特表2019-525392傍熱型陰極イオン源及びベルナス（ＢｅｒｎＡｓ）イオン源

発明の名称　傍熱型陰極イオン源及びベルナス（ＢｅｒｎＡｓ）イオン源

出願人　ヴァリアン　セミコンダクター　イクイップメント　アソシエイツ　インコーポレイテッド　（識別番号 500239188）

　　　　特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2019-525392

公報発行日　2019年9月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2019-525392

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