発明の名称 アニールおよび選択的堆積を組合せたシステム
出願人 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. (識別番号 512144771)
特許公開件数ランキング 15681 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 13301 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2019-518134
公報発行日 2019年6月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-T-2019-518134
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