特表2017-515316半導体ウエハをプラズマ・ダイシングするための方法及び装置

発明の名称　半導体ウエハをプラズマ・ダイシングするための方法及び装置

出願人　プラズマ　−　サーム、エルエルシー　（識別番号 513232288）

　　　　特許公開件数ランキング 14438 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12196 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2017-515316

公報発行日　2017年6月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2017-515316

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