特表2016-509333プラズマ源

発明の名称　プラズマ源

出願人　エーリコン・トレイディング・アーゲー・トリューバッハ　（識別番号 507269681）

　　　　特許公開件数ランキング 14438 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12196 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2016-509333

公報発行日　2016年3月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2016-509333

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