特表2019-534245(P2019-534245A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2019-534245５族金属化合物、その製造方法、それを含む膜蒸着用前駆体組成物、及びそれを用いる膜の蒸着方法
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