発明の名称 スパッタリングターゲット材
出願人 三井金属鉱業株式会社 (識別番号 6183)
特許公開件数ランキング 639 位(5件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 451 位(6件)(共同出願を含む)
公報番号 再表-2020-166380
公報発行日 2021年12月16
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-S-2020-166380
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