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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
【公報種別】再公表特許(A1)
(11)【国際公開番号】WO/0
(43)【国際公開日】2015年12月23日
【発行日】2017年4月20日
(54)【発明の名称】キャリアの一時保管装置と一時保管方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/673 20060101AFI20170331BHJP
H01L 21/677 20060101ALI20170331BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 T
H01L21/68 A
【審査請求】有
【予備審査請求】未請求
【全頁数】16
【出願番号】特願2016-529151(P2016-529151)
(21)【国際出願番号】PCT/0/0
(22)【国際出願日】2015年4月30日
(31)【優先権主張番号】特願2014-126014(P2014-126014)
(32)【優先日】2014年6月19日
(33)【優先権主張国】JP
(81)【指定国】
AP(BW,GH,GM,KE,LR,LS,MW,MZ,NA,RW,SD,SL,ST,SZ,TZ,UG,ZM,ZW),EA(AM,AZ,BY,KG,KZ,RU,TJ,TM),EP(AL,AT,BE,BG,CH,CY,CZ,DE,DK,EE,ES,FI,FR,GB,GR,HR,HU,IE,IS,IT,LT,LU,LV,MC,MK,MT,NL,NO,PL,PT,RO,RS,SE,SI,SK,SM,TR),OA(BF,BJ,CF,CG,CI,CM,GA,GN,GQ,GW,KM,ML,MR,NE,SN,TD,TG),AE,AG,AL,AM,AO,AT,AU,AZ,BA,BB,BG,BH,BN,BR,BW,BY,BZ,CA,CH,CL,CN,CO,CR,CU,CZ,DE,DK,DM,DO,DZ,EC,EE,EG,ES,FI,GB,GD,GE,GH,GM,GT,HN,HR,HU,ID,IL,IN,IR,IS,JP,KE,KG,KN,KP,KR,KZ,LA,LC,LK,LR,LS,LU,LY,MA,MD,ME,MG,MK,MN,MW,MX,MY,MZ,NA,NG,NI,NO,NZ,OM,PA,PE,PG,PH,PL,PT,QA,RO,RS,RU,RW,SA,SC,SD,SE,SG,SK,SL,SM,ST,SV,SY,TH,TJ,TM,TN,TR,TT,TZ,UA,UG,US
(71)【出願人】
【識別番号】000006297
【氏名又は名称】村田機械株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100086830
【弁理士】
【氏名又は名称】塩入 明
(74)【代理人】
【識別番号】100096046
【弁理士】
【氏名又は名称】塩入 みか
(72)【発明者】
【氏名】高井 要
【テーマコード（参考）】
5F131
【Ｆターム（参考）】
5F131AA02
5F131CA32
5F131CA45
5F131DA05
5F131DA23
5F131DA42
5F131DC06
5F131FA02
5F131FA14
5F131FA32
5F131FA33
5F131GA14
5F131GA24
5F131GA73
5F131GA76
5F131GB02
5F131GB13
5F131GB22
5F131KA05
5F131KB22
(57)【要約】
キャリアを一時保管できる数が増し、かつローカル台車にキャリアの横送り機構を設ける必要を無くすように、スライドバッファを設け、スライドバッファが、一時保管装置の搬入及び処理装置のメンテナンスを妨げないようにする。一時保管装置は、天井走行車と処理装置の前面のロードポートとの間で、キャリアを一時保管する。一時保管装置は、ロードポートの直上部を通過し、かつ天井走行車の走行経路の下方に設けられている走行レールに沿ってローカル台車を走行させ、キャリアを載置自在なセルと、前記走行レールの直下の前進位置と、走行レールの側方の後退位置との間で、前記セルをスライドさせるガイド機構、とから成るスライドバッファ、とを備える。ガイド機構は、走行レールから側方に突出した動作位置と、側方への突出長が短くかつ天井走行車によるキャリアのロードポートとの間の移載を許容する退避位置との間で移動自在で、走行レールは、処理装置の前面に沿って、ロードポートの直上部から離れた、ローカル台車の待機位置まで延びている。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
