再表 2015-166710 パージ装置及びパージ方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

【公報種別】再公表特許(A1)

(11)【国際公開番号】WO/0

(43)【国際公開日】2015年11月5日

【発行日】2017年4月20日

(54)【発明の名称】パージ装置及びパージ方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20170331BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

【全頁数】14

【出願番号】特願2016-515885(P2016-515885)

(21)【国際出願番号】PCT/0/0

(22)【国際出願日】2015年3月9日

(11)【特許番号】特許第6052469号(P6052469)

(45)【特許公報発行日】2016年12月27日

(31)【優先権主張番号】特願2014-92860(P2014-92860)

(32)【優先日】2014年4月28日

(33)【優先権主張国】JP

(81)【指定国】 AP(BW,GH,GM,KE,LR,LS,MW,MZ,NA,RW,SD,SL,ST,SZ,TZ,UG,ZM,ZW),EA(AM,AZ,BY,KG,KZ,RU,TJ,TM),EP(AL,AT,BE,BG,CH,CY,CZ,DE,DK,EE,ES,FI,FR,GB,GR,HR,HU,IE,IS,IT,LT,LU,LV,MC,MK,MT,NL,NO,PL,PT,RO,RS,SE,SI,SK,SM,TR),OA(BF,BJ,CF,CG,CI,CM,GA,GN,GQ,GW,KM,ML,MR,NE,SN,TD,TG),AE,AG,AL,AM,AO,AT,AU,AZ,BA,BB,BG,BH,BN,BR,BW,BY,BZ,CA,CH,CL,CN,CO,CR,CU,CZ,DE,DK,DM,DO,DZ,EC,EE,EG,ES,FI,GB,GD,GE,GH,GM,GT,HN,HR,HU,ID,IL,IN,IR,IS,JP,KE,KG,KN,KP,KR,KZ,LA,LC,LK,LR,LS,LU,LY,MA,MD,ME,MG,MK,MN,MW,MX,MY,MZ,NA,NG,NI,NO,NZ,OM,PA,PE,PG,PH,PL,PT,QA,RO,RS,RU,RW,SA,SC,SD,SE,SG,SK,SL,SM,ST,SV,SY,TH,TJ,TM,TN,TR,TT,TZ,UA,UG,US

(71)【出願人】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(74)【代理人】

【識別番号】100180851

【弁理士】

【氏名又は名称】▲高▼口 誠

(72)【発明者】

【氏名】村田 正直

(72)【発明者】

【氏名】山路 孝

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA12

5F131DA05

5F131DA37

5F131DA42

5F131DC06

5F131DC26

5F131GA14

5F131GA83

5F131GA88

5F131GA92

5F131GB02

5F131GB14

5F131JA04

5F131JA05

5F131JA13

5F131JA24

5F131JA28

5F131JA32

5F131JA34

5F131JA40

(57)【要約】

パージ装置（３０）は、供給管（３１）において格納容器に供給するパージガスの供給流量を調整する供給流量調整部（３５，４１）と、格納容器の内部（５４）の圧力が格納容器の外部に対して負圧とならないように、排出管（３３）において格納容器の内部から吸気するパージガスの吸気流量を調整する吸気流量調整部（３７，４２）とを備え、供給流量調整部は第１流量（ｆ１）及び第１流量よりも大きな流量である第２流量（ｆ２）の少なくとも２段階に供給流量の調整が可能であり、吸気流量調整部は供給流量が第１流量である場合には、吸気流量をゼロとする。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被格納物が格納される格納容器の内部をパージガスによってパージ処理するパージ装置であって、
前記格納容器に接続されることにより前記格納容器に前記パージガスを供給する供給管と、
前記供給管において前記格納容器に供給する前記パージガスの供給流量を調整する供給流量調整部と、
前記格納容器に接続されることにより前記格納容器内部の前記パージガスを排出する排出管と、
前記格納容器の内部の圧力が前記格納容器の外部に対して負圧とならないように、前記排出管において前記格納容器の内部から吸気する前記パージガスの吸気流量を調整する吸気流量調整部と、を備え、
前記供給流量調整部は、第１流量及び前記第１流量よりも大きな流量である第２流量の少なくとも２段階に前記供給流量の調整が可能であり、
前記吸気流量調整部は、前記供給流量が前記第１流量である場合には、前記吸気流量をゼロとする、パージ装置。

