再表 2017-150005 搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

【公報種別】再公表特許(A1)

(11)【国際公開番号】WO/0

(43)【国際公開日】2017年9月8日

【発行日】2018年12月6日

(54)【発明の名称】搬送システム

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/04 20060101AFI20181109BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20181109BHJP

【ＦＩ】

   B65G1/04 555Z

   H01L21/68 A

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

【全頁数】24

【出願番号】特願2018-502587(P2018-502587)

(21)【国際出願番号】PCT/0/0

(22)【国際出願日】2017年1月24日

(31)【優先権主張番号】特願2016-41532(P2016-41532)

(32)【優先日】2016年3月3日

(33)【優先権主張国】JP

(81)【指定国】 AP(BW,GH,GM,KE,LR,LS,MW,MZ,NA,RW,SD,SL,ST,SZ,TZ,UG,ZM,ZW),EA(AM,AZ,BY,KG,KZ,RU,TJ,TM),EP(AL,AT,BE,BG,CH,CY,CZ,DE,DK,EE,ES,FI,FR,GB,GR,HR,HU,IE,IS,IT,LT,LU,LV,MC,MK,MT,NL,NO,PL,PT,RO,RS,SE,SI,SK,SM,TR),OA(BF,BJ,CF,CG,CI,CM,GA,GN,GQ,GW,KM,ML,MR,NE,SN,TD,TG),AE,AG,AL,AM,AO,AT,AU,AZ,BA,BB,BG,BH,BN,BR,BW,BY,BZ,CA,CH,CL,CN,CO,CR,CU,CZ,DE,DJ,DK,DM,DO,DZ,EC,EE,EG,ES,FI,GB,GD,GE,GH,GM,GT,HN,HR,HU,ID,IL,IN,IR,IS,JP,KE,KG,KH,KN,KP,KR,KW,KZ,LA,LC,LK,LR,LS,LU,LY,MA,MD,ME,MG,MK,MN,MW,MX,MY,MZ,NA,NG,NI,NO,NZ,OM,PA,PE,PG,PH,PL,PT,QA,RO,RS,RU,RW,SA,SC,SD,SE,SG,SK,SL,SM,ST,SV,SY,TH,TJ,TM,TN,TR,TT,TZ

(71)【出願人】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 高志

【テーマコード（参考）】

3F022

5F131

【Ｆターム（参考）】

3F022AA08

3F022BB09

3F022CC02

3F022EE05

3F022FF01

3F022JJ11

3F022KK01

3F022LL12

3F022NN02

3F022PP04

3F022QQ04

3F022QQ12

5F131AA02

5F131CA32

5F131DA05

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5F131DA23

5F131DA35

5F131DA37

5F131DC05

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5F131DC26

5F131DD02

5F131DD43

5F131DD72

5F131GA14

5F131GA15

5F131GA19

5F131GA73

5F131GB12

5F131KA10

5F131KA12

5F131KA35

5F131KA40

5F131KA53

5F131KB06

5F131KB22

5F131KB32

5F131KB58

(57)【要約】

搬送システム１００は、複数の第１レール９と、複数の第２レール１１と、を有し、複数の第１レール９と複数の第２レール１１とが同一面上に格子状に配置された走行レール４と、走行レール４上を第１方向及び第２方向に走行可能な走行部２４と、キャリア５０を保持する保持部４６Ａ及び保持部４６Ａを昇降させる昇降部４５を含む移載部２６と、を有する複数の台車８と、を備え、走行レール４は、所定の工程の処理を実施する第１の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部２６が配置される第１の停止位置に台車８が乗り入れ自在であり、且つ、第１の停止位置から所定の工程とは異なる工程の処理を実施する第２の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部２６が配置される第２の停止位置へ台車８が乗り入れ自在に配置されている。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を収容するキャリアを、前記基板の処理を行う複数の処理装置それぞれにおける移載ポート相互間で搬送する搬送システムであって、
第１方向に直線状に延在する複数の第１レールと、前記第１方向に直交する第２方向に延在する複数の第２レールと、を有し、複数の前記第１レールと複数の前記第２レールとが同一面上に格子状に配置された走行レールと、
前記走行レールを前記第１方向及び前記第２方向に走行可能な走行部と、前記キャリアを保持する保持部及び前記保持部を昇降させる昇降部を含む移載部と、を有する複数の台車と、を備え、
前記走行レールは、所定の工程の処理を実施する第１の処理装置群における各前記移載ポートの直上に前記移載部が配置される第１の停止位置に前記台車が乗り入れ自在であり、且つ、前記第１の停止位置から前記所定の工程とは異なる工程の処理を実施する第２の処理装置群における各前記移載ポートの直上に前記移載部が配置される第２の停止位置へ前記台車が乗り入れ自在に配置されている、搬送システム。

【請求項2】

複数の前記移載ポートは、前記第１の処理装置群及び前記第２の処理装置群のそれぞれにおいて、前記第１方向又は前記第２方向に沿って互いに隣接して配置されており、
前記走行レールは、前記第１の処理装置群及び前記第２の処理装置群において配列方向が平行となるように設けられた複数の前記移載ポートの直上に前記移載部が配置される前記第１の停止位置から前記第２の停止位置へ前記台車が乗り入れ自在に配置されている、請求項１に記載の搬送システム。

【請求項3】

前記走行レールは、前記第１の処理装置群と前記第２の処理装置群とにおいて互いに対向して配置された複数の前記移載ポートの直上に前記移載部が配置される前記第１の停止位置から前記第２の停止位置へ前記台車が乗り入れ自在に配置されている、請求項２に記載の搬送システム。

【請求項4】

複数の前記移載ポートの配列方向が平行となるように設けられた前記第１の処理装置群及び前記第２の処理装置群を複数備え、
前記走行レールは、一の前記第１の処理装置群及び前記第２の処理装置群の前記移載ポートの直上に前記移載部が配置される前記第１の停止位置に前記台車が乗り入れ自在であり、且つ、前記第１の停止位置から他の前記第１の処理装置群及び前記第２の処理装置群の前記移載ポートの直上に前記移載部が配置される前記第２の停止位置に前記台車が乗り入れ自在に配置されている、請求項２又は３に記載の搬送システム。

