再表2013-35759剛体ステージを備えた流体圧インプリント装置及び加圧ステージ

発明の名称　剛体ステージを備えた流体圧インプリント装置及び加圧ステージ

出願人　ＳＣＩＶＡＸ株式会社　（識別番号 504097823）

　　　　特許公開件数ランキング 4822 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11821 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　再表-2013-35759

公報発行日　2015年3月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-S-2013-35759

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