特表2018-530511多結晶シリコンを堆積させるための反応器

発明の名称　多結晶シリコンを堆積させるための反応器

出願人　ワッカー　ケミー　アクチエンゲゼルシャフト　（識別番号 390008969）

　　　　特許公開件数ランキング 866 位（9件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 706 位（10件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2018-530511

公報発行日　2018年10月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2018-530511

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