【請求項5】

前記第１の処理装置群及び前記第２の処理装置群のそれぞれは、前記第１方向に沿って配置された複数の前記移載ポートと、前記第２方向に沿って配置された複数の前記移載ポートとを有し、
前記第１の処理装置群及び前記第２の処理装置群のそれぞれにおいて、前記第１方向又は前記第２方向に沿って配置された複数の前記移載ポートは、互いに一直線上には配置されておらず且つ前記第１方向又は前記第２方向にずれた位置に配置されたものを含み、
前記走行レールは、前記第１の処理装置群における各前記移載ポートの直上に前記移載部が配置される前記第１の停止位置に前記台車が乗り入れ自在であり、且つ、前記第１の停止位置から前記第２の処理装置群における各前記移載ポートの直上に前記移載部が配置される前記第２の停止位置へ前記台車が乗り入れ自在に配置されている、請求項１又は２に記載の搬送システム。

【請求項6】

前記台車は、前記移載部が前記走行レールよりも上側に位置した状態で前記走行レール上を走行し、
前記走行レールは、平面視において前記移載ポートを含む領域が開口部とされており、
前記台車は、前記開口部を介して前記移載部により前記移載ポートに対して前記キャリアの移載を行う、請求項１〜５のいずれか一項に記載の搬送システム。

【請求項7】

前記キャリアを保管する保管部を備え、
前記走行レールは、前記保管部の直上に前記移載部が配置される停止位置へ前記台車が乗り入れ自在となるように配置されている、請求項１〜６のいずれか一項に記載の搬送システム。

【請求項8】

前記走行レールは、複数の前記第１レールと複数の前記第２レールとが、それぞれ前記キャリアが鉛直方向に通過できる間隔をあけて配置されており、
前記保管部は、前記第１レールと前記第２レールとにより区画される空間の直下に設けられており、
前記台車は、前記空間を介して前記移載部により前記保管部に対して前記キャリアの移載を行う、請求項７に記載の搬送システム。

【請求項9】

前記開口部は、１つの処理装置に設けられる複数の前記移載ポートを含む領域を有している、請求項６に記載の搬送システム。

【請求項10】

前記移載部は、前記昇降部を前記第１方向及び前記第２方向に沿った平面に平行な方向において進退可能な移動部を有し、
前記台車は、前記開口部を形成する前記第１レール及び前記第２レールの少なくとも一方の上で停止し、前記移動部を進出させることにより、前記開口部を介して前記移載ポートに前記キャリアを移載する、請求項６に記載の搬送システム。

【請求項11】

前記走行レールは、前記移載ポートの直上で前記台車が停止できるように配置されており、
前記台車は、前記移載ポートの直上で停止し、前記開口部を介して前記キャリアを前記移載ポートに移載する、請求項６に記載の搬送システム。

【請求項12】

前記台車は、前記移載部が前記走行レールよりも下側に位置した状態で前記走行レールを走行する、請求項１〜５のいずれか一項に記載の搬送システム。

【請求項13】

前記走行レールには、前記移載ポートに対する前記台車の停止位置に被検出体が設けられており、
前記台車は、前記被検出体を検出する検出部を備え、
前記走行部は、前記検出部による検出結果に基づいて、前記停止位置において前記台車を停止させる、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

従来の搬送システムとして、例えば、特許文献１に記載のシステムが知られている。特許文献１に記載の搬送システムは、処理装置のロードポートの上部を通過する第１の軌道と、第１の軌道に沿って走行し且つホイストを備える天井走行車と、第１の軌道の下方で、ロードポートの上方を通過し、且つ第１の軌道と平行に配置された第２の軌道と、第２の軌道の下方で、ロードポートよりも高い位置に、ロードポートの直上部をキャリアが鉛直方向に通過自在に設けられた、キャリアを置くためのバッファと、バッファ及びロードポートとの間でキャリアを受け渡しするホイストを備え、且つ第２の軌道に沿って走行するローカル台車と、を備えている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１２−１１１６３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

従来の技術において、第１の軌道は工程間に設けられ、天井走行車により工程間でのキャリアの搬送を行うのが一般的であった。しかし、前記軌道において、天井走行車が取り得る走行経路は限られており、他の天井走行車が走行経路を塞ぐ等して後続の天井走行車の走行を妨げ、工程間での搬送効率が低下するおそれがあった。

【0005】

本発明の一側面は、工程間でのキャリアの搬送効率の向上を図れる搬送システムを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一側面に係る搬送システムは、基板を収容するキャリアを、基板の処理を行う複数の処理装置それぞれにおける移載ポート相互間で搬送する搬送システムであって、第１方向に直線状に延在する複数の第１レールと、第１方向に直交する第２方向に延在する複数の第２レールと、を有し、複数の第１レールと複数の第２レールとが同一面上に格子状に配置された走行レールと、走行レールを第１方向及び第２方向に走行可能な走行部と、キャリアを保持する保持部及び保持部を昇降させる昇降部を含む移載部と、を有する複数の台車と、を備え、走行レールは、所定の工程の処理を実施する第１の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部が配置される第１の停止位置に前記台車が乗り入れ自在であり、且つ、第１の停止位置から所定の工程とは異なる工程の処理を実施する第２の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部が配置される第２の停止位置へ台車が乗り入れ自在に配置されている。

【0007】

本発明の一側面に係る搬送システでは、走行レールは、所定の工程の処理を実施する第１の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部が配置される停止位置に台車が乗り入れ自在であり、且つ、所定の工程とは異なる工程の処理を実施する第２の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部が配置される停止位置へ台車が乗り入れ自在に配置されている。これにより、搬送システムでは、第１の処理装置群の移載ポートと第２の処理装置群の移載ポートとの間において台車でキャリアを搬送する場合、第１方向及び第２方向の組み合せにより複数の走行経路を取り得るため、停止して移載動作を行っている進行方向前方の他の台車を追い越していく走行経路を選択してキャリアを搬送できる。したがって、搬送システムでは、工程間でのキャリアの搬送効率の向上を図れる。

【0008】

一実施形態においては、複数の移載ポートは、第１の処理装置群及び第２の処理装置群のそれぞれにおいて、第１方向又は第２方向に沿って互いに隣接して配置されており、走行レールは、第１の処理装置群及び第２の処理装置群において配列方向が平行となるように設けられた複数の移載ポートの直上に移載部が配置される第１の停止位置から第２の停止位置へ台車が乗り入れ自在に配置されていてもよい。この構成では、第１の処理装置群と第２の処理装置群との間のキャリアの搬送効率を向上させることができる。

