特表2017-520909基板をエッチングする方法、デバイス構造をエッチングする方法及び処理装置

発明の名称　基板をエッチングする方法、デバイス構造をエッチングする方法及び処理装置

出願人　ヴァリアン　セミコンダクター　イクイップメント　アソシエイツ　インコーポレイテッド　（識別番号 500239188）

　　　　特許公開件数ランキング 31345 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25417 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2017-520909

公報発行日　2017年7月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2017-520909

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