。第４密封部材４０４の形状は、第１密封部材４０１の形状と類似してもよい。図６に示す実施例では、第４密封部材４０４は、規則的な円環構造であってもよく、かつ完全にバッフル板１００の第１貫通孔１１０内に位置する。

【0052】

図７は、本明細書のいくつかの実施例に係る第４密封部材の概略構成図である。いくつかの実施例では、図７に示すように、第４密封部材４０４が密封リングである場合、第４密封部材４０４は、内側リングが円柱形であり、外側リングが円錐形である。外側リングを円錐形に設計し、外側リングの直径が小さい一端から第４密封部材４０４を第１貫通孔１１０に入れることにより、第４密封部材４０４を第１貫通孔１１０に容易に入れることができる。いくつかの実施例では、円錐形の外側リングの一端の外径は、第１貫通孔１１０の直径よりわずかに小さくてもよく、円錐形の外側リングの他端の外径は、第１貫通孔１１０の直径に基本的に等しくてもよく、第４密封部材４０４の外側リングの直径が大きい一端は、バッフル板１００の第１貫通孔１１０の内壁に締まり嵌めされてもよく、これにより、第４密封部材４０４の密封効果を向上させることができる。いくつかの実施例では、円錐形の外側リングの一端の外径は、第１貫通孔１１０の直径よりわずかに小さくてもよく、円錐形の外側リングの他端の外径は、第１貫通孔１１０の直径より大きくてもよい。このような配置により、第４密封部材４０４は、一部がバッフル板１００の第１貫通孔１１０内に位置し、他の一部がバッフル板１００の第１貫通孔１１０の外側に位置してもよい。このような配置により、密封効果を保証するとともに、第４密封部材４０４が図６におけるＡ方向に沿って移動することを防止することができる。

【0053】

図８は、本明細書の別の実施例に係る第４密封部材の概略構成図である。いくつかの実施例では、図８に示すように、第４密封部材４０４の一端には、径方向に沿って外へ延びる位置制限リング４０４１が設けられ、位置制限リング４０４１の外径は、バッフル板１００の第１貫通孔１１０の内径より大きく、第４密封部材４０４を取り付ける場合、位置制限リング４０４１は、バッフル板１００の第１貫通孔１１０を通過できないため、位置制限の役割を果たすことができる。即ち、図８に示す第４密封部材４０４は、密封効果を保証するとともに、第４密封部材４０４が図６におけるＡ方向に沿って移動することを防止することができる。

【0054】

いくつかの実施例では、第４密封部材４０４が密封リングである場合、密封リングの軸方向に沿った第４密封部材４０４の長さは、第１貫通孔１１０の軸線に沿ったバッフル板１００の第１貫通孔１１０の長さより長くても、短くても、等しくてもよい。密封リングの軸方向に沿った第４密封部材４０４の長さが第１貫通孔１１０の軸方向に沿った第１貫通孔１１０の長さより長い場合、第４密封部材４０４の両端が第１貫通孔１１０の両端を超えることができることにより、第４密封部材４０４が完全にバッフル板１００と第１構造部材２００との間の隙間を覆うことができ、第４密封部材４０４の密封強度の向上に有利である。

【0055】

いくつかの実施例では、図３～図５に示すように、密封構造１０００は、第１位置制限構造８００をさらに含む。第１位置制限構造８００は、第１貫通孔１１０における第１構造部材２００の位置を制限することができる（例えば、第１構造部材２００とバッフル板１００との相対位置を制限することにより、第１貫通孔１１０における第１構造部材２００の位置を制限する）。理解できるように、第１位置制限構造８００は、一方向のみで第１構造部材２００を位置制限してもよく、即ち、第１構造部材２００のバッフル板１００に対する一方向のみでの移動を制限してもよい。例えば、図３～図５における第１位置制限構造８００は、第１構造部材２００が図３～図５におけるＡ方向に向かって移動することを防止することができる。いくつかの実施例では、第１位置制限構造８００は、他の構造とともに、第１貫通孔１１０における第１構造部材２００の位置を固定することにより、バッフル板１００と第１構造部材２００とを接続し、第１構造部材２００とバッフル板１００との相対位置の固定を実現することができる。例えば、第１位置制限構造８００は、後述する第１構造部材２００の第２保持リング部２０３と係合して（第２保持リング部２０３は、第１構造部材２００が図３～図５におけるＢ方向に向かって移動することを防止することができる）、第１貫通孔１１０における第１構造部材２００の位置を固定することにより、第１構造部材２００とバッフル板１００との相対位置の固定を実現することができる。

【0056】

いくつかの実施例では、第１位置制限構造８００は、バッフル板１００の第２側面１０２が位置する側に位置する止めブロックを含んでもよい。いくつかの実施例では、図３に示すように、止めブロックは、バッフル板１００に当接して、第１構造部材２００が図３～図５におけるＡ方向に向かって移動することを防止することができる。