【請求項2】

前記吸気流量調整部は、前記排出管に設けられるバルブと前記バルブの開閉を制御する吸気流量制御部とを有しており、
前記吸気流量制御部は、前記供給流量が前記第１流量である場合に前記バルブを閉じるように制御し、前記供給流量が前記第２流量である場合に前記バルブを開くように制御する、請求項１に記載のパージ装置。

【請求項3】

前記格納容器において前記排出管が接続される排出口以外の部分から前記格納容器の外部に漏れ出した前記パージガスを排出する排出装置を更に備えている、請求項１又は２に記載のパージ装置。

【請求項4】

被格納物が格納される格納容器の内部をパージガスによってパージ処理する際のパージ方法であって、
前記格納容器に供給する前記パージガスの供給流量を調整する供給流量調整工程と、
前記格納容器の内部の圧力が前記格納容器の外部に対して負圧とならないように、前記格納容器の内部から吸気する前記パージガスの吸気流量を調整する吸気流量調整工程と、を含み、
前記供給流量調整工程では、第１流量及び前記第１流量よりも大きな流量である第２流量の少なくとも２段階に前記供給流量を調整し、
前記吸気流量調整工程では、前記供給流量が前記第１流量である場合に、前記吸気流量がゼロとなるように調整する、パージ方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被格納物が格納される格納容器の内部を不活性気体又は清浄乾燥空気などのパージガスによってパージ処理するパージ装置及びパージ方法に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、半導体ウェハ又はガラス基板などの被格納物が格納される格納容器の内部にパージガスを注入することによって清浄度を保つ（いわゆるパージ処理を行う）パージ装置が知られている。このようなパージ装置によるパージ処理は、例えば、パージガスを大量に使用するパージストッカなどにおいては、密閉領域の中で行われる。そして、このような密閉領域の内部へ、ひいてはこの密閉領域から密閉領域の外部へ、何らかの対策が必要となる濃度のパージガスが排出されることを抑制するために、例えば、特許文献１に示されるように、格納容器のパージガスの排出口に排気管を接続させ、排気管を介してパージガスを回収することが行われている。このような構成のパージ装置では、排気管へパージガスを排出させるのに十分な圧力がないため、既存の吸気手段などを接続し、強制的にパージガスを吸気して回収する構成となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００７−５６０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上述した構成において、例えば、格納容器に供給されるパージガスの量に比べて格納容器から吸気されるパージガスの量が多くなると、格納容器の内部の圧力が格納容器の外部に対して負圧になるおそれがある。この場合には、例えば、格納容器におけるパージガスの供給口や本体部と蓋部との間などから汚れた空気及び／又は塵埃などが吸入されてしまう場合があり、好ましい状態ではない。

【0005】

そこで、本発明の目的は、格納容器へのパージガスの供給流量を任意に設定変更した場合であっても、パージ装置が配置される密閉領域へ漏れ出すパージガスの量を抑制すると共に、格納容器の内部に汚れた空気及び／又は塵埃が吸入されることを防止できるパージ装置及びパージ方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一側面に係るパージ装置は、被格納物が格納される格納容器の内部をパージガスによってパージ処理するパージ装置であって、格納容器に接続されることにより格納容器に前記パージガスを供給する供給管と、供給管において格納容器に供給するパージガスの供給流量を調整する供給流量調整部と、格納容器に接続されることにより格納容器内部のパージガスを排出する排出管と、格納容器の内部の圧力が格納容器の外部に対して負圧とならないように、排出管において格納容器の内部から吸気するパージガスの吸気流量を調整する吸気流量調整部と、を備え、供給流量調整部は、第１流量及び第１流量よりも大きな流量である第２流量の少なくとも２段階に供給流量の調整が可能であり、吸気流量調整部は、供給流量が第１流量である場合には、吸気流量をゼロとする。

