再表2017-57537ポリマー、該ポリマーを含有するレジスト組成物及びそれを用いたデバイスの製造方法

発明の名称　ポリマー、該ポリマーを含有するレジスト組成物及びそれを用いたデバイスの製造方法

出願人　東洋合成工業株式会社　（識別番号 222691）

　　　　特許公開件数ランキング 14225 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12103 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　再表-2017-57537

公報発行日　2018年7月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-S-2017-57537

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