【0057】

いくつかの実施例では、図４に示すように、第２密封部材４０２及び止めブロックは、いずれもバッフル板１００の第２側面１０２が位置する側に位置し、第２密封部材４０２は、バッフル板１００の第２側面１０２に当接してもよく、止めブロックは、第２密封部材４０２に当接してもよい。このような設置により、第１位置制限構造８００は、第１構造部材２００がＡ方向に向かって移動することを防止するだけでなく、第２密封部材４０２に圧力を加えて、第２密封部材４０２をバッフル板１００に押し付けることにより、第２密封部材４０２によりよい密封効果を奏することができる。

【0058】

いくつかの実施例では、図５に示すように、第２密封部材４０２と第３密封部材４０３は、それぞれバッフル板１００の両側に位置し、かつそれぞれバッフル板１００の第１側面１０１と第２側面１０２に当接する。止めブロックは、バッフル板１００の第２側面１０２が位置する側に位置し、第３密封部材４０３に当接してもよい。このような設置により、第１位置制限構造８００は、第１構造部材２００がＡ方向に向かって移動することを防止するだけでなく、第３密封部材４０３に圧力を加えて、第３密封部材４０３をバッフル板１００に押し付けることにより、第３密封部材４０３によりよい密封効果を奏することができる。

【0059】

いくつかの実施例では、第１位置制限構造８００（上述した止めブロック）と第１構造部材２００は、係止、螺合などの複数の接続可能な方式で位置制限を実現することができる。

【0060】

いくつかの実施例では、第１位置制限構造８００は、螺合方式により位置制限を実現する。図９は、本明細書のいくつかの実施例に係る第１構造部材の概略構成図である。図３～図５及び図９に示すように、いくつかの実施例では、第１位置制限構造８００は、第１ナット８０１及び第１雄ねじ２０６を含む。即ち、上記止めブロックは、第１ナット８０１であってもよい。第１雄ねじ２０６は、第１構造部材２００に設けられる。第１構造部材２００が第１貫通孔１１０に入れられた後、第１雄ねじの少なくとも一部は、バッフル板１００の第２側面１０２が位置する側に位置してもよい。第１ナット８０１は、バッフル板１００の第２側面１０２が位置する側において、第１構造部材２００の第１雄ねじ２０６に螺合する。第１ナット８０１を回転させることにより、第１雄ねじ２０６上に往復移動するように第１ナット８０１を制御することにより、第１ナット８０１がバッフル板１００に接近するか又はバッフル板１００から離間する。バッフル板１００に近接する方向に向かって移動するように第１ナット８０１を制御することにより、第１ナット８０１がバッフル板１００（図３に示す実施例）、第２密封部材４０２（図４に示す実施例）又は第３密封部材４０３（図５に示す実施例）に当接する場合、第１ナット８０１がバッフル板１００、第２密封部材４０２又は第３密封部材４０３に圧力を加えることができる。第１ナット８０１が第２密封部材４０２（図４に示す実施例）又は第３密封部材４０３（図５に示す実施例）に当接する場合、バッフル板１００に近接する方向に向かって移動するように第１ナット８０１を制御することにより、第２密封部材４０２又は第３密封部材４０３を対応的に押し付け、密封効果を保証することができる。

【0061】

図１０Ａは、本明細書の別の実施例に係る密封構造の概略構成図であり、図１０Ｂは、本明細書の別の実施例に係る第２構造部材の概略構成図であり、以下、図１０Ａ及び図１０Ｂを参照して第２構造部材６００を詳細に説明する。図１０Ａに示すように、第２構造部材６００は、第１構造部材２００に外嵌され、かつ第１ナット８０１と第３密封部材４０３との間に位置する。第２構造部材６００は、第１構造部材２００に外嵌され、かつ第１ナット８０１と第３密封部材４０３との間に位置し、第３密封部材４０３に接触して第３密封部材４０３を位置制限する。いくつかの実施例では、図１０Ｂに示すように、第２構造部材６００に第２貫通孔６０３が設けられてもよい。図１０Ａに示すように、第１構造部材２００は、第２構造部材６００の第２貫通孔６０３内に貫入されてもよい。

【0062】

いくつかの実施例では、第２構造部材６００は、第１構造部材２００に外嵌された第１主リング部６０１を含んでもよい。第１主リング部６０１の内側リングには、第２構造部材６００における第１構造部材２００が貫通するための第２貫通孔６０３が形成されてもよい。第１主リング部６０１のバッフル板１００から離れる側は、第１ナット８０１に当接し、第１ナット８０１が移動する時に第２構造部材６００を駆動して同期に移動させることができる。

【0063】

いくつかの実施例では、第２構造部材６００は、第１保持リング部６０２をさらに含んでもよい。第１保持リング部６０２は、軸線方向において第１主リング部６０１の一端に設けられる。第１主リング部６０１が第１構造部材２００に外嵌される場合、第１保持リング部６０２は、第１主リング部６０１のバッフル板に近接する側に位置する。第１主リング部６０１が第１構造部材２００に外嵌される場合、第３密封部材４０３及び第１保持リング部６０２は、いずれもバッフル板１００と第１主リング部６０１との間に位置する。第３密封部材４０３は、第１保持リング部６０２の内側リングに位置する。

