特表2018-525813ＬＥＤ加熱装置を備えた静電チャック

発明の名称　ＬＥＤ加熱装置を備えた静電チャック

出願人　ヴァリアン　セミコンダクター　イクイップメント　アソシエイツ　インコーポレイテッド　（識別番号 500239188）

　　　　特許公開件数ランキング 14110 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11941 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2018-525813

公報発行日　2018年9月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2018-525813

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