発明の名称 テーパ状側壁を有する連続突出部を伴う研磨表面を有する研磨パッド
出願人 ネクスプラナー コーポレイション (識別番号 507279244)
特許公開件数ランキング 8324 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 6842 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2016-511162
公報発行日 2016年4月14
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-T-2016-511162
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