【0064】

第２構造部材６００の上記構造設計により、第１主リング部６０１は、バッフル板１００の第１貫通孔１１０の軸方向において第３密封部材４０３を位置制限することができる。第１保持リング部６０２は、バッフル板１００の第１貫通孔１１０の径方向において第３密封部材４０３を位置制限する。第２構造部材６００に第１主リング部６０１及び第１保持リング部６０２を設けることにより、第１貫通孔１１０の軸方向及び径方向において第３密封部材４０３を位置制限して、第３密封部材４０３を第１主リング部６０１とバッフル板１００との間に緊密に当接させて、第２構造部材６００とバッフル板１００との間の接触隙間をうまく密封することができる。また、第２構造部材６００は、第１ナット８０１と第３密封部材４０３との直接的な接触を回避することにより、第３密封部材４０３の摩耗を効果的に低減し、第３密封部材４０３の耐用年数を延ばすことができる。

【0065】

いくつかの実施例では、第２構造部材６００は、第２貫通孔６０３を有する仕切り板であってもよく、第１構造部材２００が仕切り板の第２貫通孔６０３内に貫入されることにより、仕切り板が第１構造部材２００の外側に外嵌されてもよい。いくつかの実施例では、仕切り板のバッフル板１００に向かう側には、底部が弧状をなす凹溝が設けられてもよく、第３密封部材４０３は、仕切り板の凹溝内に設けられてもよく、仕切り板の凹溝は、第３密封部材４０３に対する位置制限を実現することができる。

【0066】

理解できるように、第２密封部材４０２がバッフル板の第２側面１０２が位置する側に設けられる場合（即ち、図４に示す実施例）、第２構造部材６００も上記説明に従って類似して設けられてもよい。

【0067】

以下、図３～５及び図９を参照して第１構造部材２００の構造を詳細に説明する。図９に示すように、第１構造部材２００は、第２主リング部２０２を含む。第２主リング部２０２は、バッフル板１００の第１貫通孔１１０を介してバッフル板を貫通してもよい。即ち、第２主リング部２０２の外径は、第１貫通孔１１０の直径より小さく、第２主リング部２０２は、バッフル板１００の第１側面１０１が位置する側から第２側面１０２が位置する側まで貫通してもよい。内孔２０１は、第２主リング部２０２内に形成される。

【0068】

いくつかの実施例では、第１構造部材２００は、第２保持リング部２０３をさらに含んでもよい。第１構造部材２００がバッフル板１００の第１貫通孔１１０内に取り付けられる場合、第２保持リング部２０３は、バッフル板１００の第１側面１０１が位置する側に位置し、第２主リング部２０２を取り囲んでもよい。即ち、第２保持リング部２０３は、第２主リング部２０２の外周面に設けられてもよく、第２保持リング部２０３の外径は、第１貫通孔１１０の直径より大きく、第２主リング部２０２がバッフル板１００の第１貫通孔１１０を貫通する場合、第２保持リング部２０３は、第１貫通孔１１０を貫通することができない。第２保持リング部２０３は、第１構造部材２００を位置制限する役割を果たすことができる。第２保持リング部２０３は、第１構造部材２００が図３～５に示すＢ方向に向かって移動することを防止することができる。

【0069】

いくつかの実施例では、図３、図５に示すように、第２密封部材４０２がバッフル板１００の第１側面１０１が位置する側に位置する場合、第２密封部材４０２は、第２主リング部２０２に外嵌されるとともに、第２保持リング部２０３に当接してもよく、第２保持リング部２０３は、第２主リング部２０２の軸方向（第１貫通孔１１０の軸方向でもある）において第２密封部材４０２を位置制限する役割を果たし、第２密封部材４０２が第２主リング部２０２から外れることを防止することができる。

【0070】

いくつかの実施例では、図３～５及び図９に示すように、第１構造部材２００は、第３止めリング部２０４をさらに含んでもよい。第３止めリング部２０４は、バッフル板１００の第１側面１０１が位置する側に位置し、かつ第２保持リング部２０３のバッフル板１００に向かう側に設けられ、第３止めリング部２０４の内径は、第２主リング部２０２の外径より大きく、第３止めリング部２０４と第２主リング部２０２との間に環状溝が形成される。いくつかの実施例では、第３止めリング部２０４の外径は、第２保持リング部２０３の外径に等しくてもよい。

【0071】

いくつかの実施例では、図３、図５に示すように、第２密封部材４０２は、第２主リング部２０２に外嵌されるとともに、第３止めリング部２０４の内側リングに位置してもよい。即ち、第２密封部材４０２は、第３止めリング部２０４と第２主リング部２０２との間に形成された環状溝内に位置してもよい。第３止めリング部２０４は、第２主リング部２０２の径方向（第１貫通孔１１０の径方向でもある）に沿って第２密封部材４０２を位置制限する。

【0072】

別の実施例では、第２保持リング部２０３のバッフル板１００に向かう側には、底部が弧状をなす凹溝が設けられてもよく、第２密封部材４０２は、第２保持リング部２０３の凹溝内に設けられてもよく、第２保持リング部２０３の凹溝は、第２密封部材４０２に対する位置制限を実現することができる。さらなる別の実施例では、第２主リング部２０２に他の位置制限機構を設けることにより、第１構造部材２００が図３～図６に示すＢ方向に向かって移動することを防止するという目的を達成することができる。例えば、第２主リング部２０２に位置制限ブロックを設けてもよく、位置制限ブロックは、第１貫通孔１１０に入ることができないため、位置制限の役割を果たす。

