特表2018-501404２つの端ブロック、アセンブリを含む装置及びその装置を備えるスパッタシステム、並びにその装置またはアセンブリを使用してターゲットアセンブリにＲＦ電力を供給する方法

発明の名称　２つの端ブロック、アセンブリを含む装置及びその装置を備えるスパッタシステム、並びにその装置またはアセンブリを使用してターゲットアセンブリにＲＦ電力を供給する方法

出願人　ソレラス・アドヴァンスト・コーティングス・ビーヴイビーエー　（識別番号 505360498）

　　　　特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2018-501404

公報発行日　2018年1月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2018-501404

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