特表 2017-501034 測定プローブの針を洗浄するための装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】特表2017-501034(P2017-501034A)

(43)【公表日】2017年1月12日

(54)【発明の名称】測定プローブの針を洗浄するための装置

(51)【国際特許分類】

   B08B 11/00 20060101AFI20161216BHJP

   G01B 5/00 20060101ALI20161216BHJP

【ＦＩ】

   B08B11/00 Z

   G01B5/00 Z

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2016-552398(P2016-552398)

(86)(22)【出願日】2014年10月29日

(85)【翻訳文提出日】2016年6月27日

(86)【国際出願番号】NL2014050749

(87)【国際公開番号】WO2015065183

(87)【国際公開日】20150507

(31)【優先権主張番号】2011710

(32)【優先日】2013年10月31日

(33)【優先権主張国】NL

(81)【指定国】 AP(BW,GH,GM,KE,LR,LS,MW,MZ,NA,RW,SD,SL,ST,SZ,TZ,UG,ZM,ZW),EA(AM,AZ,BY,KG,KZ,RU,TJ,TM),EP(AL,AT,BE,BG,CH,CY,CZ,DE,DK,EE,ES,FI,FR,GB,GR,HR,HU,IE,IS,IT,LT,LU,LV,MC,MK,MT,NL,NO,PL,PT,RO,RS,SE,SI,SK,SM,TR),OA(BF,BJ,CF,CG,CI,CM,GA,GN,GQ,GW,KM,ML,MR,NE,SN,TD,TG),AE,AG,AL,AM,AO,AT,AU,AZ,BA,BB,BG,BH,BN,BR,BW,BY,BZ,CA,CH,CL,CN,CO,CR,CU,CZ,DE,DK,DM,DO,DZ,EC,EE,EG,ES,FI,GB,GD,GE,GH,GM,GT,HN,HR,HU,ID,IL,IN,IR,IS,JP,KE,KG,KN,KP,KR,KZ,LA,LC,LK,LR,LS,LU,LY,MA,MD,ME,MG,MK,MN,MW,MX,MY,MZ,NA,NG,NI,NO,NZ,OM,PA,PE,PG,PH,PL,PT,QA,RO,RS,RU,RW,SA,SC,SD,SE,SG,SK,SL,SM,ST,SV,SY,TH,TJ,TM,TN,TR,TT,TZ,UA,UG,US

(71)【出願人】

【識別番号】516129529

【氏名又は名称】エフ・ヘー・イェー・ランメルティンク・ベヘール・ベスローテン・フエンノートシャップ

【氏名又は名称原語表記】Ｆ．Ｇ．Ｊ． ＬＡＭＭＥＲＴＩＮＫ ＢＥＨＥＥＲ Ｂ．Ｖ．

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】特許業務法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】スホプマン，ヘルハルドゥス・ヘンドリクス・アルベルトゥス

【テーマコード（参考）】

2F062

3B116

【Ｆターム（参考）】

2F062AA04

2F062CC02

2F062EE01

2F062EE62

2F062HH01

2F062HH04

2F062MM30

3B116AA46

3B116AB03

3B116BB23

3B116BB90

3B116CC03

3B116CC05

3B116CD42

3B116CD43

(57)【要約】

本発明は、測定プローブ（２）の針（１）を洗浄するための装置に関し、上記装置は、洗浄処理中に上記針（１）を収容するための洗浄チャンバ（４）を備え、上記洗浄チャンバ（４）は、上記針（１）を上記洗浄チャンバ（４）に導入し、かつ上記洗浄チャンバ（４）から取出すための開口部（５）を備え、さらに、上記針（１）を洗浄しかつ／または乾燥させるために、洗浄剤、たとえば洗浄液もしくはエアロゾル、および／または乾燥剤、たとえば空気を上記洗浄チャンバ（４）に供給するための供給手段（７）を備える。本発明はさらに、そのような装置と測定機とのアセンブリに関する。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

測定プローブの針を洗浄するための測定プローブ針洗浄装置であって、前記装置は、
洗浄処理中に前記針を収容するための洗浄チャンバを備え、前記洗浄チャンバは、前記針を前記洗浄チャンバに導入しかつ前記洗浄チャンバから取出すための開口部を含み、さらに、
前記針を洗浄しかつ／または乾燥させるために、洗浄剤、たとえば洗浄液もしくはエアロゾル、および／または乾燥剤、たとえば空気を前記洗浄チャンバに供給するための供給手段を備える、装置。

