発明の名称 分子線構造を有するポジティブ型の多層分子膜フォトレジスト及びフォトレジストパターン製造方法
出願人 サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド (識別番号 503447036)
特許公開件数ランキング 612 位(14件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 269 位(35件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2026-504501
公報発行日 2026年2月5
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2026-504501
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