再表2015-162778ミラートロンスパッタ装置

発明の名称　ミラートロンスパッタ装置

出願人　長州産業株式会社　（識別番号 591097632）

　　　　特許公開件数ランキング 14225 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12103 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　再表-2015-162778

公報発行日　2017年4月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-S-2015-162778

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