【請求項2】

前記供給手段は、前記洗浄剤および／または前記乾燥剤を前記洗浄チャンバに供給するために前記洗浄チャンバに注ぐ少なくとも１つの供給開口部またはノズルを含む、請求項１に記載の装置。

【請求項3】

前記供給手段は、少なくとも３つの前記供給開口部またはノズルを含む、請求項２に記載の装置。

【請求項4】

前記供給開口部またはノズルは、実質的な等しい角距離で離間され、前記洗浄剤および／または前記乾燥剤を共通の場所に供給するように配置され、前記針は、洗浄および／または乾燥中には前記共通の場所に位置し得る、請求項３に記載の装置。

【請求項5】

前記ノズルの前記供給開口部または排出開口部は、４ｍｍの最大直径、好ましくは１ｍｍの最大直径、より好ましくは０．５ｍｍの最大直径、さらに好ましくはおよそ０．２ｍｍの直径を有する、先行する請求項２から４のうちいずれか１項に係る装置。

【請求項6】

本体を備え、前記本体は、前記洗浄チャンバを取囲み、それによって前記本体と前記洗浄チャンバとの間に空間を規定し、前記本体は、前記洗浄剤および／または前記乾燥剤を前記空間に供給するための入口開口部を含み、前記供給開口部またはノズルは、前記空間を前記チャンバの内空間に接続する、先行する請求項２から５のうちいずれか１項に係る装置。

【請求項7】

好ましくは前記測定プローブの複数の針の形状に従って、異なる位置に配置された複数の前記洗浄チャンバを備え、各チャンバは、前記複数の針のうち１つの前記針を前記洗浄チャンバに導入し、かつ前記洗浄チャンバから取出すための前記開口部を含む、先行する請求項のうちいずれか１項に係る装置。

【請求項8】

針を外端に保持するペン状体を収容するための、前記洗浄チャンバから延在する少なくとも１つの凹部を備える、先行する請求項のうちいずれか１項に係る装置。

【請求項9】

前記針または前記複数の針を導入し、かつ取出すために前記開口部または前記複数の開口部を閉鎖するための手段を備える、先行する請求項のうちいずれか１項に係る装置。

【請求項10】

前記洗浄剤および／または前記乾燥剤の圧力を調整するための圧力調整器と、
特に、洗浄剤粒子のエアロゾルを空気中で生成するために前記洗浄剤を投入するための投入システムと、
前記圧力調整器および／または前記投入システムおよび／または前記供給手段を制御するための制御ユニットとのうち少なくとも１つを備える、先行する請求項のうちいずれか１項に係る装置。

【請求項11】

前記制御ユニットは、
前記洗浄チャンバに前記洗浄剤および／または前記乾燥剤を供給するための期間と、
前記圧力調整器の圧力と、
洗浄剤および／または乾燥剤の供給される量と、のうち少なくとも１つを設定するように配置される、請求項１０に記載の装置。

【請求項12】

前記針または前記複数の針の存在を検出するための検出器を備え、前記制御ユニットは、前記針または前記複数の針の存在の検出に従って、前記圧力調整器および／または前記投入システムおよび／または前記供給手段を制御するように配置される、請求項１０または１１に記載の装置。

【請求項13】

前記圧力調整器は、前記圧力が０．５バール〜６バールの間、たとえば２〜４バールの間、たとえば２．５バール〜３バールの間であるように前記圧力を調節する、請求項１０、１１または１２に記載の装置。

【請求項14】

先行する請求項１〜１３のうちいずれか１項に係る測定プローブ針洗浄装置と測定機とのアセンブリであって、前記測定機は、針または複数の針を含む測定プローブを含む、アセンブリ。

【請求項15】

前記洗浄チャンバおよび前記針または複数の針を互いに関して変位させるための手段を備える、請求項１４に記載のアセンブリ。

【請求項16】

前記測定機は、前記針または複数の針の洗浄中に測定データの測定または記録を一時的に停止するように配置される、請求項１４または１５に記載のアセンブリ。

【請求項17】

好ましくは前記測定プローブの複数の針の形状に従って異なる位置に配置された複数の前記洗浄チャンバを備え、各チャンバは、前記複数の針のうち１つの前記針を前記洗浄チャンバに導入し、かつ前記洗浄チャンバから取出すための前記開口部を含む、請求項１４、１５または１６に記載のアセンブリ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、測定プローブの針を洗浄するための装置に関する。
測定対象について測定機が用いられる。該測定機は、針を有する測定プローブを備える。測定装置は、任意の種類の測定装置、たとえば３Ｄ測定装置であり得る。特に上記測定装置は、加工機の器具を測定するための加工機の一部であり得る。測定プローブの針が汚染された場合、たとえばほこりまたは他の粒子がそれに付着した場合、測定が正確に行われない場合がある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0002】

