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特表2017-524831スパッタリングターゲット
発明の名称 スパッタリングターゲット
出願人 プランゼー コンポジット マテリアルズ ゲーエムベーハー （識別番号 515319954）
特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 エリコン サーフェス ソリューションズ アーゲー、 プフェフィコン （識別番号 516082866）
特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1949 位（8件）（共同出願を含む）
公報番号 特表-2017-524831
公報発行日 2017年8月31
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-T-2017-524831
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