天井走行車と処理装置の前面のロードポートとの間で、キャリアを一時保管する一時保管装置であって、
キャリアを昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
ロードポートの直上部を通過し、かつ天井走行車の走行経路の下方に設けられている、前記ローカル台車の走行レールと、
キャリアを載置自在なセルと、前記走行レールの直下の前進位置と、走行レールの側方の後退位置との間で、前記セルを支持すると共にスライドさせるガイド機構、とから成るスライドバッファ、とを備え、
前記走行レールから側方に突出した動作位置と、前記動作位置よりも側方への突出長が短くかつ天井走行車によるキャリアのロードポートとの間の移載を許容する退避位置との間で移動自在に、前記ガイド機構が構成され、
前記走行レールは、処理装置の前面に沿って、ロードポートの直上部から離れた待機位置まで延びており、
前記待機位置で前記ローカル台車は待機するようにされている、一時保管装置。
キャリアを昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
ロードポートの直上部を通過し、かつ天井走行車の走行経路の下方に設けられている、前記ローカル台車の走行レールと、
キャリアを載置自在なセルと、前記走行レールの直下の前進位置と、走行レールの側方の後退位置との間で、前記セルを支持すると共にスライドさせるガイド機構、とから成るスライドバッファ、とを備え、
前記走行レールから側方に突出した動作位置と、前記動作位置よりも側方への突出長が短くかつ天井走行車によるキャリアのロードポートとの間の移載を許容する退避位置との間で移動自在に、前記ガイド機構が構成され、
前記走行レールは、処理装置の前面に沿って、ロードポートの直上部から離れた待機位置まで延びており、
前記待機位置で前記ローカル台車は待機するようにされている、一時保管装置。
【請求項2】
前記ガイド機構は、前記走行レールと平行な軸を中心に、前記セルと共に回動自在に一時保管装置のフレームに取り付けられ、前記退避位置において前記セル及び前記ガイド機構は前記走行レールの直下から外れるように構成されていることを特徴とする、請求項１の一時保管装置。
【請求項3】
前記スライドバッファと前記ローカル台車とを制御するコントローラをさらに備え、
前記ガイド機構を退避位置へ移動させる際に、天井走行車側のコントローラへ、スライドバッファが使用不能である旨を通知するように、前記コントローラが構成されていることを特徴とする、請求項２の一時保管装置。
前記ガイド機構を退避位置へ移動させる際に、天井走行車側のコントローラへ、スライドバッファが使用不能である旨を通知するように、前記コントローラが構成されていることを特徴とする、請求項２の一時保管装置。
【請求項4】
前記ガイド機構を回動自在に支持する水平軸をさらに備えて、前記退避位置において、前記ガイド機構は鉛直方向を向いていることを特徴とする、請求項１の一時保管装置。
【請求項5】
床面側に固定の架台下部と、
前記架台下部に着脱自在で、一時保管装置のフレームが固定されている架台上部、とをさらに備え、
前記フレームに前記走行レールと前記ガイド機構とが取り付けられていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかの一時保管装置。
前記架台下部に着脱自在で、一時保管装置のフレームが固定されている架台上部、とをさらに備え、
前記フレームに前記走行レールと前記ガイド機構とが取り付けられていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかの一時保管装置。
【請求項6】
天井走行車と処理装置の前面のロードポートとの間で、一時保管装置によりキャリアを一時保管する一時保管方法であって、
前記一時保管装置は、