【0009】

一実施形態においては、走行レールは、第１の処理装置群と第２の処理装置群とにおいて互いに対向して配置された複数の移載ポートの直上に移載部が配置される第１の停止位置から第２の停止位置へ台車が乗り入れ自在に配置されていてもよい。この構成では、第１の処理装置群と第２の処理装置群との間のキャリアの搬送効率をより一層向上させることができる。

【0010】

一実施形態においては、複数の移載ポートの配列方向が平行となるように設けられた第１の処理装置群及び第２の処理装置群を複数備え、走行レールは、一の第１の処理装置群及び第２の処理装置群の移載ポートの直上に移載部が配置される第１の停止位置に台車が乗り入れ自在であり、且つ、第１の停止位置から他の第１の処理装置群及び第２の処理装置群の移載ポートの直上に移載部が配置される第２の停止位置に台車が乗り入れ自在に配置されていてもよい。この構成では、第１の処理装置群及び第２の処理装置群で構成される群同士のキャリアの搬送効率をより一層向上させることができる。

【0011】

一実施形態においては、第１の処理装置群及び第２の処理装置群のそれぞれは、第１方向に沿って配置された複数の移載ポートと、第２方向に沿って配置された複数の移載ポートとを有し、第１の処理装置群及び第２の処理装置群のそれぞれにおいて、第１方向又は第２方向に沿って配置された複数の移載ポートは、互いに一直線上には配置されておらず且つ第１方向又は第２方向にずれた位置に配置されたものを含み、走行レールは、第１の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部が配置される第１の停止位置に台車が乗り入れ自在であり、且つ、第１の停止位置から第２の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部が配置される第２の停止位置へ台車が乗り入れ自在に配置されてもよい。この構成では、移載ポートの配置の自由度、ひいては処理装置の配置の自由度を高めることができる。

【0012】

一実施形態においては、台車は、移載部が走行レールよりも上側に位置した状態で走行レール上を走行し、走行レールは、平面視において移載ポートを含む領域が開口部とされており、台車は、開口部を介して移載部により移載ポートに対してキャリアの移載を行ってもよい。これにより、移載部が走行レールよりも上側に位置した状態で走行レール上を走行する台車の構成において、平面視における移載ポートの周囲に走行レールを設けても、台車が移載ポートに対してキャリアを移載することができる。

【0013】

一実施形態においては、キャリアを保管する保管部を備え、走行レールは、保管部の直上に移載部が配置される停止位置へ台車が乗り入れ自在となるように配置されていてもよい。この構成では、走行レールを走行する台車によりキャリアを移載ポートへ搬送できる位置にキャリアを一時保管できる。

【0014】

一実施形態においては、走行レールは、複数の第１レールと複数の第２レールとが、それぞれキャリアが鉛直方向に通過できる間隔をあけて配置されており、保管部は、第１レールと第２レールとにより区画される空間の直下に設けられており、台車は、空間を介して移載部により保管部に対してキャリアの移載を行ってもよい。この構成では、移載部が走行レールよりも上側に位置した状態で走行レール上を走行する台車の構成において、台車の走行を妨げない位置に多くのキャリアを保管できる。

【0015】

一実施形態においては、開口部は、１つの処理装置に設けられる複数の移載ポートを含む領域を有していてもよい。この構成では、平面視における走行レールと移載ポートとの相対位置の自由度を確保できる。

【0016】

一実施形態においては、移載部は、昇降部を第１方向及び前記第２方向に沿った平面に平行な方向において進退可能な移動部を有し、台車は、開口部を形成する第１レール及び第２レールの少なくとも一方の上で停止し、移動部を進出させることにより、開口部を介して移載ポートにキャリアを移載してもよい。この構成では、開口部の領域を広くすることが可能となる。したがって、平面視における走行レールと移載ポートとの相対位置の自由度を確保できる。

【0017】

一実施形態においては、走行レールは、移載ポートの直上で台車が停止できるように配置されており、台車は、移載ポートの直上で停止し、開口部を介してキャリアを移載ポートに移載してもよい。この構成では、移載ポートに対してキャリアを迅速に移載することができる。

【0018】

一実施形態においては、台車は、移載部が走行レールよりも下側に位置した状態で走行レールを走行してもよい。この構成では、走行レールに開口部を設けなくとも、移載ポートにキャリアを移載できる。

【0019】

一実施形態においては、走行レールには、移載ポートに対する台車の停止位置に被検出体が設けられており、台車は、被検出体を検出する検出部を備え、走行部は、検出部による検出結果に基づいて、停止位置において台車を停止させてもよい。この構成では、台車を、移載ポートに対する停止位置において精度良く停止させることができる。

【発明の効果】

【0020】

本発明の一側面によれば、工程間でのキャリアの搬送効率の向上を図れる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】図１は、一実施形態に係る搬送システムの平面図である。

【図2】図２は、図１に示す搬送システムの一部を示す斜視図である。

【図3】図３は、図１に示す搬送システムの走行レールの下方に設けられた処理装置を示す図である。

【図4】図４は、走行レールを示す図である。

【図5】図５は、台車を示す図である。

【図6】図６は、台車を底面側から見た図である。

【図7】図７は、台車の移載部がスライドフォークを伸長した状態を示す図である。

【図8】図８は、バーコードが設けられた走行レールを示す図である。

【図9】図９は、走行レールを示す図である。

【図10】図１０は、ロードポートの直上に移載部が配置される停止位置に台車が位置している図である。

【図11】図１１は、台車の動作を説明するための図である。

【図12】図１２は、台車の動作を説明するための図である。

【図13】図１３は、台車の動作を説明するための図である。

【図14】図１４は、他の実施形態に係る搬送システムの走行レールを示す図である。

【図15】図１５は、他の実施形態に係る搬送システムの台車を示す図である。

【図16】図１６は、他の実施形態に係る搬送システムの台車を示す図である。

【図17】図１７は、他の実施形態に係る搬送システムの走行レールを示す図である。

【図18】図１８は、他の実施形態に係る搬送システムの走行レールを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0023】

図１に示される搬送システム１００は、例えば、複数の処理装置を備える半導体製造工場のクリーンルーム内で、複数の半導体ウェハ等の基板が収容されたカセットを搬送するためのシステムである。カセットは、半導体ウェハ用の搬送及び保管等を目的としたキャリアであり、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）、ＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）、ＳｍｉｆＰｏｄ等である。本実施形態では、ＦＯＵＰ５０を搬送する搬送システムを一例に説明する。ＦＯＵＰ５０は、本体部５１と、本体部５１の開口部に取り付けられる蓋５２と、本体部５１の上部に設けられたフランジ部５３と、を備えている。搬送システム１００は、ＦＯＵＰ５０を一時的に保管する一時保管システムとしての機能も有している。

