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特表2016-511796(P2016-511796A)
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特表
2016-511796
プラズマ抵抗性が向上したセラミック被膜の形成方法およびこれによるセラミック被膜
書誌
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請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
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