特表-15147101IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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再表2015-147101β−Ga2O3単結晶層の製造方法、β―Ga2O3単結晶層付きサファイア基板、β―Ga2O3自立単結晶及びその製造方法