特表2016-520255基板載置装置及びプラズマ加工装置

発明の名称　基板載置装置及びプラズマ加工装置

出願人　北京北方▲微▼▲電▼子基地▲設▼▲備▼工▲芸▼研究中心有限▲責▼任公司　（識別番号 515304938）

　　　　特許公開件数ランキング 7991 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 6565 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2016-520255

公報発行日　2016年7月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2016-520255

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