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特表2025-513212イオンビーム蒸着のターゲット寿命の延長
発明の名称 イオンビーム蒸着のターゲット寿命の延長
出願人 プラズマ − サーム エヌイーエス、エルエルシー （識別番号 520419430）
特許公開件数ランキング 14983 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12756 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特表-2025-513212
公報発行日 2025年4月24
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2025-513212
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