発明の名称 サブ20nmの図案の均一なインプリントパターン転写方法
出願人 キャノン・ナノテクノロジーズ・インコーポレーテッド (識別番号 514153148)
特許公開件数ランキング 12243 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 10267 位(0件)(共同出願を含む)
出願人 モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド (識別番号 503193362)
特許公開件数ランキング 12243 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 10267 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2017-504201
公報発行日 2017年2月2
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-T-2017-504201
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