キャリアを昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
ロードポートの直上部を通過し、かつ天井走行車の走行経路の下方に設けられている、前記ローカル台車の走行レールと、
キャリアを載置自在なセルと、前記走行レールの直下の前進位置と、走行レールの側方の後退位置との間で、前記セルを支持すると共にスライドさせるガイド機構、とから成るスライドバッファと、
スライドバッファのガイド機構を回動させる水平軸、とを備え、
前記一時保管方法は、
ローカル台車に割り当てる作業が無い際に、コントローラの制御により、ローカル台車を前記待機位置へ移動させて待機させると共に、
前記水平軸回りにスライドバッファを回動させることにより、スライドバッファのガイド機構が走行レールの側方へ突出した動作位置と、スライドバッファのガイド機構が高さ方向を向いた退避位置との間で、スライドバッファの姿勢を変化させる、一時保管方法。
前記一時保管装置は、
キャリアを昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
ロードポートの直上部を通過し、かつ天井走行車の走行経路の下方に設けられている、前記ローカル台車の走行レールと、
キャリアを載置自在なセルと、前記走行レールの直下の前進位置と、走行レールの側方の後退位置との間で、前記セルを支持すると共にスライドさせるガイド機構、とから成るスライドバッファと、
スライドバッファのガイド機構を回動させる水平軸、とを備え、
前記一時保管方法は、
ローカル台車に割り当てる作業が無い際に、コントローラの制御により、ローカル台車を前記待機位置へ移動させて待機させると共に、
前記水平軸回りにスライドバッファを回動させることにより、スライドバッファのガイド機構が走行レールの側方へ突出した動作位置と、スライドバッファのガイド機構が高さ方向を向いた退避位置との間で、スライドバッファの姿勢を変化させる、一時保管方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、半導体ウェハー等を収納するキャリアの一時保管に関する。【背景技術】
【0002】
半導体処理装置の稼働率を増すため、そのロードポートの近傍に一時保管装置（バッファ）を設けることが要求されている。これに関して出願人は特許文献１（JP2012-111635）で、天井走行車（ＯＨＴ：Overhead Hoist Transport）の走行レールと平行にかつその下方に、ローカル台車の走行レールを設けることを提案した。そしてローカル台車と天井走行車の双方が移載可能なバッファを、ローカル台車の走行レールの下方であってロードポートの直上以外の部分に設けると、例えば４個のバッファを設けることができる。バッファの数が不足する場合、天井走行車とローカル台車とにキャリアの横送り機構を設け、ローカル台車の走行レールの斜め下方にバッファを追加することが考えられる。【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】JP2012-111635
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、ローカル台車にキャリアの横送り機構を設けるとすると、ローカル台車の高さが増し、一時保管装置が占めるスペースが増す。そこで発明者は、ローカル台車の走行レールの直下の前進位置と走行レールの側方の後退位置との間で、スライド自在なスライドバッファを設けることを検討した。このようにすると、ロードポートの直上部を前進位置とするようにスライドバッファを設けることができ、バッファの数が増す。またローカル台車はキャリアの横送り機構を必要としない。【0005】
次ぎに発明者は、スライドバッファが一時保管装置の搬入、処理装置のメンテナンス等の邪魔になることに着目した。これは、ローカル台車の走行レール付近から、スライドバッファが側方に、例えば通路側に突き出すためである。そこでスライドバッファが、一時保管装置の搬入、処理装置のメンテナンス等を妨げないようにする必要がある。【0006】
この発明の課題は、・ キャリアを一時保管できる数を増し、かつローカル台車にキャリアの横送り機構を設ける必要を無くすために、スライドバッファを備え、
・ さらにスライドバッファが、一時保管装置の搬入及び処理装置のメンテナンス等を妨げない、