本発明の目的は、測定プローブの針を洗浄するための装置を提供することである。特に、本発明の目的は、測定処理中に上記針を洗浄するための装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0003】

この目的は、序文に係る装置によって実現され、上記装置は、洗浄処理中に上記針を収容するための洗浄チャンバを備え、上記洗浄チャンバは、上記針を上記洗浄チャンバに導入しかつ上記洗浄チャンバから取出すための開口部を含み、さらに、上記針を洗浄しかつ／または乾燥させるために、洗浄剤、たとえば洗浄液もしくはエアロゾル、および／または乾燥剤、たとえば空気を上記洗浄チャンバに供給するための供給手段を備える。

【0004】

本発明に係る上記装置は、上記針が上記開口部を介して導入され得る洗浄チャンバを設ける。上記洗浄チャンバに上記針を導入した後、好ましくは第１に、上記針を洗浄するために洗浄剤が上記洗浄チャンバに供給され、好ましくは第２に、上記針を乾燥させるために乾燥剤が上記洗浄チャンバに供給される。上記針を洗浄しかつ／または乾燥させた後で、上記開口部を介して上記洗浄チャンバから針を取出してもよく、測定処理が継続されるかまたは開始されてもよい。

【0005】

本発明に係る装置の一実施形態において、上記供給手段は、上記洗浄剤および／または上記乾燥剤を上記洗浄チャンバに供給するために上記洗浄チャンバに注ぐ少なくとも１つの供給開口部またはノズルを含む。

【0006】

供給開口部またはノズルの利点は、上記洗浄剤および／または上記乾燥剤が針の方向に噴霧されるかまたは吹き付けられ得ることである。

【0007】

本発明に係る装置の好ましい実施形態において、上記供給手段は、少なくとも３つの上記供給開口部またはノズルを含む。

【0008】

複数の供給開口部またはノズル、特に３つ以上の供給開口部またはノズルの利点は、上記針の外面全体が洗浄されかつ／または乾燥され得るように、上記洗浄剤および／または上記乾燥剤が洗浄チャンバ内の異なる場所から上記針の方向に噴霧されるかまたは吹き付けられ得るということである。なお、針が複数の方向から噴霧されるかまたは吹き付けられるように、上記供給手段は、任意の数の供給開口部またはノズル、たとえば３個、４個、５個、６個、７個、８個、９個、１０個、またはさらに多くの供給開口部またはノズルを備え得る。

【0009】

好ましくは、上記供給開口部またはノズルは、実質的な等しい角距離で離間され、上記洗浄剤および／または上記乾燥剤を共通の場所に供給するように配置され、上記針は、洗浄および／または乾燥中には上記共通の場所に位置し得る。

【0010】

針は非常に繊細な測定器具である。洗浄剤および／または乾燥剤を針に供給することにより、上記洗浄剤および／または上記乾燥剤によって影響された正しくない測定データを針に表示させる場合があり、該測定データはしたがって、針の洗浄前後で測定されている対象について表していない。上記針が上記共通の場所に保持され、上記等しく離間された供給開口部またはノズルから上記洗浄剤および／または上記乾燥剤を受取ると、上記針が洗浄剤および／または乾燥剤によって影響されることがないように、かつ正しくない測定データを示さないように、洗浄剤および／または乾燥剤の異なる流れが共通の場所において互いに打消し合うかまたは平衡状態となる。本発明に係る装置のそのような実施形態は、測定処理に影響を及ぼすことがないため、針の洗浄中に測定処理が停止される必要がないという利点を有する。

【0011】

上記複数の供給開口部またはノズルは、上記洗浄チャンバの長手方向に見て同じ高さまたは位置に配置されることが好ましい。

【0012】

本発明に係る装置の別の実施形態において、上記ノズルの上記供給開口部または排出開口部は、４ｍｍの最大直径、好ましくは１ｍｍの最大直径、より好ましくは０．５ｍｍの最大直径、さらに好ましくはおよそ０．２ｍｍの直径を有する。