【0007】

本発明の一側面に係るパージ方法は、被格納物が格納される格納容器の内部をパージガスによってパージ処理する際のパージ方法であって、格納容器に供給するパージガスの供給流量を調整する供給流量調整工程と、格納容器の内部の圧力が格納容器の外部に対して負圧とならないように、格納容器の内部から吸気するパージガスの吸気流量を調整する吸気流量調整工程と、を含み、供給流量調整工程では、第１流量及び第１流量よりも大きな流量である第２流量の少なくとも２段階に供給流量を調整し、吸気流量調整工程では、供給流量が第１流量である場合に、吸気流量がゼロとなるように調整する。

【0008】

上記構成のパージ装置及び上記のパージ方法によれば、排出管から格納容器内部のパージガスが吸気されるので、格納容器において排出管が接続される排出口以外の部分から漏れ出すパージガスの量を抑制できる。また、この構成のパージ装置によれば、格納容器の内部の圧力が格納容器の外部に対して負圧とならないように吸気流量が調整される。これにより、格納容器の外部から格納容器の内部に汚れた空気や塵埃が吸入されることがなくなる。この結果、パージ装置が配置される密閉領域へ漏れ出すパージガスの量を抑制すると共に、格納容器の内部に汚れた空気や塵埃が吸入されることを防止できる。

【0009】

更に、この構成のパージ装置によれば、格納容器に供給するパージガスの供給流量を任意に設定変更できるので、様々なパターンで格納容器にパージガスを供給することができる。そして、パージガスの供給流量を変更した場合であっても、供給流量が比較的小さい場合には、吸気流量をゼロとする。これにより、格納容器の内部の圧力が格納容器の外部に対して間違っても負圧とならないようにすることができる。

【0010】

本願発明者らは、鋭意検討の結果、格納容器の内部からパージガスを吸気する場合には、パージ処理を実施しているにもかかわらず、すなわち、パージガスを格納容器に供給しているにもかかわらず、格納容器へのパージガスの供給流量が所定流量よりも小さくなる場合に、格納容器の内部の圧力が格納容器の外部に対して負圧となってしまうことを見出した。

【0011】

そこで、一実施形態では、供給管及び排出管に接続された際に、格納容器にパージガスを供給する流量が所定流量よりも小さくなると、格納容器の内部が格納容器の外部に対して負圧となるおそれがある格納容器において、第１流量及び第２流量を下記のように設定してもよい。すなわち、第１流量を上記所定流量以下の流量とし、第２流量を上記所定流量よりも大きな流量としてもよい。

【0012】

この構成のパージ装置によれば、格納容器に供給するパージガスの流量を変更した場合であっても、格納容器の内部の圧力が格納容器の外部に対して負圧とならないように、排出管において格納容器の内部から吸気するパージガスの吸気流量が変更される。

【0013】

また、一実施形態において、吸気流量調整部は、排出管に設けられるバルブとバルブの開閉を制御する吸気流量制御部とを有しており、吸気流量制御部は、供給流量が第１流量である場合にバルブを閉じるように制御し、供給流量が第２流量である場合にバルブを開くように制御するようにしてもよい。

