再表2017-26257圧電薄膜素子の製造方法

発明の名称　圧電薄膜素子の製造方法

出願人　株式会社Ｐｉｅｚｏ　Ｓｔｕｄｉｏ　（識別番号 515217498）

　　　　特許公開件数ランキング 7753 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 6351 位（0件）（共同出願を含む）

出願人　国立大学法人東北大学　（識別番号 504157024）

　　　　特許公開件数ランキング 432 位（20件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 169 位（39件）（共同出願を含む）

公報番号　再表-2017-26257

公報発行日　2018年5月31

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-S-2017-26257

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