【0073】

いくつかの実施例では、第２主リング部２０２の外径は、１５ｍｍ～７５０ｍｍであってもよい。いくつかの実施例では、第２主リング部２０２の内径は、１０ｍｍ～５００ｍｍであってもよい。第２主リング部２０２の内径は、即ち内孔２０１の直径である。いくつかの実施例では、第２主リング部２０２の外径と第２主リング部２０２の内径との比は、１．１～２であってもよい。上記第２主リング部２０２のサイズ設定により、第１構造部材２００の構造をより合理的でコンパクトにすることができる。

【0074】

いくつかの実施例では、第１貫通孔１１０の直径は、１７ｍｍ～８００ｍｍであってもよい。いくつかの実施例では、第１貫通孔１１０の直径と第２主リング部２０２の内径との比は、１．２～２．５である。上記内容と、第１貫通孔１１０及び第２主リング部２０２のサイズ設計により、密封構造の各部品をよりよく組み合わせることにより、密封構造がよりよい密封効果を達成することができる。

【0075】

図１１は、本明細書のさらなる別の実施例に係る密封構造の概略構成図である。いくつかの実施例では、図１１に示すように、密封構造は、第２位置制限構造５００をさらに含む。第２位置制限構造５００は、第１密封部材４０１を内孔２０１内に位置制限することにより、第１密封部材４０１の安定性を向上させ、第１密封部材４０１の外れを防止することができる。いくつかの実施例では、第２位置制限構造５００は、第１密封部材４０１の密封効果を向上させるように、第１密封部材４０１に圧力を加えてもよい。

【0076】

図１２は、本明細書のいくつかの実施例に係る第２位置制限構造の取付概略図であり、図１３は、本明細書のいくつかの実施例に係る第２ナットの概略構成図である。以下、図１２及び図１３を参照して第２位置制限構造を詳細に説明する。図１２及び図１３に示すように、第２位置制限構造５００は、第２ナット５０１及び第１雌ねじ２０５を含む。第２ナット５０１には、第１雌ねじ２０５に螺合可能な第３雄ねじ５０４が設けられる。第１雌ねじ２０５は、第１構造部材２００の内孔２０１に設けられる。第２ナット５０１は、バッフル板１００の第２側面１０２が位置する側において、内孔２０１の第１雌ねじ２０５に接続される。いくつかの実施例では、第１構造部材２００が第１貫通孔１１０内に取り付けられた後、第１雌ねじ２０５の少なくとも一部は、バッフル板１００の第２側面１０２が位置する側に位置してもよい。

【0077】

第２ナット５０１は、第１密封部材４０１に当接し、ねじ込まれた後、第１密封部材４０１の可動空間を制限することができる。さらに、第２ナット５０１は、第１密封部材４０１を押圧して、第１密封部材４０１の密封効果を向上させることができる。

【0078】

いくつかの実施例では、第２ナット５０１に位置制限凸リング５０２が設けられ、位置制限凸リング５０２の外径が内孔２０１の直径より大きくてもよいことにより、第２ナット５０１が内孔２０１に入る長さを制限する。いくつかの実施例では、位置制限凸リング５０２の外径は、バッフル板１００の第１貫通孔１１０の直径より大きくてもよい。

【0079】

いくつかの実施例では、第２ナット５０１には、自身の軸線に沿って延びる第３貫通孔５０５が設けられてもよく、該第３貫通孔５０５は、密封対象部材３００が貫通するためのものであってもよい。第３貫通孔５０５を設けることにより、密封対象部材３００は、第２ナット５０１によって制限されることなく、バッフル板１００の第２側面１０２が位置する側にスムーズに貫通することができる。

【0080】

いくつかの実施例では、図９及び図１１に示すように、第２位置制限構造５００は、位置制限ボス２０７をさらに含む。位置制限ボス２０７は、内孔２０１におけるバッフル板１００の第１側面１０１が位置する側に近接する一端に設けられる。第１密封部材４０１は、位置制限ボス２０７と第２ナット５０１との間に設けられる。第１密封部材４０１は、位置制限ボス２０７に当接してもよく、位置制限ボス２０７は、第１密封部材４０１が内孔２０１の軸方向に沿ってバッフル板の第１側面１０１に向かって移動することを制限することができる。第２ナット５０１が第１密封部材４０１に当接した後、第１密封部材４０１を位置制限ボス２０７に押し付けることができ、これにより、第１密封部材４０１の安定性及び密封効果の向上に有利である。

【0081】

第２位置制限構造５００は、複数の構造によって第１密封部材４０１の外れを防止する効果を奏することができる。いくつかの実施例では、第２位置制限構造５００は、第１位置制限プラグをさらに含んでもよく、第１位置制限プラグは、第１密封部材４０１の外れを防止する効果を奏するように、バッフル板１００の第２側面１０２が位置する側から内孔２０１に直接押し込まれてもよい。第１位置制限プラグは、内孔２０１に係止されてもよく、摩擦力によって内孔２０１の内壁に相対的に固定されてもよい。第１位置制限プラグは、第１密封部材４０１がバッフル板１００の第２側面１０２が位置する側から外れることを防止することができる。

