発明の名称 ポリシリコン製造装置
出願人 ハンワ ケミカル コーポレイション (識別番号 501014658)
特許公開件数ランキング 1577 位(4件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1408 位(4件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2017-501301
公報発行日 2017年1月12
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-T-2017-501301
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