【0014】

この構成のパージ装置によれば、比較的簡易な構成で、格納容器の内部から吸気するパージガスの吸気流量を変更することができる。

【0015】

また、一実施形態において、格納容器において排出管が接続される排出口以外の部分から格納容器の外部に漏れ出したパージガスを排出する排出装置を更に備えていてもよい。

【0016】

この構成のパージ装置では、小さな流量のパージガスを供給する場合に、格納容器の内部の圧力が外部の圧力に対して負圧となることを防止するために、例えばバルブを閉じるなど吸気流量調整部において吸気流量を制御する。この場合には、格納容器における排出口以外の部分からパージガスが漏れ出すおそれがある。この構成のパージ装置では、排出口以外の部分から漏れ出たパージガスを排出装置が回収して排出できるので、パージ装置が配置されている領域からパージガスが漏れ出すことを抑制できる。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、格納容器へのパージガスの供給流量を任意に設定変更した場合であっても、パージ装置が配置される密閉領域へ漏れ出すパージガスの量を抑制すると共に、格納容器の内部に汚れた空気や塵埃が吸入されることを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】図１は、一実施形態に係るパージ装置を備えたパージストッカを示す正面図である。

【図2】図２は、図１のパージストッカをＩＩ−ＩＩ線から見た断面図である。

【図3】図３（Ａ）は、図１のパージ装置によりパージ処理される格納容器を示した断面図であり、図３（Ｂ）は、図１のパージ装置によりパージ処理される格納容器を示した斜視図である。

【図4】図４は、図１のパージ装置の構成を示した概略構成図である。

【図5】図５は、排出管に接続した状態で格納容器の内部をパージ処理した際における、パージガスの供給流量と格納容器内部の圧力との関係を示したグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、図面を参照して一実施形態について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。

【0020】

一実施形態に係るパージ装置３０（図４参照）について説明する。パージ装置３０は、半導体ウェハ又はガラス基板などの被格納物が格納されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）などの格納容器５０（図３（Ａ）及び図３（Ｂ）参照）の内部５４をパージガスによってパージ処理する装置である。パージ装置３０は、図１及び図２に示されるような、被格納物が格納された格納容器５０を保管するパージストッカ１などに配置されている。パージストッカ１は、例えば、クリーンルーム１００に設けられている。

【0021】

図１及び図２に示されるように、クリーンルーム１００は、第１床面１００Ａと第２床面１００Ｂとを有している。第２床面１００Ｂは、作業者が移動するための床面であると共にクリーンルーム１００を２つの領域に隔てる部分でもある。第１床面１００Ａと第２床面１００Ｂとによって挟まれる領域は、通常、作業者が立ち入ることがない領域であり、各種装置、配管、配線が配置されたり、後述する排気口１５Ａからパージガスが排出されたりする領域である。第２床面１００Ｂは、グレーチング板又はバンチング板などで構成することができる。

【0022】

このようなクリーンルーム１００に設けられたパージストッカ１は、パーティション３、ＦＦＵ（Fan Filter Unit）５、ラック７、クレーン９、排気口１５Ａ、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）ポート２１及びマニュアルポート２３を備えている。

【0023】

パーティション３は、パージストッカ１のカバー板であって、第１床面１００Ａの上方の領域を仕切る（画成する）部分であり、その内側には保管領域１Ａが形成されている。ＦＦＵ５は、パーティション３で区切られた空間の天井部分、すなわち、保管領域１Ａの上方に所定方向に沿って複数設けられている。ＦＦＵ５は、保管領域１Ａの外部から保管領域１Ａ内に空気を吸気して、清浄空気を保管領域１Ａの下方に向けて吹き出す。なお、クリーンルームの天井には通常ＦＦＵが配置されているため、パージストッカの天井がクリーンルームの天井と近い場合には、クリーンルームのＦＦＵを利用してもよい。排気口１５Ａは、保管領域１Ａの底部近傍に設けられており、パージガスをクリーンルーム１００の第１床面１００Ａと第２床面１００Ｂとの間の領域に排出する部分である。パージガスは、排気用ファン１５によって保管領域１Ａから排出される。すなわち、ＦＦＵ５及び排気用ファン１５によって、一つの排気系統（排出装置）が構成されている（以下、この排気系統を「第１排気系統」とも称す。）。