【0024】

図１又は図２に示されるように、搬送システム１００は、走行レール４と、走行レール４を走行する複数の台車８と、軌道Ｒと、軌道Ｒを走行する天井搬送車Ｖと、を備えている。軌道Ｒは、クリーンルームの天井付近に敷設されている。軌道Ｒは、搬送システム１００と他の搬送システムとに亘って設けられている。軌道Ｒの一部は、走行レール４の上方に配置されている。すなわち、天井搬送車Ｖは、走行レール４の上方を走行する。天井搬送車Ｖは、ＦＯＵＰ５０の搬送元と搬送先とが何れも軌道Ｒの直下にある場合には、走行レール４を走行する台車８よりも速やかにＦＯＵＰ５０を搬送できるため、かかる条件において、台車８よりも速やかに搬送したいＦＯＵＰ５０の搬送に用いられる。なお、軌道Ｒは、走行レール４と同じ高さ、或いは走行レール４よりも下方に設けられていてもよい。

【0025】

天井搬送車Ｖは、ＯＨＴ（Over Head Transfer）である。天井搬送車Ｖは、走行レール４に設けられたセルバッファ２２（後述）に対してＦＯＵＰ５０を搬送すると共に、セルバッファ２２からＦＯＵＰ５０をピックアップして他の搬送システムにＦＯＵＰ５０を搬送する。

【0026】

図１に示されるように、走行レール４の下方には、処理装置が設けられている。具体的には、走行レール４の下方には、図３に示されるように、第１処理装置Ｍ１を複数有する第１処理装置群Ｇ１と、第２処理装置Ｍ２を複数有する第２処理装置群Ｇ２と、第３処理装置Ｍ３を複数有する第３処理装置群Ｇ３と、第４処理装置Ｍ４を複数備える第４処理装置群Ｇ４と、第５処理装置Ｍ５を複数有する第５処理装置群Ｇ５と、第６処理装置Ｍ６を複数有する第６処理装置群Ｇ６と、第７処理装置Ｍ７を複数有する第７処理装置群Ｇ７と、第８処理装置Ｍ８を複数有する第８処理装置群Ｇ８と、第９処理装置Ｍ９を複数有する第９処理装置群Ｇ９と、が設けられている。第１〜第９処理装置群Ｇ１〜Ｇ９は、それぞれ半導体の製造に係る各工程（製造プロセス）の処理を行うものである。第１〜第９処理装置群Ｇ１〜Ｇ９は、例えば、半導体ウェハへの成膜、半導体ウェハの洗浄等を行う。半導体の製造に係る処理は、１つの処理装置群では完結せず、１つの処理装置群で処理が行われた後、他の処理装置群で行われる。

【0027】

第１処理装置群Ｇ１と第２処理装置群Ｇ２とは、Ｙ方向において隣接して配置されている。第１処理装置群Ｇ１と第３処理装置群Ｇ３とは、Ｙ方向において隣接して配置されている。第１処理装置群Ｇ１と第４処理装置群Ｇ４とは、Ｘ方向において隣接して配置されている。第４処理装置群Ｇ４と第５処理装置群Ｇ５とは、Ｙ方向において隣接して配置されている。第３処理装置群Ｇ３と第５処理装置群Ｇ５とは、Ｘ方向において隣接して配置されている。第４処理装置群Ｇ４と第７処理装置群Ｇ７とは、Ｙ方向において隣接して配置されている。第４処理装置群Ｇ４と第６処理装置群Ｇ６とは、Ｘ方向において隣接して配置されている。第６処理装置群Ｇ６と第７処理装置群Ｇ７とは、Ｙ方向において隣接して配置されている。第６処理装置群Ｇ６と第８処理装置群Ｇ８とは、Ｘ方向において隣接して配置されている。第８処理装置群Ｇ８と第９処理装置群Ｇ９とは、Ｙ方向において隣接して配置されている。第７処理装置群Ｇ７と第９処理装置群Ｇ９とは、Ｘ方向において隣接して配置されている。

【0028】

第１〜第９処理装置Ｍ１〜Ｍ９は、半導体ウェハに対して異なる処理を実施する装置である。すなわち、第１〜第９処理装置群Ｇ１〜Ｇ９のそれぞれは、互いに異なる工程の処理を実施する。第１〜第９処理装置Ｍ１〜Ｍ９の数は、設計に応じて適宜設定されればよい。

【0029】

第１処理装置Ｍ１は、ＦＯＵＰ５０内の半導体ウェハを第１処理装置Ｍ１に出し入れするインターフェースである第１ロードポート（移載ポート）（以下、単に「ロードポート」と称する）Ｐ１を有する。第１処理装置Ｍ１には、例えば、第１ロードポートＰ１が３個設けられている。第２処理装置Ｍ２は、第２ロードポートＰ２を有する。第３処理装置Ｍ３は、第３ロードポートＰ３を有する。第４処理装置Ｍ４は、第４ロードポートＰ４を有する。第５処理装置Ｍ５は、第５ロードポートＰ５を有する。第６処理装置Ｍ６は、第６ロードポートＰ６を有する。第７処理装置Ｍ７は第７ロードポートＰ７を有する。第８処理装置Ｍ８は、第８ロードポートＰ８を有する。第９処理装置Ｍ９は、第９ロードポートＰ９を有する。第１〜第９処理装置Ｍ１〜Ｍ９における第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９の数は、適宜設定されればよい。

【0030】

第１処理装置群Ｇ１では、第１処理装置Ｍ１がＹ方向において所定の間隔をあけて配置されている。第１ロードポートＰ１のそれぞれは、Ｙ方向に沿って配置されている。同様に、第２〜第９処理装置群Ｇ２〜Ｇ９のそれぞれでは、第２〜第９処理装置Ｍ２〜Ｍ９がＹ方向に所定の間隔をあけて配置されている。第２〜第９ロードポートＰ２〜Ｐ９のそれぞれは、Ｙ方向に沿って配置されている。