【0082】

別の実施例では、第２位置制限構造５０１は、第２位置制限プラグ又は第３ナットをさらに含んでもよく、第２位置制限プラグ及び第３ナットは、バッフル板１００の第１側面１０１が位置する側から内孔２０１内に配置されてもよく、かつ第１密封部材４０１がバッフル板１００の第１側面１０１が位置する側から外れることを防止することができる。第２位置制限プラグを設ける方式は、第１位置制限プラグを設ける方式と類似してもよく、第３ナットを設ける方式は、第２ナット５０１を設ける方式と類似してもよい。

【0083】

いくつかの実施例では、第１密封部材４０１の数は、少なくとも２つであってもよい。少なくとも２つの第１密封部材４０１を設けることにより、第１構造部材２００と密封対象部材３００との間の隙間をよりうまく密封することができる。

【0084】

いくつかの実施例では、第１密封部材４０１と第２ナット５０１との間に第１ガスケット４０１１が設けられてもよい。いくつかの実施例では、第１ガスケット４０１１は、リング状であってもよい。第１ガスケット４０１１の材料としては、銅、ステンレス鋼などが含まれるが、これらに限定されない。第１ガスケット４０１１は、摩耗された後、交換されてもよい。第２ナット５０１をねじ込む場合、第２ナット５０１は、第１ガスケット４０１１に当接し、位置制限ボス２０７に向かって移動させるように第１ガスケット４０１１及び第１密封部材４０１を駆動することにより、第１密封部材４０１を位置制限ボス２０７と第２ナット５０１との間に押し付けることができる。

【0085】

第２ナット５０１と第１密封部材４０１との間に第１ガスケット４０１１を設けることにより、第１密封部材４０１を第２ナット５０１による摩耗から効果的に保護することで、第１密封部材４０１の耐用年数を延ばすことができる。

【0086】

いくつかの実施例では、第１密封部材４０１の数が複数である場合、少なくとも２つの第１密封部材４０１の間に第２ガスケット４０１２が設けられてもよい。第２ガスケット４０１２の材料としては、銅、ステンレス鋼などが含まれるが、これらに限定されない。いくつかの実施例では、一部の隣接する２つの第１密封部材４０１の間に第２ガスケット４０１２が設けられてもよく、他の一部の隣接する２つの第１密封部材４０１の間に第２ガスケット４０１２が設けられなくてもよい。

【0087】

隣接する２つの第１密封部材４０１の間に第２ガスケット４０１２を設けることにより、第１密封部材４０１同士が直接接触することを回避し、複数の第１密封部材４０１を有する場合、第１密封部材４０１同士の摩耗を効果的に低減することにより、第１密封部材４０１の耐用年数を延ばすことができる。

【0088】

図１４は、本明細書のさらなる別の実施例に係る密封構造の概略構成図である。以下、図１４を参照して第１構造部材２００を詳細に説明する。図１４に示すように、第１構造部材２００は、バッフル板１００の第２側面１０２が位置する側から第１貫通孔１１０に貫入される。第１構造部材２００は、第１貫通孔１１０を貫通しない。密封対象部材３００は、貫通孔及び内孔２０１を貫通する。密封アセンブリは、第５密封部材４０５を含む。

【0089】

第１貫通孔１１０の第１側面１０１が位置する側に近接する一端に位置制限ストッパー１０３が設けられる。第５密封部材４０５は、密封対象部材３００に外嵌され、かつ位置制限ストッパー１０３と第１構造部材２００との間に位置する。いくつかの実施例では、位置制限ストッパー１０３は、第５密封部材４０５が第１側面１０１が位置する側において第１貫通孔１１０から外れることを防止することができる。位置制限ストッパー１０３と第１構造部材２００との共同作用により、第５密封部材４０５を位置制限することができる。いくつかの実施例では、第１構造部材２００は、第５密封部材４０５の密封効果を保証するように、第５密封部材４０５に圧力を加えてもよい。第５密封部材４０５は、第１構造部材２００と密封対象部材３００との間の隙間を密封するだけでなく、バッフル板１００と第１構造部材２００との間の隙間を密封してもよく、密封構造１０００の構造が簡略化される。

【0090】

第１構造部材２００は、バッフル板１００の第１貫通孔１１０内に接続される。第１構造部材２００は、係止、螺合などの取り外し可能な接続方式により第１貫通孔１１０との接続を実現することができる。

【0091】

いくつかの実施例では、第１構造部材２００の外壁に第２雄ねじ２０９が設けられ、第１貫通孔１１０の内壁に第２雄ねじ２０９と螺合する第２雌ねじ１１１が設けられる。第１構造部材２００と第１貫通孔１１０とは、ねじによって接続されてもよく、第１構造部材２００は、ねじ込まれるときに第５密封部材４０５に圧力を加え、かつねじ込み距離を制御することによって圧力の大きさを容易に制御することができる。