【0013】

上記ノズルの、そのように比較的小さな供給開口部または排出開口部は、洗浄剤および／または乾燥剤が針の方向に比較的高圧で噴霧されるかまたは吹き付けられるという利点をもたらす。

【0014】

なお、上記ノズルの供給開口部または排出開口部の直径は、上記最大範囲内にある任意の寸法を有し得る。

【0015】

本発明に係る装置のさらに別の実施形態において、上記装置は本体を備え、上記本体は、上記洗浄チャンバを取囲み、それによって上記本体と上記洗浄チャンバとの間に空間を規定し、上記本体は、上記洗浄剤および／または上記乾燥剤を上記空間に供給するための入口開口部を含み、上記供給開口部またはノズルは、上記空間を上記チャンバの内空間に接続する。

【0016】

そのような配置では、供給開口部またはノズルの数とは無関係に、入口開口部を１つだけ設ければよい。洗浄剤および／または乾燥剤の圧力は、これによりすべての供給開口部またはノズルについて等しい。特に、等しく離間された供給開口部またはノズルを備える実施形態と組合わせると、これは、洗浄および／または乾燥中に針に影響を及ぼさないという効果を支持し得る。

【0017】

本発明に係る装置のさらに別の実施形態において、上記装置は、好ましくは上記測定プローブの複数の針の形状に従って、異なる位置に配置された複数の上記洗浄チャンバを備え、各チャンバは、上記複数の針のうち１つの上記針を上記洗浄チャンバに導入し、かつ上記洗浄チャンバから取出すための上記開口部を含む。

【0018】

上記複数の針のうちそれぞれの針を上記洗浄チャンバに導入し、かつ上記洗浄チャンバから取出すための上記開口部を各々が含む複数の洗浄チャンバを設けることによって、たとえば複雑な形状に配置された複数の針を有するプローブを洗浄することが可能である。

【0019】

上記複数の洗浄チャンバは、１つの本体および複数の本体に設けられ得る。複数の本体の本体は、たとえば上記測定プローブの複数の針の形状に従って、異なる位置および／または角度に配置され得る。

【0020】

本発明に係る装置のさらに別の実施形態において、針を外端に保持するペン状体を収容するための、上記洗浄チャンバから延在する少なくとも１つの凹部が設けられる。

【0021】

本発明に係る装置のさらに別の実施形態において、上記は、上記針または上記複数の針を導入し、かつ取出すために上記開口部または上記複数の開口部を閉鎖するための手段を備える。

【0022】

針または複数の針が上記洗浄チャンバに存在しない時、上記開口部は好ましくは閉鎖され得る。装置のこの実施形態は、上記針または複数の針が加工機の一部である測定機の一部である場合に特に有利である。処理中に、削りくず、ほこりなどの（ごみ）粒子が形成され得、他の場合には上記洗浄チャンバの上記開口部に入り込み得るが、上記閉鎖手段によって開口部に入り込むことが妨げられる。

【0023】

本発明に係る装置のさらに別の実施形態において、上記装置は、上記洗浄剤および／または上記乾燥剤の圧力を調整するための圧力調整器と、特に、洗浄剤粒子のエアロゾルを空気中で生成するために上記洗浄剤を投入するための投入システムと、上記圧力調整器および／または上記投入システムおよび／または上記供給手段を制御するための制御ユニットとのうち少なくとも１つを備える。

【0024】

実際には、上記制御ユニットは、上記洗浄チャンバに上記洗浄剤および／または上記乾燥剤を供給するための期間と、上記圧力調整器の圧力と、洗浄剤および／または乾燥剤の供給される量とのうち少なくとも１つを設定するように配置される。

【0025】

本発明に係る装置のさらに別の実施形態において、上記装置は、上記針または上記複数の針の存在を検出するための検出器を備え、上記制御ユニットは、上記針または上記複数の針の存在の検出に従って、上記圧力調整器および／または上記投入システムおよび／または上記供給手段を制御するように配置される。

【0026】

そのような実施形態において、洗浄剤および／または乾燥剤が浪費されないように、上記針または複数の針の存在を検出した後でのみ洗浄および／または乾燥が行われ得る。

【0027】

本発明に係る装置のさらに別の実施形態において、上記圧力調整器は、上記圧力が０．５バール〜６バールの間、たとえば２〜４バールの間、たとえば２．５バール〜３バールの間であるように上記圧力を調節する。

