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特表2016-513753(P2016-513753A)
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特表
2016-513753
酸素分圧を有する環境内におけるアルミニウム源の使用によって酸化アルミニウムを基板上に成長させ、透光性、耐スクラッチ性の窓部材を形成する方法。
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