【0092】

いくつかの実施例では、第５密封部材４０５の数は、少なくとも２つであってもよい。少なくとも２つの第５密封部材４０５を設けることにより、第１構造部材２００と密封対象部材３００との間の隙間及び第１構造部材２００と密封対象部材３００との間の隙間をうまく密封することができる。

【0093】

いくつかの実施例では、第５密封部材４０５と第１構造部材２００との間に第３ガスケット４０５１が設けられてもよい。第３ガスケット４０５１は、第１構造部材２００による第５密封部材４０５の摩耗を防止する役割を果たすことにより、第５密封部材４０５の耐用年数を延ばすことができる。第３ガスケット４０５１の材料としては、銅、ステンレス鋼などが含まれるが、これらに限定されない。

【0094】

いくつかの実施例では、第５密封部材４０５の数は、複数であってもよい。少なくとも２つの隣接する第５密封部材４０５の間に第４ガスケット４０５２が設けられてもよい。第４ガスケット４０５２の材料としては、銅、ステンレス鋼などが含まれるが、これらに限定されない。

【0095】

隣接する２つの第５密封部材４０５の間に第４ガスケット４０５２を設けることにより、第５密封部材４０５同士が直接接触することを回避し、複数の第５密封部材４０５を有する場合、第５密封部材４０５同士の摩耗を効果的に低減することにより、第５密封部材４０５の耐用年数を延ばすことができる。

【0096】

いくつかの実施例では、第１構造部材２００は、導電材料から形成されてもよい。いくつかの実施例では、図３～図５に示すように、第１構造部材２００と第１貫通孔１１０の内壁面との間に絶縁層７００が設けられ、絶縁層７００により、バッフル板１００と第１構造部材２００とを絶縁して、密封構造の安全性能を向上させる。いくつかの実施例では、第１構造部材の材料は、透磁率が低い（例えば、比透磁率が２より小さい）、銅、ステンレス、アルミニウムなどの金属導電材料であってもよい。絶縁層７００は、絶縁材料で製造される。絶縁材料として、電気絶縁性能を有するゴム系弾性材料、例えば、ポリテトラフルオロエチレン、フッ素ゴム、ニトリルゴム、ウレタンゴムなどを用いてもよい。

【0097】

いくつかの実施例では、第１構造部材２００は、絶縁材料から形成されてもよい。第１構造部材２００の具体的な材料は、絶縁層７００の材料と類似してもよい。第１構造部材２００の材料として絶縁材料を用いることにより、第１構造部材２００とバッフル板１００との間に絶縁部品（例えば絶縁層７００）を設ける必要がなく、このように、密封構造の部品数を簡略化することができ、密封効果の向上に有利である。

【0098】

いくつかの実施例では、密封アセンブリ４００は、絶縁材料から形成されてもよい。密封アセンブリ４００の具体的な材料は、絶縁層７００の材料と類似してもよい。いくつかの実施例では、第２密封部材４０２は、絶縁材料から形成されてもよい。いくつかの実施例では、絶縁層７００と第２密封部材４０２は、一体型構造であってもよい。いくつかの実施例では、第２密封部材４０２及び第３密封部材４０３の材料は、いずれも絶縁材料であってもよい。いくつかの実施例では、絶縁層７００、第２密封部材４０２及び第３密封部材４０３は、一体型構造であってもよい。いくつかの実施例では、第１密封部材４０１の材料は、絶縁材料である。前述の実施例によって実現できる技術的効果は、絶縁材料で製造された絶縁層７００、第１密封部材４０１、第２密封部材４０２、第３密封部材４０３を用いることにより、バッフル板１００と第１構造部材２００、第２構造部材６００及び密封対象部材３００との間の絶縁を実現できることを含むが、それらに限定されない。

【0099】

いくつかの実施例では、第１構造部材２００、第１ナット８０１及び／又は第２ナット５０１に工具孔が形成されてもよい。工具孔は、その中に補助具（例えば、ラッチ）を挿入してから、該工具孔を形成した部品に対して取付動作（例えば、ねじ込み、前押し、後引きなどの動作）を行うのに便利である。

【0100】

いくつかの実施例では、第１構造部材２００に第１工具孔２０８が形成されてもよい。いくつかの実施例では、図９に示すように、第１工具孔２０８は、第３止めリング部２０４に形成されてもよい。

【0101】

いくつかの実施例では、図１２及び図１３に示すように、第２ナット５０１に第２工具孔５０３が形成されてもよい。

【0102】

いくつかの実施例では、第１ナット８０１に第３工具孔が形成されてもよく、第３工具孔については、図示されず、第１工具孔２０８及び第２工具孔５０３を参照してもよい。いくつかの実施例では、第１ナット８０１の外形は、六角形又は他の形状であってもよい。

【0103】

前述の実施例により実現できる技術的効果は、各部品に工具孔を形成することにより、非常に便利で迅速に取付及び／又は取り外しを実現できることを含むが、それらに限定されない。