【0028】

本発明は、請求項１〜１３のうちいずれか１項に係る装置と測定機とのアセンブリにも関する。

【0029】

測定機は、任意の種類の測定装置、たとえば３Ｄ測定装置であり得る。特に、上記測定装置は、加工機の測定器具のための加工機の一部であり得る。特に、上記測定機は、針または複数の針を含む測定プローブを含む。

【0030】

本発明に係るアセンブリの一実施形態において、上記アセンブリは、上記洗浄チャンバおよび上記針または複数の針を互いに関して変位させるための手段を備える。

【0031】

針または複数の針は、上記洗浄チャンバへの挿入および上記洗浄チャンバからの取出しのため、かつ／または洗浄中に特定の方向に前後に上記針もしくは複数の針を特定の方向に前後に変位させるように変位され得る。代替的に、上記洗浄チャンバが同じ理由で変位されてもよい。別の実施形態において、上記洗浄チャンバは、上記針または複数の針の形状または寸法に従って変位され得る。

【0032】

測定処理中に洗浄が行われ得、上記測定処理が影響されることも停止される必要もないように、上記針または複数の針が洗浄中に影響されないことが好ましい。代替的に、上記測定機は、上記針または複数の針の洗浄中に測定データの測定または記録を一時的に停止するように配置される。

【0033】

本発明はさらに、請求項１４、１５または１６に記載のアセンブリに関し、好ましくは上記測定プローブの複数の針の形状に従って異なる位置に配置された複数の上記洗浄チャンバを備え、各チャンバは、上記複数の針のうち１つの上記針を上記洗浄チャンバに導入し、かつ上記洗浄チャンバから取出すための上記開口部を含む。

【0034】

本発明は、図面に例示される図を参照してより詳細に説明される。

【図面の簡単な説明】

【0035】

【図1A】本発明に係る装置の第１の実施形態および針を示す斜視図である。

【図1B】本発明に係る装置の第１の実施形態および針を示す縦断面図である。

【図1C】本発明に係る装置の第１の実施形態および針を示す、供給開口部の高さにおける斜視図である。

【図2】図１の装置に洗浄剤および／または乾燥剤を供給するフローチャートである。

【図3A】閉鎖手段を備える本発明に係る装置の第２の実施形態の斜視図であり、第１の閉位置にある閉鎖手段を示す図である。

【図3B】閉鎖手段を備える本発明に係る装置の第２の実施形態の斜視図であり、第２の開位置にある閉鎖手段を示す図である。

【図4】本発明に係る装置の第３の実施形態の斜視図である。

【図5】本発明に係る装置の第４の実施形態および複数の針の斜視図である。

【図6A】本発明に係る装置の第５の実施形態の斜視図であり、組立てられた装置を示す図である。

【図6B】本発明に係る装置の第５の実施形態の斜視図であり、組立てられた装置を示す図である。

【図6C】本発明に係る装置の第５の実施形態の斜視図であり、本体および洗浄チャンバを示す図である。

【図6D】本発明に係る装置の第５の実施形態の斜視図であり、本体および洗浄チャンバを示す図である。

【図7】本発明に係る装置の第６の実施形態の斜視図である。

【図8】本発明に係る装置の第７の実施形態の斜視図である。

【図9】本発明に係る装置の第８の実施形態の斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0036】

図において、同じ要素は同じ参照符号によって示される。
図１Ａ〜図１Ｃは、測定機（図示せず）の測定プローブ２の針１を洗浄するための装置を示す。上記装置は、洗浄処理中に上記針１を収容するための洗浄チャンバ４を有する本体３を含む。洗浄チャンバ４は、上記針１を上記洗浄チャンバ３に導入し、かつ上記洗浄チャンバ３から取出すための開口部５を備える。

【0037】

本体３と洗浄チャンバ４との間には空間６が規定される。上記空間６に洗浄剤および／または乾燥剤を供給するための入口開口部７が上記空間６に接続される。上記洗浄剤は、洗浄液、洗浄ガス、または、洗浄液の小滴がガス、たとえば空気に含まれている洗浄エアロゾルなどの任意の好適な洗浄剤であり得る。上記乾燥剤は、任意の好適な乾燥剤、たとえば乾燥ガス、特に空気であり得る。上記洗浄チャンバ４に洗浄剤および／または乾燥剤を供給するために、８個の上記供給開口部８が上記空間６を上記洗浄チャンバ４の内空間に接続する。８個の供給開口部８は、実質的な等しい角距離ａで離間される。ａは８個の供給開口部８では４５°であり、上記洗浄剤および／または上記乾燥剤を共通の場所９に供給するように配置される。共通の場所９には、洗浄および／または乾燥中に上記針１が位置し得る。図１Ａ〜図１Ｃの装置の洗浄チャンバ４は円筒状である。洗浄剤および／または乾燥剤を径方向に供給するように供給開口部８が配置されるように、供給開口部８は上記円筒壁に接線的に配置され、上記針１は、供給開口部８の高さにおいて洗浄チャンバ４の中央に保持される。出願人は、８個の等しく分散された供給開口部８が径方向に噴霧するかまたは吹付け、針１が中央に保持された構成では、上記洗浄剤および／または乾燥剤によって針１が影響されず、測定処理が洗浄中に停止される必要がないことを見出した。