【0024】

ラック７は、格納容器５０を保管する部分であり、保管領域１Ａ内に、通常１〜２列（ここでは、２列）設けられている。各ラック７は、所定方向Ｘに延在しており、隣り合う２つのラック７，７が対向するように略平行に配置されている。各ラック７には、所定方向Ｘ及び鉛直方向に沿って、格納容器５０を載置して保管する保管棚７Ａが複数形成されている。

【0025】

クレーン９は、格納容器５０を保管棚７Ａに対して出し入れする部分であり、対向するラック７，７に挟まれた領域に配置されている。クレーン９は、ラック７の延在方向Ｘに沿って、床面に配置された走行レール（図示せず）を走行することにより、ラック７に沿って所定方向Ｘに移動することができる。クレーン９の荷台９Ａは、ガイドレール９Ｂに沿って昇降可能に設けられており、鉛直方向に設けられた複数の保管棚７Ａに対して、格納容器５０を出し入れすることができる。

【0026】

パージストッカ１への格納容器５０の出し入れは、ＯＨＴポート２１及びマニュアルポート２３から行われる。ＯＨＴポート２１は、天井１００Ｃに敷設された走行レール２５を走行する天井走行車（ＯＨＴ）２７とパージストッカ１との間で格納容器５０を受け渡しする部分であり、格納容器５０を搬送するコンベヤ２１Ａを有している。マニュアルポート２３は、作業者とパージストッカ１との間で格納容器５０を受け渡しする部分であり、格納容器５０を搬送するコンベヤ２３Ａを有している。

【0027】

ラック７の保管棚７Ａには、載置される格納容器５０の内部５４をパージガス（例えば、窒素ガス）でパージするパージ装置３０が設けられている。パージ装置３０は、保管棚７Ａに載置された格納容器５０内にパージガスを供給及び排出するための装置である。

【0028】

ここで、格納容器５０について説明する。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示されるように、格納容器５０は、筐体となる、本体部５１及び蓋部５３を備えている。格納容器５０は、本体部５１と蓋部５３とによって格納容器５０の内部５４が形成される。格納容器５０の内部５４には、複数の半導体ウェハ（図示せず）が収納される。

【0029】

本体部５１において底面となる底面部５２の下面には、蓋部５３が配置される側を前としたとき、前端部の左右両端近傍に排出口５６が設けられ、後端部の左右両端に供給口５５が設けられている。供給口５５は、接続部５２Ａ及び連通部５２Ｃから形成される。排出口５６は、接続部５２Ｂ及び連通部５２Ｄから形成される。この例では接続部５２Ａは、後段にて詳述するパージ装置３０の供給管３１と接続可能に構成されている。また、接続部５２Ｂは、パージ装置３０の排出管３３と接続可能に構成されている。接続部５２Ａ、５２Ｂには、供給管３１及び排出管３３の内径と同等の径の連通部５２Ｃ，５２Ｄがそれぞれ形成されている。連通部５２Ｃ、５２Ｄは、格納容器５０の内部５４と格納容器５０の外部とを連通する孔部である。

【0030】

蓋部５３は、本体部５１の側面である一つの面に配置される。蓋部５３には、例えばラッチ機構５８が設けられている。ラッチ機構５８は、ラッチ部５８Ａとカム部５８Ｂとを有している。ラッチ部５８Ａは、カム部５８Ｂに設けられた差込口５８Ｃにキー（図示せず）を差し込んだ状態で、このキーを回動させると、ラッチ部５８Ａのカム部５８Ｂがある側とは反対側の端部が出入りするように構成されている。そして、このラッチ部５８Ａの端部がラッチ部５８Ａと対向する面であって本体部５１に設けられた嵌合溝５１Ａに嵌合されることによって、蓋部５３が本体部５１に固定されるようになっている。

【0031】

次に、上述したような格納容器５０の内部５４をパージガス（例えば、窒素ガス）によってパージ処理するパージ装置３０について説明する。図４に示されるように、パージ装置３０は、供給管３１、ＭＦＣ（Mass Flow Controller）（供給流量調整部）３５、パージガス源（図示せず）、排出管３３、バルブ（吸気流量調整部）３７及び制御部４０を備えている。

