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特表2019-517707(P2019-517707A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2019-517707電場結合を用いる小型マイクロ波プラズマ照射装置

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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