再表2014-103867位相シフトマスクおよびその製造方法

発明の名称　位相シフトマスクおよびその製造方法

出願人　アルバック成膜株式会社　（識別番号 101710）

　　　　特許公開件数ランキング 14438 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12196 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　再表-2014-103867

公報発行日　2017年1月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-S-2014-103867

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