【0032】

供給管３１の先端はノズルとなっており、格納容器の供給口５５に接続されることにより格納容器５０にパージガスを供給する部分である。本実施形態では、供給管３１は、接続部５２Ａに密着されることによって連通部５２Ｃと接続される。ＭＦＣ３５は、供給管３１を流れるパージガスの質量流量を計測し、流量制御を行う機器である。本実施形態のＭＦＣ３５は、後述する供給流量制御部（供給流量調整部）４１によって流量制御がなされる。パージガス源（図示せず）は、パージガスを貯蔵するタンクである。

【0033】

排出管３３の先端はノズルとなっており、格納容器５０の排出口５６に接続されることにより格納容器５０の内部５４のパージガスを吸気して、格納容器５０の内部５４のパージガスを排出する部分である。本実施形態では、排出管３３は、接続部５２Ｂに密着されることにより、連通部５２Ｄと接続される。バルブ３７は、格納容器５０の内部５４の圧力が格納容器５０の外部に対して負圧とならないように、排出管３３において吸気するパージガスの流量を調整する。バルブ３７は、例えば、電磁式又はエア式など、リモートコントロールが可能な構成の機器を採用することができる。本実施形態のバルブ３７は、後述する吸気流量制御部（吸気流量調整部）４２によって開弁制御及び閉弁制御がなされる。

【0034】

図４に示されるように、本実施形態のパージ装置３０における排出管３３は、複数のパージ装置３０からの排出管３３が集約されて、クリーンルーム１００における第１床面１００Ａと第２床面１００Ｂとの間の領域を経由して、既存の負圧排気ダクトに接続されている（図１及び図２参照）。このような構成により、各パージ装置３０に接続される排出管３３は、格納容器５０の排出口５６に接続されることにより格納容器５０の内部５４のパージガスを吸気して、格納容器５０の内部５４のパージガスを負圧排気ダクトを介して排出することができる。言い換えれば、各排出管３３及び負圧排気ダクトによって、一つの排気系統が構成されている（以下、この排気系統を「第２排気系統」とも称す。）。

【0035】

制御部４０は、パージ装置３０における各種パージ処理を制御する部分であり、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read OnlyMemory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）などからなる電子制御ユニットである。制御部４０は、図４に示されるように、パージ装置３０の各種制御処理を実行する概念的な部分としての供給流量制御部４１と吸気流量制御部４２とを有している。このような概念的な部分が実行する機能は、ＣＰＵなどの制御のもと実行される。

【0036】

供給流量制御部４１は、格納容器５０にパージガスを供給する供給流量を調整するためにＭＦＣ３５を制御する部分である。吸気流量制御部４２は、第１流量のときにバルブ３７を閉じ、第２流量の時にバルブ３７を開放するように制御する部分である。「第１流量」とは、格納容器５０が供給管３１及び排出管３３に接続された状態において、格納容器５０にパージガスを供給する流量が所定流量Ｆ１よりも小さくなると、格納容器５０の内部５４が格納容器５０の外部に対して負圧となるおそれがある格納容器５０において、所定流量Ｆ１よりも小さい流量をいう。また「第２流量」とは、第１流量よりも大きい流量をいう。

【0037】

次に、上記パージ装置３０におけるパージ処理の動作（パージ方法）について説明する。制御部４０は、格納容器５０の載置を検知すると（又は、ユーザによりパージ処理命令が入力されると）、格納容器５０へのパージガスの供給（パージ処理）を開始する。このとき、供給流量制御部４１は、格納容器５０に指示流量でパージガスを供給するようにＭＦＣ３５を制御する（供給流量調整工程）。なお、このときの指示流量は、少なくとも２つの流量の入力が可能であり、作業者によって事前に適宜設定入力される。吸気流量制御部４２は、格納容器５０の内部５４の圧力が格納容器５０の外部に対して負圧とならないように、バルブ３７の開閉を制御する。通常、ＭＦＣ３５によってパージガスの供給が開始されるとバルブ３７が開放され、ＭＦＣ３５によるパージガスの供給が終了するとバルブ３７が閉じられる（吸気流量調整工程）。

