特表2017-525852部分吸収性層を有する二重層系ならびに該層の製造方法および該層の製造のためのスパッタリングターゲット

発明の名称　部分吸収性層を有する二重層系ならびに該層の製造方法および該層の製造のためのスパッタリングターゲット

出願人　ヘレーウス　ドイチュラント　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング　ウント　コンパニー　コマンディートゲゼルシャフト　（識別番号 315003088）

　　　　特許公開件数ランキング 15681 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 13301 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2017-525852

公報発行日　2017年9月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2017-525852

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