【0031】

第１処理装置群Ｇ１の第１処理装置Ｍ１と第４処理装置群Ｇ４の第４処理装置Ｍ４とは、第１ロードポートＰ１と第４ロードポートＰ４とが対向するように配置されている。第１ロードポートＰ１と第４ロードポートＰ４との間には、通路Ａ１が設けられている。通路Ａ１は、例えば、作業者が歩行可能な幅を有する。第２処理装置群Ｇ２と第３処理装置群Ｇ３との間には、通路Ａ２が設けられている。第３処理装置群Ｇ３と第５処理装置群Ｇ５との間には、通路Ａ３が設けられている。第６処理装置群Ｇ６と第８処理装置群Ｇ８との間には、通路Ａ４が設けられている。第７処理装置群Ｇ７と第９処理装置群Ｇ９との間には、通路Ａ５が設けられている。

【0032】

図１及び図２に示されるように、走行レール４は、平面視において格子状に設けられている。走行レール４は、例えば、クリーンルームの天井に支柱（図示省略）により支持されている。図４に示されるように、走行レール４は、複数の第１レール９と、複数の第２レール１１と、により構成されている。

【0033】

第１レール９は、Ｘ方向（第１方向）に直線状に延在している。第１レール９には、ガイド１０が設けられている。ガイド１０は、溝であり、第１レール９の延在方向に沿って設けられている。第２レール１１は、第１レール９が延在するＸ方向に直交するＹ方向（第２方向）に直線状に延在している。第２レール１１には、ガイド１２が設けられている。ガイド１２は、溝であり、第２レール１１の延在方向に沿って設けられている。第１レール９のガイド１０と第２レール１１のガイド１２とが交差する部分には、クロスポイント１４が設けられている。

【0034】

図５に示されるように、走行レール４の下方で且つ第１〜第９処理装置Ｍ１〜Ｍ９の上方には、バッファ６が設けられている。バッファ６は、ＦＯＵＰ５０が載置される棚であり、ＦＯＵＰ５０を収容する。バッファ６は、支持部材２０により走行レール４に支持されている。バッファ６は、複数のセルバッファ（保管部）２２により構成されている。セルバッファ２２は、走行レール４において第１レール９及び第２レール１１により区画される矩形状のセル（空間）１６毎に設定されている。セルバッファ２２のそれぞれは、１個のＦＯＵＰ５０を保管する。セルバッファ２２では、セル１６を介してＦＯＵＰ５０が移載される。すなわち、ＦＯＵＰ５０は、セル１６を鉛直方向において通過してセルバッファ２２に移載される。図５に示されるように、バッファ６は、そのバッファ６上に載置されたＦＯＵＰ５０の一部が、側面視において走行レール４と重なる位置に設けられている。

【0035】

図２及び図５に示されるように、走行レール４上には、台車８が設けられている。台車８は、走行レール４上に複数設けられている。台車８は、走行部２４と、移載部２６と、を備えている。また、台車８は、走行部２４及び移載部２６の動作を制御する制御部、上位コントローラと通信可能な通信部等を更に備えている。制御部は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）などからなる電子制御ユニットである。台車８は、上位コントローラからの指令により、ＦＯＵＰ５０を搬送する。

【0036】

走行部２４は、直方体状を呈している。走行部２４は、平面視においてセル１６と同等の寸法である。図６に示されるように、走行部２４は、複数（本実施形態では４個）の走行ユニット３５を有している。各走行ユニット３５は、複数（本実施形態では２個）の車輪３２ａ又は車輪３２ｂと、走行モータ３４と、上下機構（切替部）３０と、をそれぞれ有する。車輪３２ａは、走行部２４において互いに対向する２辺に２個ずつ設けられている。車輪３２ｂは、走行部２４において、車輪３２ａが設けられた辺と直交し、且つ互いに対向する２辺に２個ずつ設けられている。車輪３２ａは、第１レール９のガイド１０にガイドされ、第１レール９における走行面上を走行する。車輪３２ｂは、第２レール１１のガイド１２にガイドされ、第２レール１１における走行面上を走行する。走行モータ３４は、車輪３２ａ，３２ｂを駆動させる。上下機構３０は、車輪３２ａ，３２ｂ及び走行モータ３４を上下方向に移動させる。上下機構３０は、例えば、パンタグラフ、カム等である。

【0037】

走行部２４は、上下機構３０による車輪３２ａ，３２ｂの上下方向の移動により、車輪３２ａ又は車輪３２ｂが第１レール９のガイド１０又は第２レール１１のガイド１２に接触し、第１レール９又は第２レール１１に沿って走行する。すなわち、上下機構３０は、車輪３２又は車輪３２ｂを上下方向に移動させることにより、車輪３２ａが第１レール９に沿って走行する第１走行状態と、車輪３２ｂが第２レール１１に沿って走行する第２走行状態とに走行状態を切り替える。

【0038】

走行部２４は、センサ３６と、バーコードリーダ（検出部）３８と、を有する。センサ３６は、走行部２４の四隅において底面に配置されている。センサ３６は、走行レール４のクロスポイント１４を検出する。走行部２４は、センサ３６によって検出されたクロスポイント１４に基づいて、走行部２４の中心が走行レール４のセル１６の中心に位置するように停止する。

【0039】

バーコードリーダ３８は、バーコード（被検出体）Ｂ（図８参照）を読み取る。バーコードリーダ３８は、各走行ユニット３５にそれぞれ設けられ、走行部２４の底面に配置されている。図８に示されるように、第１レール９（第２レール１１）には、バーコードＢが設けられている。詳細には、バーコードＢは、第１〜第９処理装置Ｍ１〜Ｍ９の第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９の直上に移載部２６が配置可能となる台車８の停止位置に配置されている。走行部２４は、バーコードリーダ３８によって検出されたバーコードＢに基づいて、第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９に対する停止位置で停止する。

【0040】

移載部２６は、走行部２４から張り出している。移載部２６は、スライドフォーク（移動部）４０と、ターンテーブル４４と、昇降装置（昇降部）４５と、昇降台４６と、ルックダウンセンサ４７，４８と、を備えている。

【0041】

スライドフォーク４０は、走行部２４に支持される支持体２６Ａに支持されている。スライドフォーク４０は、ベース部４１と、ミドル部４２と、トップ部４３と、を有する。ベース部４１は、移載部２６の支持体２６Ａに設けられている。スライドフォーク４０は、昇降装置４５を、Ｘ方向及びＹ方向に沿った平面に平行な方向において進退させる。図７に示されるように、トップ部４３は、ベース部４１に対し、例えばセル１６の一辺に相当するストロークで、移載部２６の両側に進出する。

