特表2026-502719基板蒸着装置およびその制御方法

発明の名称　基板蒸着装置およびその制御方法

出願人　サニック システム リミテッド　（識別番号 525251190）

　　　　特許公開件数ランキング 4997 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2026-502719

公報発行日　2026年1月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2026-502719

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