一時保管装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
この発明の一時保管装置は、天井走行車と処理装置の前面のロードポートとの間で、キャリアを一時保管する一時保管装置であって、キャリアを昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
ロードポートの直上部を通過し、かつ天井走行車の走行経路の下方に設けられている、前記ローカル台車の走行レールと、
キャリアを載置自在なセルと、前記走行レールの直下の前進位置と、走行レールの側方の後退位置との間で、前記セルを支持すると共にスライドさせるガイド機構、とから成るスライドバッファ、とを備え、
前記走行レールから側方に突出した動作位置と、前記動作位置よりも側方への突出長が短くかつ天井走行車によるキャリアのロードポートとの間の移載を許容する退避位置との間で移動自在に、前記ガイド機構が構成され、
前記走行レールは、処理装置の前面に沿って、ロードポートの直上部から離れた待機位置まで延びており、
前記待機位置で前記ローカル台車は待機するようにされている。
【0008】
またこの発明の一時保管方法では、天井走行車と処理装置の前面のロードポートとの間で、一時保管装置によりキャリアを一時保管し、前記一時保管装置は、
キャリアを昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
ロードポートの直上部を通過し、かつ天井走行車の走行経路の下方に設けられている、前記ローカル台車の走行レールと、
キャリアを載置自在なセルと、前記走行レールの直下の前進位置と、走行レールの側方の後退位置との間で、前記セルを支持すると共にスライドさせるガイド機構、とから成るスライドバッファと、
スライドバッファのガイド機構を回動させる水平軸、とを備え、
前記一時保管方法は、
ローカル台車に割り当てる作業が無い際に、コントローラの制御により、ローカル台車を前記待機位置へ移動させて待機させると共に、
前記水平軸回りにスライドバッファを回動させることにより、スライドバッファのガイド機構が走行レールの側方へ突出した動作位置と、スライドバッファのガイド機構が高さ方向を向いた退避位置との間で、スライドバッファの姿勢を変化させる。
【0009】
スライドバッファは、ロードポートの直上部を前進位置とするように設けることができるので、固定のバッファに比べ多数設けることができる。またスライドバッファのセルがスライドするので、ローカル台車にキャリアの横送り機構を設ける必要がない。さらにローカル台車は、ロードポートの直上部以外で待機するので、ローカル台車にトラブルが生じても、天井走行車はロードポートとの間でキャリを移載できる。なおローカル台車が機上コントローラにより自発的に待機位置へ移動しても、あるいは一時保管装置のコントローラ（実施例でのバッファコントローラ等）からの指令により、ローカル台車が待機位置へ移動しても良い。【0010】
そしてスライドバッファのセル（例えばキャリア１個分の棚）はガイド機構と共に退避できるので、セルとガイド機構を退避させて、一時保管装置の搬入を容易にし、あるいは処理装置のメンテナンス、搬出入等を容易にできる。退避位置では、天井走行車によるキャリアのロードポートとの間の移載が許容される。このため、他の処理装置のメンテナンス等のために通路を広く開ける必要がある際に、セルとガイド機構とを退避させても、ロードポートと天井走行車間でのキャリアの移載を行うことができる。この明細書において、一時保管装置に関する記載はそのまま一時保管方法にも当てはまる。 【0011】
好ましくは、前記ガイド機構は、前記走行レールと平行で例えば水平な軸を中心に、回動自在に一時保管装置のフレームに取り付けられ、前記退避位置において前記セル及び前記ガイド機構は前記走行レールの直下から外れるように構成されている。ガイド機構をセルと共に走行レールと平行な軸回りに退避位置へ回動させると、走行レールの直下からセルとガイド機構とが外れ、天井走行車はロードポートへの移載を行うことができる。また一時保管装置に、スライドバッファ以外に固定のバッファが設けられている場合、スライドバッファを退避させても、ローカル台車は固定バッファとロードポート間の搬送を行うことが可能である。 【0012】