【0038】

ところが、条件（格納容器の特性、パージ装置の特性及び供給流量など）によって、ＭＦＣ３５によってパージガスの供給が開始されたにもかかわらず、格納容器５０の内部５４の圧力が格納容器５０の外部に対して負圧となる場合がある。そこで、格納容器５０が供給管３１及び排出管３３に接続された状態において、格納容器５０にパージガスを供給する流量が所定流量よりも小さくなると、格納容器５０の内部５４が格納容器５０の外部に対して負圧となるおそれがある格納容器５０では、以下の制御が行われる。すなわち、吸気流量制御部４２は、所定流量よりも小さい第１流量のときにバルブ３７を閉じ、第１流量よりも大きな第２流量の時にバルブ３７を開放するように制御する。

【0039】

上記実施形態のパージ装置３０の作用効果について説明する。上記実施形態のパージ装置３０によれば、排出管３３から格納容器５０の内部５４のパージガスが吸気されるので、格納容器５０における供給口５５や本体部５１と蓋部５３との間（排出口以外の部分）から漏れ出すパージガスの量を抑制できる。また、上記実施形態のパージ装置３０によれば、格納容器５０の内部５４の圧力が格納容器５０の外部に対して負圧とならないようにバルブ３７の開閉が制御される。これにより、格納容器５０の外部から格納容器５０の内部５４に汚れた空気や塵埃が吸入されることがなくなる。この結果、パージ装置３０が配置される保管領域１Ａへ漏れ出すパージガスの量を抑制し、ひいては保管領域１Ａから漏れ出すパージガスの量を抑制すると共に、格納容器５０の内部５４に汚れた空気や塵埃が吸入されることを防止できる。

【0040】

ここで、保管領域１Ａからパージガスが漏れ出す場合とは、排気口１５Ａから誘導的にパージガスが排出されることなく、例えば、保管領域１Ａの開口部であるＯＨＴポート２１及びマニュアルポート２３などからパージガスが排出されることをいう。

【0041】

また、上記実施形態のパージ装置３０では、供給管３１において格納容器５０に供給するパージガスの流量を変更するＭＦＣ３５を備えているので、様々なパターンで格納容器５０にパージガスを供給することができる。例えば、パージ処理の即効性を確保するために相対的に大きな流量のパージガスを格納容器５０に供給したい場合又は十分に清浄度が確保された後に相対的に小さな流量のパージガスを継続的に格納容器５０に供給したい場合など、ニーズに合わせたパージガスの供給が可能となる。

【0042】

また、上記実施形態のパージ装置３０では、上述したようにパージガスの供給流量を変更した場合であっても、供給流量が比較的小さい第１流量の場合には、吸気流量をゼロにする。これにより、格納容器５０の内部５４の圧力が格納容器５０の外部に対して負圧とならないように調整することができる。

【0043】

また、本願発明者らは、鋭意検討の結果、格納容器５０へパージガスを供給しているにもかかわらず、格納容器の内部５４の圧力が格納容器の外部に対して負圧となってしまうことを見出した。すなわち、図５に示されるように、格納容器５０へのパージガスの供給流量が相対的に小さい場合（所定流量Ｆ１）には、格納容器５０の内部５４の圧力が格納容器５０の外部に対して負圧となってしまうことを見出した。