【0038】

任意に、洗浄および／または乾燥中に、針１のすべての部分を洗浄剤および／または乾燥剤に露出させるために、上記針１が方向１０に前後移動され得る。代替的に、上記洗浄チャンバ４が方向１０に前後移動されてもよい。方向１０は、洗浄チャンバ４の長手方向と平行である。

【0039】

図１Ｂに示されるように、供給開口部８の直径は洗浄チャンバ４の方向に減少し、それによって洗浄剤および／または乾燥剤の圧力および／または速度が増大する。洗浄チャンバ８の入口における供給開口部８の直径は、図１Ａ〜図１Ｂの例では０．２ｍｍであり、これは、針１に影響を及ぼすことなく洗浄剤および／または乾燥剤を針１に向けるために好適な圧力および／または速度をもたらすことが判明している。なお、任意の好適な直径が選択され得る。

【0040】

図１Ａに示されるように、上記装置は上記針１の存在を検出するための検出器１１を備える。上記針１を検出すると、洗浄処理が始められ得る。

【0041】

本体３および検出器１１は両方ともベース１２に装着される。ベース１２は、テーブルまたは他の支持物上に水平に配置されてもよいし、支持物に垂直に取付けられてもよい。

【0042】

図２は、上記洗浄剤および／または上記乾燥剤を図１の装置に供給するフローチャートを示す。ガス、たとえば空気は、ガスの圧力を調整するための圧力調整器２１に管２０などを介して提供される。ガスの圧力は、たとえば０．５バール〜６バールの間、たとえば２〜４バールの間、たとえば２．５バール〜３バールの間に設定される。圧力下でのガスが次いで流量調節計２３に供給され、流量調節計２３は、管２４などに、または管２６などにガスを向ける。管２４は、ディスペンサ２５に接続する。ディスペンサ２５において、洗浄液粒子が上記ガスに含まれるように、洗浄剤が上記ガスに投入される。洗浄液粒子を含む上記ガスは、次いで空間６に、かつそれによって管２７および管２８を介して洗浄チャンバに供給される。管２６は、ガスが上記乾燥剤として空間６および洗浄チャンバ４に供給され得るように、管２８に直接接続する。上記圧力調整器２１と、ディスペンサ２５に投入される液体の量と、針１を洗浄するためにまずディスペンサ２５を介して、次いで洗浄後に針１を乾燥させるために直接管２６および２８を介して、空間６にガスを提供するための期間を制御するための流量調節計２３とを制御するための制御ユニットが設けられる。たとえば、まず針１は数秒間洗浄され、次いで針１は数秒間乾燥される。上記期間は好適に選択されてもよく、これに限定されない。

【0043】

図３Ａおよび図３Ｂは、本発明に係る装置の第２の実施形態の斜視図である。第２の実施形態に係る上記装置は、バルブ３０が開口部５を閉鎖する図３Ａに示されるような第１の閉位置と、バルブ３０が開口部５を閉鎖しない図３Ｂに示されるような第２の開位置との間で変位可能な閉鎖バルブ３０を装置が備える点でのみ第１の実施形態に係る装置とは異なる。バルブ３０は、開口部５を閉鎖し、それによって外部の環境から洗浄チャンバ４を保護するため、特に、開口部５を介してその中に入り込むほこりおよび他の粒子から洗浄チャンバ４を保護するためにその第１の位置に常に保持されてもよく、針１を洗浄するために針１が洗浄チャンバ４に導入され得るように開口部５を解放するためにその第２の位置に一時的に変位されてもよい。洗浄後、バルブ３０はその第１の位置に戻される。

