発明の名称 MEMSデバイスの構造パラメータを操作する為のMEMSグリッド
出願人 メムズ ドライブ,インク. (識別番号 516331096)
特許公開件数ランキング 15681 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 13301 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2018-531158
公報発行日 2018年10月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-T-2018-531158
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