特表2017-517638(P2017-517638A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2017-517638糸状コンポーネントの表面処理または被覆を実行するための電子サイクロトロン共鳴(ECR)の場におけるマイクロ波エネルギーによってエネルギーを付与されたプラズマを発生するためのプロセス及びデバイス
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