特表2016-525119(P2016-525119A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2016-525119ALD/CVDケイ素含有膜用途の六配位ケイ素含有前駆体
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  • 特表2016525119-ALD/CVDケイ素含有膜用途の六配位ケイ素含有前駆体 図000066
  • 特表2016525119-ALD/CVDケイ素含有膜用途の六配位ケイ素含有前駆体 図000067
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