【0044】

図３Ａおよび図３Ｂに示されるバルブ３０は、第１の位置と第２の位置との間で回転する。任意の好適なやり方で、たとえばバルブを並進して変位させることによって、バルブが変位され得ることは当業者にとって明らかであろう。バルブの代わりに、任意の好適な閉鎖手段が設けられ得る。上記閉鎖手段またはバルブ３０と上記開口部５との間に任意にシーリングが設けられ得る。

【0045】

なお、図１Ａ〜図１Ｃに示されるような装置の第１の実施形態に対する図３Ａおよび図３Ｂに示されるような装置の第２の実施形態の相違点のみがここで説明される。図３Ａおよび図３Ｂに係る装置のさらなる説明について、図１Ａ〜図１Ｃの説明を参照する。

【0046】

図４は、本発明に係る装置の第３の実施形態の斜視図である。第３の実施形態に係る上記装置は、洗浄チャンバ４および開口部５が丸形断面の代わりに六角形の断面を有する点でのみ第１の実施形態に係る装置とは異なる。合計６つの供給開口部が設けられる（図示せず）ように、洗浄チャンバ４の６つの壁セクションの各々に供給開口部が配置される。供給開口部は、好ましくは、洗浄チャンバ４の長手方向に同じ高さに、つまり開口部５から同じ長手距離に配置され、好ましくは、供給開口部が等しい角距離αで離間されるように、洗浄チャンバ４および壁セクションの横断方向に見た各壁セクションの中央に各々が配置されることが好ましく、αは６０°である。供給開口部は、上記洗浄剤および／または上記乾燥剤を共通の場所に供給するように配置される。共通の場所は、開口部５および洗浄チャンバ４の中心長手軸である。

【0047】

なお、六角形の断面の代わりに、好適な各多角形断面が選択されてもよい。供給開口部は、各壁セクションに、または壁セクションの一部に設けられてもよい。

【0048】

さらに、図１Ａ〜図１Ｃに示される装置の第１の実施形態に対する図４に示される装置の第３の実施形態の相違点のみをここで説明する。図４に係る装置のさらなる説明については、図１Ａ〜図１Ｃの説明を参照する。

【0049】

図５は、本発明に係る装置の第４の実施形態の斜視図である。第４の実施形態に係る上記装置は、異なる種類の測定プローブ２の５本の針１を受取るために５つの開口部５を備える点でのみ第１の実施形態に係る装置とは異なる。開口部５は針１の形状に従って１つの本体３の上側面に配置され、凹部４０を介して相互に接続され、ペン状要素４１によって外端に保持される５本の針１が好ましくは同時に針１を洗浄するためにそれぞれの洗浄チャンバ４に同時に導入され得る。各開口部５は、洗浄チャンバ４への入り口を提供し、各洗浄チャンバ４は、洗浄剤および／または乾燥剤を供給するための１つ以上の供給開口部を備え得る。複数の供給開口部が各洗浄チャンバ４に設けられる場合、各洗浄チャンバ４の供給開口部は等しい角距離で離間され得、洗浄剤および／または乾燥剤を径方向に供給するために接線的に配置され得る。

【0050】

なお、たとえば測定プローブ２の針１の形状に従って、開口部５を有する任意の好適な数の洗浄チャンバ４が設けられ得る。

【0051】

さらに、１つの本体４に設けられる複数の洗浄チャンバ４は、凹部４０を介して相互に接続され、したがって１つの洗浄チャンバ４とも見なされ得る。

【0052】

さらに、図１Ａ〜図１Ｃに示される装置の第１の実施形態に対する図５に示される装置の第４の実施形態の相違点のみをここで説明する。図５に係る装置のさらなる説明については、図１Ａ〜図１Ｃの説明を参照する。

【0053】

図６Ａ〜図６Ｄは、本発明に係る装置の第５の実施形態の斜視図である。第５の実施形態に係る上記装置は、本体３の上側面の中央開口部５から本体３の外側の円筒状の周縁に延在する４つの凹部４０が設けられる点で第１の実施形態に係る装置と異なる。開口部５は、１回につき測定プローブ２の５本の針１のうちの１本を受取るために１つの中央洗浄チャンバ４への入り口を提供する。中央の下側の針１が本体３の上側面の開口部５に導入される場合、他の４本の針１は、４つの周方向の凹部４０を介して本体３の外方に延在する。凹部４０は、それらの外端（図６Ａ参照）において針１を保持するプローブ２のペン状要素４１を収容する。同じ平面内に配置される他の４本の針１の各々は、針１を有するプローブ２を回転させる必要なしに、それぞれの凹部４０を介して開口部５に導入され得る（図６Ｂ参照）。

