再表2014-80688静電チャック及び給電システム

発明の名称　静電チャック及び給電システム

出願人　株式会社クリエイティブ　テクノロジー　（識別番号 591012266）

　　　　特許公開件数ランキング 2825 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3945 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　再表-2014-80688

公報発行日　2017年1月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-S-2014-80688

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