【0042】

ターンテーブル４４は、トップ部４３の下部に設けられている。ターンテーブル４４は、当該ターンテーブル４４の下部に設けられている昇降装置４５を回転させる。ターンテーブル４４は、例えば、１８０°回転可能に設けられている。昇降装置４５は、ベルト、ロープ、ワイヤ等により昇降台４６を昇降させる。昇降台４６は、ＦＯＵＰ５０のフランジ部５３を保持（把持）するグリッパ（保持部）４６Ａを有する。

【0043】

ルックダウンセンサ４７，４８は、昇降台４６を昇降させるときに、昇降台４６の周囲の物体を検出する。ルックダウンセンサ４７，４８は、図６に示されるように、トップ部４３において、昇降装置４５を挟む位置に配置されている。具体的は、ルックダウンセンサ４７，４８は、昇降台４６にＦＯＵＰ５０が保持された状態でＦＯＵＰ５０が物体の検出の妨げとならない位置に配置されている。移載部２６は、セルバッファ２２におけるＦＯＵＰ５０の有無を検出するセンサ、ＦＯＵＰ５０に設けられたＩＤ等を読み込むＩＤリーダ等を更に備えていてもよい。また、移載部２６は、天井搬送車Ｖとの接触を回避するために、台車８の周囲の物体（障害物）を検出するセンサを更に備えていてもよい。

【0044】

台車８は、カウンターウェイト４９を有している。カウンターウェイト４９は、走行部２４に設けられている。カウンターウェイト４９は、移載部２６から車輪３２に加わる力のモーメントを相殺する機能を有する。カウンターウェイト４９は、台車８の重心を、複数の車輪３２で囲まれる範囲内に維持する。

【0045】

続いて、走行レール４について、更に詳細に説明する。図１に示されるように、走行レール４は、第１〜第９処理装置群Ｇ１〜Ｇ９上に設けられている。走行レール４は、複数の処理装置群に亘って第１〜第９処理装置群Ｇ１〜Ｇ９が設けられているエリアの全面に配置されている。具体的な一例としては、格子状の走行レール４は、例えば、第１処理装置群Ｇ１と第４処理装置群Ｇ４との間に亘って設けられている。すなわち、走行レール４は、第１処理装置群Ｇ１と第４処理装置群Ｇ４との間に設けられた通路Ａ１上にも設けられている。

【0046】

図９に示されるように、走行レール４には、開口部Ｋが設けられている。図９に示す例では、開口部Ｋは、第１処理装置Ｍ１の第１ロードポートＰ１の直上（鉛直上方）に設けられている。開口部Ｋは、第１レール９と第２レール１１とにより区画された領域である。開口部Ｋにより、第１ロードポートＰ１の上方は、開放された空間となっている。つまり、開口部Ｋの領域の下方には、バッファ６が設けられていない。開口部Ｋは、複数（ここでは３個）の第１ロードポートＰ１を含む領域に設定されている。開口部Ｋの長手方向（Ｙ方向）の寸法は、同方向における第１ロードポートＰ１の一方の端部から他方の端部までの寸法よりも大きい。開口部Ｋは、第１〜第９処理装置Ｍ１〜Ｍ９の第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９の上方に設けられている。

【0047】

走行レール４は、台車８が第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９の直上に移載部２６が配置される停止位置に乗り入れ自在に配置されている。具体的には、走行レール４は、所定の工程の処理を実施する一の処理装置群（第１の処理装置群）における各ロードポートの直上に移載部２６が配置される第１の停止位置に台車８が乗り入れ自在であり、且つ、第１の停止位置から所定の工程とは異なる工程の処理を実施する他の処理装置群（第２の処理装置群）における各ロードポートの直上に移載部２６が配置される第２の停止位置へ台車８が乗り入れ自在に配置されている。図１０に示されるように、台車８は、例えば、第１ロードポートＰ１にＦＯＵＰ５０を移載する場合には、第１ロードポートＰ１９の直上に移載部２６が位置する停止位置に停止し、開口部Ｋを介して昇降台４６を昇降させる。

【0048】

台車８の動作について、図１１〜図１３を参照して説明する。図１１〜図１３では、開口部Ｋの領域内においてロードポート（第１ロードポートＰ１、第４ロードポートＰ４）が中央よりやや第２レール１１に寄っており、台車８が第１ロードポートＰ１に対して図面向って左側に停止した状態で、第４ロードポートＰ４に対して図面向って右側に停止した状態で、それぞれスライドフォーク４０により移載部２６を第１ロードポートＰ１、第４ロードポートＰ４の直上へ移動させてＦＯＵＰ５０の移載を行う態様について説明する。

【0049】

最初に、図１１に示されるように、例えば、第１処理装置群Ｇ１の第１処理装置Ｍ１の第１ロードポートＰ１から、第４処理装置群Ｇ４の第４処理装置Ｍ４の第４ロードポートＰ４にＦＯＵＰ５０を搬送する場合について説明する。図１１に示されるように、台車８は、第１ロードポートＰ１の直上に移載部２６が配置される第１の停止位置に停止し、ＦＯＵＰ５０をピックアップする。ＦＯＵＰ５０をピックアップすると、台車８は、Ｙ方向に沿って図示下側の「１」で示す位置まで移動し、その後、Ｘ方向に沿って図示右側の「２」まで位置まで移動する。続いて、台車８は、「２」で示す位置から、第４ロードポートＰ４の直上に移載部２６が配置される第２の停止位置まで移動して停止し、第４ロードポートＰ４にＦＯＵＰ５０を移載する。以上のように、台車８は、第１ロードポートＰ１から第４ロードポートＰ４まで、最短の走行経路でＦＯＵＰ５０を搬送する。

【0050】

続いて、図１２に示されるように、例えば、第１処理装置群Ｇ１の第１処理装置Ｍ１の第１ロードポートＰ１から、第４処理装置群Ｇ４の第４処理装置Ｍ４の第４ロードポートＰ４にＦＯＵＰ５０を搬送する場合において、走行レール４上に他の台車８が例えばセルバッファ２２に対するＦＯＵＰ５０の移載のために停止している場合について説明する。図１２に示されるように、台車８は、第１ロードポートＰ１の直上に移載部２６が配置される第１の停止位置に停止し、ＦＯＵＰ５０をピックアップする。ＦＯＵＰ５０をピックアップすると、台車８は、Ｙ方向に沿って図示下側の「１」で示す位置まで移動し、その後、Ｘ方向に沿って図示右側の「２」まで位置まで移動する。次に、台車８は、Ｙ方向に沿って図示上側の「３」で示す位置まで移動し、その後、Ｘ方向に沿って図示右側の「４」で示す位置まで移動する。次に、台車８は、Ｙ方向に沿って図示下側の「５」で示す位置まで移動し、その後、Ｘ方向に沿って図示右側の「６」で示す位置まで移動する。そして、台車８は、「６」で示す位置から、第４ロードポートＰ４の直上に移載部２６が配置される第２の停止位置まで移動して停止し、第４ロードポートＰ４にＦＯＵＰ５０を移載する。