また好ましくは、前記スライドバッファと前記ローカル台車とを制御するコントローラをさらに備え、前記ガイド機構を退避位置へ移動させる際に、天井走行車側のコントローラへ、スライドバッファが使用不能である旨を通知するように、前記コントローラが構成されている。この態様では、処理装置のメンテナンス、搬出入等に応じて、スライドバッファのガイド機構を退避させる際に、センサ等によりガイド機構の回動を検出することにより、あるいは作業者が入力することにより、一時保管装置のコントローラへその旨を入力する。一時保管装置のコントローラは、その旨を天井走行車側のコントローラへ通知する。天井走行車側のコントローラでは、スライドバッファを搬送先として指定しないようにして、天井走行車による搬送に混乱が生じないようにできる。なおスライドバッファのガイド機構を走行レールと平行な軸回りに回動させても、ロードポートと天井走行車との移載は妨げられない。【0013】
好ましくは、一時保管装置は、ローカル台車の走行レールの直下で、かつロードポートの直上部から離れた位置に、固定のバッファを備えている。なお前記待機位置は固定のバッファの上部にある。【0014】
好ましくは、ガイド機構を回動自在に支持する水平軸をさらに備えて、退避位置において、ガイド機構は鉛直方向を向いている。このようにすると、回動によりスライドバッファは退避し、退避位置のスライドバッファはロードポートとの移載を妨げず、また走行レールの側方へのはみ出しが少ない。【0015】
好ましくは、一時保管装置は、床面側に固定の架台下部と、前記架台下部に着脱自在で、一時保管装置のフレームが固定されている架台上部とをさらに備え、前記フレームに前記走行レールと前記ガイド機構とが取り付けられている。なおローカル台車は走行レールに支持され、スライドバッファのセルはガイド機構に支持されている。このようにすると、一時保管装置のフレームを予め架台上部に固定しておくことができるので、一時保管装置の設置が容易になる。また架台の下部を予め床面側に固定しておくことができるので、搬入時の一時保管装置の高さを低くできる。【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】実施例の、キャリアの一時保管装置の平面図
【図2】実施例の、キャリアの一時保管装置の一部切欠部付き側面図
【図3】実施例の、キャリアの一時保管装置の一部切欠部付き正面図
【図4】収容能力をより大きくした変形例を模式的に示す平面図
【図5】収容能力をより大きくした変形例を模式的に示す側面図
【図6】小さな処理装置に対応する変形例を模式的に示す平面図
【図7】ローカル台車の平面図
【図8】スライドバッファの平面図
【図9】スライドバッファの回動機構を示す正面図
【図10】バッファコントローラ天井走行車側のコントローラとの関係を示す図
【発明を実施するための形態】
【0017】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。【実施例】
【0018】
図１〜図１０に、実施例のキャリアの一時保管装置（一時保管装置）２と、その変形例とを示す。一時保管装置２はクリーンルーム内等に設けられ、クリーンルームの天井から図３に示す天井走行車３０（ＯＨＴ）の走行レール４が支持されている。６は半導体等の処理装置で、処理装置には検査装置を含むものとし、ロードポート１６を１個〜複数個備えている。また半導体ウェハー、レチクル等の物品はFOUP（Front-Opening Unified Pod）等のキャリア１８に収納されて、スライドバッファ１２，固定バッファ１４に一時保管されると共に、天井走行車（ＯＨＴ）３０とローカル台車１０とにより搬送される。【0019】
一時保管装置２は、クリーンルーム内の通路７上で、人とは干渉しない高さに配置されている。一時保管装置２の最上部には一対の走行レール８，８が設けられ、ロードポート１６の直上部を、処理装置６の前面と平行に、走行レール８，８に沿ってローカル台車１０が走行する。走行レール８，８の間には、キャリア１８が通過できる隙間があり、天井走行車３０とローカル台車１０は走行レール８，８の隙間を通るようにして、キャリア１８を移載する。【0020】
