特表2017-533542隠れ偏向電極を用いるイオンビームのイオン角度分布の制御

発明の名称　隠れ偏向電極を用いるイオンビームのイオン角度分布の制御

出願人　ヴァリアン　セミコンダクター　イクイップメント　アソシエイツ　インコーポレイテッド　（識別番号 500239188）

　　　　特許公開件数ランキング 31345 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25417 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2017-533542

公報発行日　2017年11月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2017-533542

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特表-2017-533542「隠れ偏向電極を用いるイオンビームのイオン角度分布の制御」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録