【0051】

続いて、図１３に示されるように、例えば、第１処理装置群Ｇ１の第１処理装置Ｍ１の第１ロードポートＰ１から、第４処理装置群Ｇ４の第４処理装置Ｍ４の第４ロードポートＰ４にＦＯＵＰ５０を搬送する場合において、走行レール４上に他の台車８が停止している場合について説明する。図１３に示されるように、台車８は、第１ロードポートＰ１の直上に移載部２６が配置される第１の停止位置に停止し、ＦＯＵＰ５０をピックアップする。ＦＯＵＰ５０をピックアップすると、台車８は、Ｙ方向に沿って図示下側の「１」で示す位置まで第１処理装置Ｍ１上を通過して移動し、その後、Ｘ方向に沿って図示右側の「２」まで位置まで移動する。続いて、台車８は、「２」で示す位置から、第４ロードポートＰ４の直上に移載部２６が配置される第２の停止位置まで移動して停止し、第４ロードポートＰ４にＦＯＵＰ５０を移載する。

【0052】

以上説明したように、本実施形態に係る搬送システム１００では、走行レール４は、所定の工程の処理を実施する第１の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部２６が配置される停止位置に台車８が乗り入れ自在であり、且つ、所定の工程とは異なる工程の処理を実施する第２の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部２６が配置される停止位置へ台車８が乗り入れ自在に配置されている。これにより、搬送システム１００では、第１の処理装置群の移載ポートと第２の処理装置群の移載ポートとの間においてＦＯＵＰ５０を台車８で搬送する場合、Ｘ方向及びＹ方向の組み合せにより複数の走行経路を取り得るため、停止して移載動作を行っている進行方向前方の他の台車８を追い越していく走行経路を選択してキャリアを搬送できる。したがって、搬送システム１００では、工程間でのＦＯＵＰ５０の搬送効率の向上を図れる。

【0053】

本実施形態に係る搬送システム１００では、第１〜第９処理装置群Ｇ１〜Ｇ９のそれぞれは、互いに異なる処理を実施する第１〜第９処理装置Ｍ１〜Ｍ９を備える。この構成において、搬送システム１００では、異なる種類の処理装置間を台車８がＦＯＵＰ５０を搬送する際、Ｘ方向及びＹ方向の組み合せにより複数の走行経路を取り得るため、停止して移載動作を行っている進行方向前方の他の台車８を追い越していく走行経路を選択してＦＯＵＰ５０を搬送できる。したがって、搬送システム１００では、工程間でのＦＯＵＰ５０の搬送効率の向上を図れる。

【0054】

本実施形態に係る搬送システム１００では、第１〜第９処理装置Ｍ１〜Ｍ９の第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９は、第１〜第９処理装置群Ｇ１〜Ｇ９において、Ｙ方向に沿って互いに隣接して配置されている。走行レール４は、第１〜第９処理装置群Ｇ１〜Ｇ９において配列方向が平行となるように設けられた第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９の直上に移載部２６が配置される第１の停止位置又は第２の停止位置へ台車８が乗り入れ自在に配置されている。この構成では、第１〜第９処理装置群Ｇ１〜Ｇ９の間のＦＯＵＰ５０の搬送効率を向上させることができる。

【0055】

本実施形態に係る搬送システム１００では、台車８は、移載部２６が走行レール４よりも上側に位置した状態で走行レール上を走行する。走行レール４は、平面視において第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９を含む領域が開口部Ｋとされている。台車８は、開口部Ｋを介して移載部２６により第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９に対してＦＯＵＰ５０の移載を行う。これにより、移載部２６が走行レール４よりも上側に位置した状態で走行レール４上を走行する台車８の構成において、平面視における第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９の周囲に走行レール４を設けても、台車８が第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９に対してＦＯＵＰ５０を移載することができる。

【0056】

本実施形態に係る搬送システム１００では、走行レール４は、複数の第１レール９と複数の第２レール１１とが、それぞれＦＯＵＰ５０が鉛直方向に通過できる間隔をあけて配置されている。セルバッファ２２は、第１レール９と第２レール１１とにより区画されるセル１６の直下に設けられている。台車８は、セル１６を介して移載部２６によりセルバッファ２２に対してＦＯＵＰ５０の移載を行う。この構成では、移載部２６が走行レール４よりも上側に位置した状態で走行レール４上を走行する台車８の構成において、台車８の走行を妨げない位置に多くのＦＯＵＰ５０を保管できる。

【0057】

本実施形態に係る搬送システム１００では、セルバッファ２２は、第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９よりも上方に設けられている。これにより、台車８がセルバッファ２２においてＦＯＵＰ５０を移載する時間の短縮を図ることができる。その結果、ＦＯＵＰ５０の搬送効率の向上をより一層図れる。また、搬送システム１００において床上のスペースを専有することなくＦＯＵＰ５０の保管量を増やすことができる。

【0058】

本実施形態に係る搬送システム１００では、第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９は、第１〜第９処理装置Ｍ１〜Ｍ９に設けられており、開口部Ｋは、第１〜第９処理装置Ｍ１〜Ｍ９に設けられる複数の第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９を含む領域を有している。この構成では、平面視における走行レール４と第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９との相対位置の自由度を確保できる。

【0059】

本実施形態に係る搬送システム１００では、台車８の移載部２６は、昇降装置４５をＸ方向及びＹ方向に沿った平面に平行な方向において進退可能なスライドフォーク４０を有する。台車８は、開口部Ｋを形成する第１レール９及び第２レール１１の少なくとも一方の上で停止し、スライドフォーク４０を進出させることにより、開口部Ｋを介して第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９にＦＯＵＰ５０を移載する。この構成では、開口部Ｋの領域を広くすることが可能となる。したがって、平面視における走行レール４と第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９との相対位置の自由度をより一層確保できる。

【0060】

本実施形態に係る搬送システム１００では、走行レール４には、第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９に対する台車８の停止位置にバーコードＢが設けられている。台車８は、バーコードＢを検出するバーコードリーダ３８を備える。台車８の走行部２４は、バーコードリーダ３８による検出結果に基づいて、停止位置において台車８を停止させる。この構成では、台車８を第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９に対する停止位置において精度良く停止させることができる。