【0104】

本明細書の実施例における密封構造によってもたらされ得る有益な効果は、（１）本明細書における密封アセンブリにより、バッフル板と第１構造部材との間の隙間及び密封対象部材と第１構造部材との間の隙間を密封することにより、よりよい密封効果を奏することができること、（２）密封構造により、バッフル板の両側から同時に密封して密封効果を高めることができること、（３）密封構造における各構造の間の接続が簡単で、便利であり、密封アセンブリを迅速に取り付けて交換し、柔軟に調整し、メンテナンス、修理の難しさ及びコストを低減することができること、（４）密封アセンブリ及び構造部材において絶縁材料を用いることにより安全性能を向上させることができること、を含むが、これらに限定されない。なお、異なる実施例による有益な効果は、異なり、異なる実施例では、以上の任意の１種又は複数種の組み合わせであってもよく、他の任意の可能な効果であってもよい。

【0105】

図１５は、本明細書のいくつかの実施例に係る真空炉の概略構成図である。以下、図１５を参照して真空炉を詳細に説明する。図１５に示すように、真空炉２０００は、密封構造１０００を含み、真空炉は、炉体２１００を含む。炉体２１００は、真空環境を提供する炉体である。いくつかの実施例では、バッフル板１００は、炉体２１００の側壁の一部であってもよく、即ち、炉体２１００の側壁と一体型構造であってもよい。別の実施例では、まず、炉体２１００の側壁に１つの開口部を設けてから、開口部にバッフル板１００を取り付けてもよい。即ち、バッフル板１００と炉体の側壁とは、別体構造である。

【0106】

いくつかの実施例では、バッフル板１００の第１側面１０１は、炉体２１００内に位置し、バッフル板１００の第２側面１０２は、炉体２１００外に位置する。このように設けることにより、真空炉の外部から取付、取り外し、点検、交換などの作業を容易に行うことができる。例えば、第１ナット８０１及び／又は第２ナット５０１を取り付ける過程において、第１ナット８０１及び第２ナット５０１がいずれもバッフル板１００の第２側面１０２が位置する側に設けられるため、炉体の外側から第１ナット８０１及び／又は第２ナット５０１を容易に取り付けることができる。

【0107】

いくつかの実施例では、炉体２１００上の開口部は、複数であってもよい。例えば、炉体２１００上の開口部は、２つであってもよく、２つの開口部は、それぞれコイル、ケーブルの貫入及び貫通に用いられる。各開口部にいずれも上記密封構造１０００が設けられてもよい。

【0108】

以上、基本概念について説明したが、明らかに、当業者にとって、上記詳細な開示は、例示的なものに過ぎず、本明細書を限定するものではない。本明細書に明示的に説明していないが、当業者であれば、本明細書に対して様々な補正、改良及び修正を行う可能性がある。このような補正、改良及び修正は、本明細書において提案されているので、このような補正、改良及び修正は、依然として本明細書の例示的な実施例の精神及び範囲に属する。

【0109】

また、本明細書では、特定の用語を用いて本明細書の実施例を説明する。「１つの実施例」、「一実施例」、及び／又は「いくつかの実施例」は、本明細書の少なくとも１つの実施例に関連する特徴、構造、又は素性を意味する。したがって、なお、本明細書では、異なる位置で２回以上言及される「一実施例」又は「１つの実施例」又は「代替実施例」は、必ずしも同一の実施例を指すものではない。さらに、本明細書の１つ以上の実施例におけるいくつかの特徴、構造、又は素性を適切に組み合わせてもよい。

【0110】

同様に、なお、本明細書に開示された表現を簡略化し、１つ以上の発明の実施例の理解を助けるために、本明細書の実施例の前述の説明において、様々な特徴は、１つの実施例、図面、又はその説明に組み合わされる場合がある。しかしながら、この開示方法は、本明細書の対象に必要な特徴が特許請求の範囲に記載の特徴より多いことを意味するものではない。実際、実施例の特徴は、上記に開示された単一の実施例の全ての特徴より少ない。

【0111】

最後に、なお、本明細書に記載の実施例は、本明細書の実施例を説明するための原則に過ぎない。その他の変形も本明細書の範囲に含まれ得る。したがって、限定ではなく例として、本明細書の実施例の代替構成は、本明細書の教示と一致すると見なすことができる。したがって、本明細書の実施例は、本明細書で明示的に紹介され説明された実施例に限定されない。

【符号の説明】

【0112】

１０００ 密封構造
１００ バッフル板
１０１ 第１側面
１０２ 第２側面
１０３ 位置制限ストッパー
１１０ 第１貫通孔
１１１ 第２雌ねじ
２００ 第１構造部材
２０１ 内孔
２０２ 第２主リング部
２０３ 第２保持リング部
２０４ 第３止めリング部
２０５ 第１雌ねじ
２０６ 第１雄ねじ
２０７ 位置制限ボス
２０８ 第１工具孔
２０９ 第２雄ねじ
３００ 密封対象部材
４００ 密封アセンブリ
４０１ 第１密封部材
４０１１ 第１ガスケット
４０１２ 第２ガスケット
４０２ 第２密封部材
４０３ 第３密封部材
４０４ 第４密封部材
４０４１ 位置制限リング
４０５ 第５密封部材
４０５１ 第３ガスケット
４０５２ 第４ガスケット
５００ 第２位置制限構造
５０１ 第２ナット
５０２ 位置制限凸リング
５０３ 第２工具孔
５０４ 第３雄ねじ
５０５ 第３貫通孔
６００ 第２構造部材
６０１ 第１主リング部
６０２ 第１保持リング部
６０３ 第２貫通孔
７００ 絶縁層
８００ 第１位置制限構造
８０１ 第１ナット
２０００ 真空炉
２１００ 炉体