一時保管装置２はフレーム１１を備え、フレーム１１にスライドバッファ１２のフレーム１３が、ヒンジ１５により、走行レール８と平行な水平軸回りに９０°回動自在に取り付けられている。スライドバッファ１２は、走行レール８，８の直下にある前進位置と、走行レール８，８の下部から側方に離れた後退位置との間で進退自在である。また好ましくは、スライドバッファ１２以外に、固定バッファ１４を走行レール８，８の両端もしくは一端に設ける。そしてロードポート１６の上部と固定バッファ１４の上部とが、ローカル台車１０及び天井走行車３０の停止位置となり、固定バッファ１４の上部はローカル台車１０の待機位置でもある。なお固定バッファ１４の代わりにスライドバッファ１２を設けて、固定バッファ１４を設けないようにしても良い。ロードポート１６の上部を除く位置を、ローカル台車１０の待機位置とするので、ローカル台車１０にトラブルが生じても、ロードポート１６と天井走行車３０との移載は妨げられない。【0021】
フレーム１３はフレーム１１にヒンジ１５により回動自在に取り付けられ、フレーム１３は図１の姿勢から下向きに９０°回動できる。また１７はフレーム１３に上向きの力を加えるダンパで、例えばエアシリンダで構成され、油圧シリンダでも良く、あるいはバネ等の簡易なものでも良い。また駆動に必要な空気は、図２，図３の架台２４等を介して供給する。フレーム１３をヒンジ１５を中心に回動させる際に、フレーム１３及びスライドバッファ１２の重力をダンパ１７で支持し、回動を容易にする。【0022】
２０は光センサ、２１は反射板で、これらは停止位置毎に設けられている。そして反射板２１との間が遮られたことから、天井走行車３０からの昇降台、昇降台を吊持するベルト、あるいは昇降台に把持されているキャリアを、光センサ２０により検出する。２２はバッファコントローラで、ローカル台車１０の制御とスライドバッファ１２の制御、天井走行車３０とローカル台車１０のインターロック、天井走行車側のコントローラとの通信、及び処理装置６との通信を行う。【0023】
バッファコントローラ２２は、・ ロードポート１６と、天井走行車３０あるいはローカル台車１０が、キャリア１８を受け渡しする際に、受け渡しするロードポート１６の直上部のスライドバッファ１２を退避させ、
・ ローカル台車１０がスライドバッファ１２とキャリア１８を受け渡しする際に、スライドバッファ１２を前進させ、
・ 天井走行車３０あるいはその地上コントローラからの要求に応じ、スライドバッファ１２を前進あるいは後退させることにより、キャリア１８を受け渡しできるようにし、
・ ローカル台車１０の作業が無い場合は、固定バッファ１４の上部の待機位置へ移動させ、待機させる。
【0024】
図２，図３に示すように、一時保管装置２は門形の架台２４により支持され、架台２４の通路７側の前面２５は、通路７に対して、ロードポート１６の前面２６とほぼ同じ位置まで進出しているか、あるいは前面２６よりも処理装置６寄りの位置にある。このため通路７の幅Ｗはロードポート１６の位置により定まり、一時保管装置２を設けても通路７の幅Ｗは狭くならない。なおほぼ同じとは、前面の差が例えば±100mm以下であること、特に±50mm以下であることであり、好ましくは前面２５，２６はほぼ同じ位置にある。ところで一時保管装置２は、クリーンルームの天井あるいは天井走行車３０の走行レール４から吊り下げても良い。しかし架台２４に一時保管装置２を支持させてクリーンルーム内へ搬入し、位置決めすると、一時保管装置２を容易に設置できる。そして架台２４の前面２５がロードポート１６よりも通路７側に進出しないようにすると、通路７を狭くすることにならない。【0025】
架台２４は、ネジ等により互いに締結された上部２７と下部２８とから成り、下部２８は取付部２９によりクリーンルームの床面等に固定されている。さらに一時保管装置２を上部２７に予め固定しておき、上部２７を下部２８上に固定することにより、一時保管装置２を設置する。このようにすると、一時保管装置２をクリーンルーム内に搬入する際の高さを小さくできる。また一時保管装置２の重心を下げることにより耐震性を強化するため、下部２８は厚い鋼材等で構成して重くしてある。【0026】