【0061】

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。

【0062】

上記実施形態では、軌道Ｒ及び天井搬送車Ｖを備える形態を一例に説明したが、軌道Ｒ及び天井搬送車Ｖは備えていなくてもよい。

【0063】

上記実施形態では、第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９が、Ｙ方向に沿って配置されている形態を一例に説明した。しかし、第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９の配置形態はこれに限定されない。第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９は、設計に応じて適宜設置されればよい。例えば、図１４に示されるように、第１処理装置群Ｇ１において、各第１処理装置Ｍ１の第１ロードポートＰ１は、Ｙ方向又はＸ方向に沿ってそれぞれ配置されている。第１ロードポートＰ１は、その配列方向が一直線上には設けられておらず、Ｙ方向又はＸ方向にずれて配置されている。同様に、第２処理装置群Ｇ２において、各第２処理装置Ｍ２の第２ロードポートＰ２は、Ｙ方向又はＸ方向に沿ってそれぞれ配置されている。第２ロードポートＰ２は、その配列方向が一直線上には設けられておらず、Ｙ方向又はＸ方向にずれて配置されている。この構成であっても、搬送システム１００では、走行レール４におけるＸ方向及びＹ方向の組み合わせにより台車８が複数の走行経路を取り得るため、非平行に設けられた複数のロードポート相互間で効率的にＦＯＵＰ５０を搬送できる。また、この構成では、第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９の配置の自由度、ひいては第１〜第９処理装置Ｍ１〜Ｍ９の配置の自由度を高めることができる。

【0064】

上記実施形態では、バッファ６が、そのバッファ６上に載置されたＦＯＵＰ５０の一部が、側面視において走行レール４と重なる位置に設けられている形態を一例に説明した。しかし、バッファ６（セルバッファ２２）は、走行レール４と同じ高さ、或いは走行レール４よりも上方にＦＯＵＰ５０の載置面を備えていてもよい。

【0065】

上記実施形態では、走行レール４に設けられたバーコードＢをバーコードリーダ３８で読み取る形態を一例に説明した。しかし、走行レール４に設けられる被検出体は、例えば、磁気マーク、光学マーク、リニアスケール等であってもよい。検出部は、これらの被検出体を検出できるものであればよい。

【0066】

上記実施形態では、セルバッファ２２に１個のＦＯＵＰ５０が収容される形態を一例に説明した。しかし、セルバッファ２２には、複数のＦＯＵＰ５０が収容されてもよい。

【0067】

上記実施形態では、台車８の移載部２６がスライドフォーク４０を備える形態を一例に説明した。しかし、スライドフォーク４０に変えてスカラーアーム等の水平方向に進退するアームを備えていてもよい。

【0068】

上記実施形態では、台車８が走行部２４及び移載部２６を備え、移載部２６が走行部２４から張り出している形態を一例に説明した。しかし、台車の形態はこれに限定されない。例えば、図１５に示されるように、台車７０は、走行部７２にスライドフォーク４０を備えている。また、台車は、アーム状の移載部が走行部の重心周りに回転する構成であってもよい。この構成では、移載部は、スライドフォークを備えていなくてもよい。

【0069】

また、図１６に示されるように、台車８０は、走行部８４及び移載部８６を有している。台車８０は、走行レール４の下方に位置し、走行部８４が走行レール４に吊り下げられた状態で走行する形態であってもよい。この構成では、走行レール４に開口部を設けなくとも、第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９にＦＯＵＰ５０を移載できる。また、台車は、走行レール４のセル１６の直上に停止し、当該セル１６を介してＦＯＵＰ５０を移載できる形態であってもよい。すなわち、台車の移載部がスライドフォークを備えていなくてもよい。この構成では、第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９に対してＦＯＵＰ５０を移載する際に、移載部を進出させる必要がないため、第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９に対してＦＯＵＰ５０を迅速に移載することができる。

【0070】

上記実施形態では、台車８の走行部２４が上下機構３０を備える形態を一例に説明した。しかし、第１レール９に沿って走行する第１走行状態と、第２レール１１に沿って走行する第２走行状態とに走行状態を切り替える切替部の構成はこれに限定されない。切替部は、種々の機構を採用することができる。例えば、切替部は、走行部に対して車輪（走行ユニット）を移動可能とする機構であってもよい。この構成では、車輪を切替部によって移動させることにより、Ｙ方向に沿って走行部が走行する場合には、車輪がＹ方向に沿うように配置され、Ｘ方向に沿って走行部が走行する場合には、車輪がＸ方向に沿うように配置される。

【0071】

上記実施形態では、走行レール４に設けられた開口部Ｋの領域内に複数のロードポートが位置する形態を一例に説明した。しかし、図１７に示されるように、開口部Ｋは、１台の第１ロードポートＰ１を領域内に含むように設けられていてもよい。この構成では、台車８が、走行レール４の開口部Ｋ上に位置して、当該開口部Ｋを介してＦＯＵＰ５０を移載できる構成であってもよい。この構成では、第１〜第９ロードポートＰ１〜Ｐ９に対してＦＯＵＰ５０をより迅速に移載することができる。

【0072】

上記実施形態では、ガイド１０が設けられた第１レール９及びガイド１２が設けられた第２レール１１から構成される走行レール４を一例に説明した。しかし、走行レールは、例えば、図１８に示される形態であってもよい。図１８に示されるように、走行レール１７は、第１レール１８及び第２レール１９から構成されている。第１レール１８には、２本のガイド１０，１０が設けられている。第２レール１９には、２本のガイド１２，１２が設けられている。ガイド１０とガイド１２との間、ガイド１２とガイド１２との間には、分離帯が設けられている。分離体２１は、凸状であり、ガイド１０とガイド１０、ガイド１２とガイド１２とを分離する。走行レール１７を備える搬送システムでは、２台の台車８が、第１レール１８又は第２レール１９上に同時に位置できる。

【符号の説明】

【0073】

４…走行レール、６…バッファ、８…台車、９…第１レール、１１…第２レール、２２…セルバッファ（保管部）、２４…走行部、２６…移載部、３８…バーコードリーダ（検出部）、４５…昇降装置（昇降部）、４６Ａ…グリッパ（保持部）、５０…ＦＯＵＰ（キャリア）、１００…搬送システム、Ｂ…バーコード（被検出体）、Ｐ１〜Ｐ９…第１〜第９ロードポート。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【国際調査報告】