【0044】

そこで、上記実施形態のパージ装置３０では、格納容器５０が供給管３１及び排出管３３に接続された状態において、格納容器５０へのパージガスの供給流量が所定流量Ｆ１よりも小さくなると、格納容器５０の内部５４が格納容器５０の外部に対して負圧となるおそれがある格納容器５０については、以下の制御を行っている。すなわち、所定流量Ｆ１よりも小さい流量を第１流量ｆ１とし、第１流量ｆ１よりも大きな流量を第２流量ｆ２としたとき、第１流量ｆ１のときにバルブ３７を閉じ、第２流量ｆ２のときにバルブ３７を開放するように制御している。

【0045】

また、この構成のパージ装置３０によれば、格納容器５０に供給するパージガスの流量を変更した場合であっても、格納容器５０の内部５４の圧力が格納容器５０の外部に対して負圧とならないようにバルブ３７の開閉制御が行われる。この結果、格納容器５０の外部から格納容器５０の内部５４に汚れた空気や塵埃が吸入することを防止できる。

【0046】

また、この構成のパージ装置３０によれば、格納容器５０における供給口５５や本体部５１と蓋部５３との間から格納容器５０の外部に漏れ出したパージガスを換気して排出する第１排気系統（ＦＦＵ５及び排気用ファン１５）を備えているので、格納容器５０から漏れ出したパージガスがパージストッカ１の保管領域１Ａから漏れ出すことを抑制できる。このことは、所定流量Ｆ１以下の流量のパージガスを供給する場合に特に有効である。本実施形態のパージ装置３０では、格納容器５０に供給するパージガスの供給流量が所定流量Ｆ１以下の場合にはバルブ３７が閉じられ、格納容器５０における供給口５５や本体部５１と蓋部５３との間からパージガスが漏れ出すおそれがあるからである。

【0047】

言い換えれば、格納容器５０へのパージガスの供給流量が所定流量Ｆ１以下の場合には、格納容器５０の内部５４が負圧とならないように敢えて供給口５５や本体部５１と蓋部５３との間からパージガスを排出させ、第１排気系統のみでパージガスを回収し、パージストッカ１の外部に排出している。格納容器５０へのパージガスの供給流量が所定流量Ｆ１よりも大きい場合には、第１排気系統及び第２排気系統の両方でパージガスをパージストッカ１の外部に排出している。

【0048】

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0049】

＜第１変形例＞
上記実施形態では、各排出管３３が負圧排気ダクトに接続される例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるわけではなく、例えば別途、吸気装置を備える構成としてもよい。この場合であっても、各パージ装置３０に接続される排出管３３は、格納容器５０の排出口５６に接続されることにより格納容器５０の内部５４のパージガスを吸気して、格納容器５０の内部５４のパージガスを排出することができる。

【0050】

＜第２変形例＞
上記実施形態のパージ装置３０では、第１排気系統を備える例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるわけではない。例えば、格納容器５０の供給口５５や本体部５１と蓋部５３との間から漏れ出すパージガスの量が相対的に小さい場合には、第１排気系統を備えない構成のパージ装置としてもよい。

【0051】

＜その他の変形例＞
上記実施形態では、パージストッカ１に配置されたパージ装置を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。パーティション３などにより画成された空間に配置されるパージ装置だけでなく、例えば、天井走行車同士の中継ポイント及びコンベヤから天井走行車への受け渡しポイント（ロードポート）、天井バッファなどに搭載されるパージ装置にも適用することが可能である。

【符号の説明】

【0052】

１…パージストッカ、１Ａ…保管領域、３…パーティション、７…ラック、１５…排気用ファン、１５Ａ…排気口、３０…パージ装置、３１…供給管、３３…排出管、３５…ＭＦＣ（供給流量調整部）、３７…バルブ（吸気流量調整部）、４０…制御部、４１…供給流量制御部（供給流量調整部）、４２…吸気流量制御部（吸気流量調整部）、５０…格納容器、５１…本体部、５２…底面部、５３…蓋部、５４…格納容器の内部、１００…クリーンルーム、１００Ａ…第１床面、１００Ｂ…第２床面、１００Ｃ…天井、Ｆ１…所定流量、ｆ１…第１流量、ｆ２…第２流量。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【国際調査報告】