天井走行車３０の構造を図３に示す。走行部３２は走行レール４内を走行すると共に横送り機構３３を支持し、横送り機構３３は、走行レール４に水平面内で直角な方向に、昇降駆動部３４を横送りする。昇降駆動部３４は、ベルト３６等の吊持材を繰り出し及び巻き取り、キャリア１８をチャック及び解放自在な昇降台３５を昇降させる。昇降駆動部３４，昇降台３５，及びベルト３６は、ホイストを構成する。そして前記の光センサ２０はホイスト及びホイストに支持されているキャリアを検出する。３８は、キャリア１８の落下を防止する落下防止カバーで、これらの他に、昇降駆動部３４を鉛直軸回りに回動させる機構を追加しても良い。なお横送り機構３３を備えない天井走行車では、スライドバッファ１２を走行レール８，８の下部へ前進させて移載する。 【0027】
図１〜図３の一時保管装置２は、スライドバッファ１２を４個、固定バッファ１４を２個備え、処理装置６のロードポート１６は例えば４個である。これに対して、４個のロードポート１６に対して、キャリア１８の収容能力を最大にした一時保管装置４０を、図４，図５に示す。一時保管装置４０では、固定バッファ１４はスライドバッファ１２よりもキャリアの高さで１段分低い位置に設けられ（図５）、この結果、一時保管装置４０が占める高さが増している。スライドバッファ１２は、走行レール８，８の両側に設けられ、固定バッファ１４の上部にも、ロードポート１６から外れたスライドバッファ１２’が前進するように設けられている。この結果、スライドバッファ１２を８個、ロードポート１６から外れたスライドバッファ１２'を４個、固定バッファ１４を２個設けることができ、固定バッファ１４の上部がローカル台車１０の待機位置である。 【0028】
図６は、小型の処理装置６'に対応し収容能力が小さい一時保管装置６０を示す。処理装置６'はロードポート１６を２個備え、一時保管装置６０は、スライドバッファを４個備え、ロードポート１６から外れたスライドバッファ１２'の上部をローカル台車１０の待機位置とする。なお図５のようにすると、固定バッファ１４を２個追加できるが、一時保管装置６０が占める高さが増す。【0029】
図７はローカル台車１０の構造を示す。ローカル台車１０は、一対の走行レール８，８に沿って、車輪６２と図示しないモータとにより走行し、昇降駆動部６３と図示しないベルト等により、キャリア１８をチャック／解放自在な昇降台６４を昇降させる。ローカル台車１０はこれ以外に、バッファコントローラ２２との通信装置、及び天井走行車３０とのインターロック用の端末との通信装置、電池等の電源、機上のコントローラを備えている。【0030】
図８はスライドバッファ１２の構造を示し、スライドバッファ１２は セル７２と、セル７２を前進位置と後退位置との間で前後進させるガイド機構６８から成る。７０はガイド機構６８のベースで、フレーム１３に固定され、レール７１，７１に沿って、前進位置と後退位置との間で、セル７２が車輪７３により前後進する。なお前進位置はローカル台車の走行レールの直下、後退位置はそれから離れた位置である。セル７２に設けられている、例えば３個の位置決めピン７４は、キャリア１８の底部を位置決めする。キャリアセンサ７５はキャリア１８の有無を検出し、着座センサ７６はキャリア１８が位置決めピン７４上の正しい位置に着座していることを検出し、ＩＤリーダ７７はキャリアのＩＤを読み取る。なおＩＤリーダ７７は設けなくても良く、センサ７５，７６，ＩＤリーダ７７は固定バッファにも同様に設ける。【0031】
空気圧シリンダ、油圧シリンダ等のシリンダ７８とピストン７９により、あるいは図示しないモータと歯付ベルト等により、リニアガイド８０をレール８１に沿って前後進させる。歯付きベルト８２等から成る倍速機構により、リニアガイド８０の２倍のストロークで、セル７２を前後進させる。なおこの倍速機構はスライドフォークで広く用いられているもので、またセル７２の前後進の機構は任意である。センサ８３はリニアガイド８０が後退位置にあることを検出し、センサ８４は前進位置にあることを検出し、ケーブルガイド８５は電源線と信号線とを屈曲自在にガイドし、センサ７５，７６、ＩＤリーダ７７をベース７０側に接続する。センサ８３，８４の作用はセル７２の位置を検出することで、レール７１にセルの前端位置を検出する光センサと、後端位置を検出する光センサ等を取り付けても良い。【0032】
