特表2019-537261プロセスチャンバ中でマイクロエレクトロニクス基板を処理するための磁気的な浮上および回転するチャック

発明の名称　プロセスチャンバ中でマイクロエレクトロニクス基板を処理するための磁気的な浮上および回転するチャック

出願人　ティーイーエル　エフエスアイ，インコーポレイティド　（識別番号 508151552）

　　　　特許公開件数ランキング 15681 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 13301 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2019-537261

公報発行日　2019年12月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2019-537261

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