特表2016-519675(P2016-519675A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2016-519675新規なβ‐オキシムエステルフルオレン化合物、それを含む光重合開始剤及びフォトレジスト組成物
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