特表2018-501404(P2018-501404A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2018-501404２つの端ブロック、アセンブリを含む装置及びその装置を備えるスパッタシステム、並びにその装置またはアセンブリを使用してターゲットアセンブリにＲＦ電力を供給する方法
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