【0054】

図６Ｃおよび図６Ｄは、分解された状態で本体３および洗浄チャンバ４を構成する２つの要素を示す。図６Ｄは、外周の一部上で凹部４０を取囲む密封体５０を各凹部４０が備えることを示す。密封体５０は、図６Ａの組立てられた状態において本体３の内壁および直立の環状突起５１に対して配置されることによって、図６Ｃおよび図６Ｄに示される空間６を封止する。

【0055】

なお、図１Ａ〜図１Ｃに示される装置の第１の実施形態に対する図６Ａ〜図６Ｄに示される装置の第５の実施形態の相違点のみをここで説明する。図６Ａ〜図６Ｄに係る装置のさらなる説明については、図１Ａ〜図１Ｃの説明を参照する。

【0056】

図７は、本発明に係る装置の第６の実施形態の斜視図である。第６の実施形態に係る上記装置は、各々が洗浄チャンバ４および開口部５を備える５つの本体３を備える点で第１の実施形態に係る装置とは異なる。図７の実施形態は、図５および図６のプローブ２の針１を洗浄するのにも好適である。中央の下側の針１が、中央に配置された本体３の洗浄チャンバ４に導入される。図１Ａ〜図１Ｃに示されたものと同じ、洗浄チャンバ４を有する本体３である。同じ平面内に配置される他の４本の針１は、図５および図６に示されるペン状要素４１を収容するために開口部５および凹部４０を介して中央に配置された本体３の周りに位置するそれぞれの本体３のそれぞれの洗浄チャンバ４に導入される。各々が凹部４０を備える本体３は、図６Ａ〜図６Ｄに示される本体３と大体同様であるが、凹部４０が１つしか備えていないという相違点を有する。本体３のさらなる説明については、図６Ａ〜図６Ｄの説明を参照する。本体３は、各凹部３０が針１の形状に従って中央に配置された本体３に向けられるように配置される。

【0057】

なお、図１Ａ〜図１Ｃに示される装置の第１の実施形態に対する図７に示される装置の第６の実施形態の相違点のみをここで説明する。図７に係る装置のさらなる説明については、図１Ａ〜図１Ｃの説明を参照する。

【0058】

図８は、本発明に係る装置の第７の実施形態の斜視図である。第７の実施形態に係る上記装置は、４つの外側本体３および中央に配置された本体３の各々間の距離が調整可能であるように、中央に配置された本体３に関して４つの外側本体３が変位可能である点で第６の実施形態に係る装置とは異なる。４つの外側本体３は案内レール６０上に配置され、その長さに沿って変位可能である。４つの外側本体３および中央に配置された本体３の各々間の距離を調整することによって、針１を有する特定のプローブ２の寸法に装置を適合させることが可能である。

【0059】

なお、図７に示された装置の第６の実施形態に対する図８に示される装置の第７の実施形態の相違点のみをここで説明する。図８に係る装置のさらなる説明については、図７の説明を参照する。

【0060】

図９は、本発明に係る装置の第８の実施形態の斜視図である。第８の実施形態に係る上記装置は、各々が洗浄チャンバ４および開口部５を有する２つの本体３を備える点で第１の実施形態に係る装置とは異なる。本体３は、図１Ａ〜図１Ｃに示されるものと各々同様である。第１の本体３および検出器１１がベース１２ａ上に配置される。該構成は、図１Ａに示される構成と大体同様である。第２の本体３はベース１２ｂ上に配置され、ベース１２ｂは、取付け手段７０によって９０°の角度でベース１２ａに取付けられている。図５および図６の針１を有するプローブ２は、１つの平面のみにおいて針１を回転させることによって図９に係る装置で洗浄され得る。下側の中央針１は、ベース１２ａまたは１２ｂ上に位置する本体３の洗浄チャンバ４内で洗浄され得、他の４本の針１は他方のベース１２ｂまたは１２ａ上に位置する本体３の洗浄チャンバ４内で洗浄され得る。

【0061】

なお、図１Ａ〜図１Ｃに示される装置の第１の実施形態に対する図９に示される装置の第８の実施形態の相違点のみをここで説明する。図９に係る装置のさらなる説明については、図１Ａ〜図１Ｃの説明を参照する。

【0062】

本発明は図面に示される変形に制限されず、添付の請求の範囲内にある他の好ましい実施形態も対象とする。

【図1A】

【図1B】

【図1C】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図6D】

【図7】

【図8】

【図9】

【国際調査報告】