特表2017-524729(P2017-524729A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2017-524729新規ルテニウム化合物、その製造方法、これを含む膜蒸着用前駆体組成物、及びこれを利用した膜の蒸着方法
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