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10A】

【図10B】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【手続補正書】

【提出日】2024-11-07

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

バッフル板であって、前記バッフル板の第１側面及び第２側面を貫通する第１貫通孔が形成される、バッフル板と、
密封対象部材が貫通するための内孔が形成された第１構造部材であって、前記第１構造部材は、前記バッフル板に接続されており、前記内孔の少なくとも一部は、前記第１貫通孔内に位置し、かつ前記内孔の少なくとも一部は、前記第１側面及び前記第２側面の両方に対して平行ではない、第１構造部材と、
前記バッフル板と前記第１構造部材との間の隙間を密封し、かつ前記密封対象部材と前記第１構造部材との間の隙間を密封するための密封アセンブリと、
を含む、密封構造。

【請求項2】

前記第１構造部材は、前記第１貫通孔を介して前記バッフル板を貫通し、
前記密封アセンブリは、前記密封対象部材と前記第１構造部材との間の隙間を密封するための第１密封部材を含み、
前記第１密封部材は、前記内孔の内壁と前記密封対象部材との間に設けられる、請求項１に記載の密封構造。

【請求項3】

前記密封アセンブリは、前記第１貫通孔の一端に位置する第２密封部材を含み、
前記第２密封部材は、前記バッフル板の第１側面又は第２側面に当接して、前記バッフル板と前記第１構造部材との間の隙間を密封する、請求項２に記載の密封構造。

【請求項4】

前記密封アセンブリは、前記バッフル板と前記第１構造部材との間の隙間を密封するための第３密封部材をさらに含み、
前記第２密封部材と前記第３密封部材とは、それぞれ前記第１貫通孔の両端に位置し、かつそれぞれ前記バッフル板の第１側面と第２側面とに当接する、請求項３に記載の密封構造。

【請求項5】

前記密封アセンブリは、前記バッフル板と前記第１構造部材との間の隙間を密封するための第４密封部材を含み、前記第４密封部材の少なくとも一部は、前記第１貫通孔の内壁と前記第１構造部材の外壁との間に設けられる、請求項２に記載の密封構造。

【請求項6】

前記第１構造部材の前記第１貫通孔における位置を制限する第１位置制限構造をさらに含む、請求項４に記載の密封構造。

【請求項7】

前記第１構造部材は、第１主リング部及び第１保持リング部を含み、前記内孔は、前記第１主リング部に形成され、前記第１主リング部は、前記第１貫通孔を介して前記バッフル板を貫通し、前記第１保持リング部は、前記バッフル板の前記第１側面が位置する側に位置し、かつ前記第１保持リング部は、前記第１主リング部の外側を取り囲み、前記第１保持リング部の外径は、前記第１貫通孔の直径より大きい、請求項２に記載の密封構造。

【請求項8】

前記第１構造部材は、第２保持リング部をさらに含み、前記第２保持リング部は、前記バッフル板の前記第１側面が位置する側に位置し、前記第２保持リング部は、前記第１保持リング部の前記バッフル板に向かう側に設けられ、かつ前記第２保持リング部の外径は、前記第１主リング部の外径より大きい、請求項７に記載の密封構造。

【請求項9】

前記第１主リング部の外径と前記第１主リング部の内径との比は、１．１～２であり、かつ／または
前記第１貫通孔の直径と第１主リング部の内径との比は、１．２～２．５である、請求項９に記載の密封構造。

【請求項10】

第１密封部材を前記内孔に位置制限するよう構成された第２位置制限構造をさらに含む、請求項２に記載の密封構造。

【請求項11】

前記密封アセンブリは、少なくとも２つの前記第１密封部材を含み、少なくとも２つの隣接する前記第１密封部材の間に第２ガスケットが設けられる、請求項２に記載の密封構造。

【請求項12】

前記第１構造部材は、前記バッフル板の第２側面が位置する側から前記第１貫通孔に貫入され、前記第１貫通孔の前記第１側面に近接する一端に位置制限ストッパーが設けられ、
前記密封対象部材は、前記第１貫通孔及び前記内孔を貫通し、
前記密封アセンブリは、第５密封部材を含み、前記第５密封部材は、前記第１貫通孔内に設けられ、前記密封対象部材に外嵌され、かつ前記位置制限ストッパーと前記第１構造部材との間に位置する、請求項１に記載の密封構造。

【請求項13】

前記第１構造部材は、導電材料から形成され、前記第１構造部材の外表面と前記第１貫通孔の内壁面との間に絶縁層が設けられる、請求項１に記載の密封構造。

【請求項14】

前記第１構造部材は、絶縁材料から形成され、及び／又は、前記密封アセンブリは、絶縁材料から形成される、請求項１に記載の密封構造。

【請求項15】

請求項１～１４のいずれか一項に記載の密封構造と、炉体と、を含む真空炉であって、前記炉体の側壁に開口部が設けられ、前記密封構造が前記バッフル板を介して前記開口部に設けられる、真空炉。

【国際調査報告】