特表2018-523750基板保持器受入れ装置

発明の名称　基板保持器受入れ装置

出願人　アトテツク・ドイチユラント・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング　（識別番号 300081877）

　　　　特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2443 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2018-523750

公報発行日　2018年8月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2018-523750

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