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特表2018-534120基板にナノ粒子のエアロゾル堆積を行うための装置及び方法
発明の名称 基板にナノ粒子のエアロゾル堆積を行うための装置及び方法
出願人 ナショナル リサーチ カウンシル オブ カナダ （識別番号 595006223）
特許公開件数ランキング 13975 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 11821 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特表-2018-534120
公報発行日 2018年11月22
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-T-2018-534120
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