図９に示すように、フレーム１３とスライドバッファ１２は、水平な姿勢（実線）と鉛直な姿勢（鎖線）との間で、ヒンジ１５を中心に９０°回動自在である。そして図８の８６はレール７１の先端に設けたブラケットで、ピン孔８７を備えている。図９に戻り、通常時は、ブラケット８６をフレーム１１側のブラケット８８に重ねて、ピン８９等でブラケット８６をブラケット８８に固定する。退避時はピン８９を抜いて、ヒンジ１５を中心にフレーム１３とスライドバッファ１２を一体に回動させる。退避位置でスライドバッファ１２は走行レール８，８間の隙間から退避するので、天井走行車はロードポートとの間でキャリアを移載できる。実施例ではスライドバッファ１２は反時計回りに退避するが、時計回りに回動して退避しても良い。またフレーム１３と全てのスライドバッファ１２を一括して回動させるが、個々のスライドバッファ１２毎に回動させるように構成しても良い。 【0033】
フレーム１３とスライドバッファ１２とを合わせると、人手で回動させるには重すぎることがある。そこでダンパ１７よりフレーム１３に上向きの力を加え、フレーム１３とスライドバッファ１２を人手で容易に回動できるようにする。【0034】
図１０は、バッファコントローラ２２と天井走行車コントローラ１０２との関係を示す。天井走行車コントローラ１００は、メモリに走行経路のマップ１０２を記憶させており、マップ１０２にはスライドバッファ１２の位置が、代替の搬送先と共に記載されている。スライドバッファを退避させると、バッファコントローラ２２は、スライドバッファが使用不能（Disable）である旨を通知し、天井走行車コントローラ１００はマップ１０２にその旨を転記する。そして一時保管装置２を搬送先とする指令を、代替の搬送先への指令に変更する。なお代替の搬送先が登録されていない場合、マップ１０２から代替の搬送先を決定する。このようにすると、処理装置のメンテナンス等に伴い、臨時にスライドバッファを使用不能にしても、天井走行車による搬送に混乱を来さない。 【0035】
実施例では、以下の効果が得られる。1) スライドバッファ１２により、多数のキャリアを保管できる。
2) ローカル台車１０はキャリアの横送り機構を必要とせず、またロードポートと天井走行車間の移載を妨げない位置で待機できる。
3) 一時保管装置２の搬入、処理装置のメンテナンス、搬出入等に際して、スライドバッファ１２を退避させることができるので、作業が容易になる。
4) スライドバッファ１２を退避させても、天井走行車とローカル台車１０はロードポートとの間でキャリアを移載できる。
5) ダンパ１７により、スライドバッファ１２を人手で容易に回動させることができる。
6) スライドバッファ１２を退避させると、その旨を天井走行車側のコントローラへ通知するので、天井走行車による搬送に混乱を来さない。
7) 一時保管装置２を架台２４により床面側から支持するので、一時保管装置２の設置は高所作業を伴わない。
8) 架台２４はロードポートよりも通路７側に進出しないので、一時保管装置２により通路７は狭くならない。
9) 架台２４を上下に２分すると、一時保管装置２の搬入が容易になる。
【0036】
実施例では、ガイド機構６８とセル７２はヒンジ１５により水平軸回りに回動することにより退避したが、退避機構の構成は任意である。また一時保管装置２は、架台２４ではなく、天井走行車の走行レール４等により、天井側から支持しても良い。【符号の説明】
【0037】
２，４０，６０ キャリアの一時保管装置（一時保管装置）４ 天井走行車の走行レール ６ 処理装置 ７ 通路
８ ローカル台車の走行レール １０ ローカル台車
１２ スライドバッファ １１，１３ フレーム
１４ 固定バッファ １５ ヒンジ １６ ロードポート
１７ ダンパ １８ キャリア ２０ 光センサ
２１ 反射板 ２２ バッファコントローラ（コントローラ）
２４ 架台 ２５，２６ 前面 ２７ 上部 ２８ 下部
２９ 固定部 ３０ 天井走行車（ＯＨＴ） ３２ 走行部
３３ 横送り機構 ３４ 昇降駆動部 ３５ 昇降台
３６ ベルト ３８ 落下防止カバー ６２ 車輪
６３ 昇降駆動部 ６４ 昇降台 ６８ ガイド機構
７０ ベース ７１ レール ７２ セル ７３ 車輪
７４ 位置決めピン ７５ キャリアセンサ ７６ 着座センサ
７７ ＩＤリーダ ７８ シリンダ ７９ ピストン
８０ リニアガイド ８１ レール ８２ 歯付きベルト
８３，８４ センサ ８５ ケーブルガイド
８６，８８ ブラケット ８７ ピン孔 ８９ ピン
１００ 天井走行車コントローラ １０２ マップ
【国際調査報告】