特表2020-502806ＳｉＣ蒸着層を含む半導体製造用部品及びその製造方法

発明の名称　ＳｉＣ蒸着層を含む半導体製造用部品及びその製造方法

出願人　トーカイ　カーボン　コリア　カンパニー．，リミテッド　（識別番号 518450083）

　　　　特許公開件数ランキング 11966 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24983 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2020-502806

公報発行日　2020年1月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2020-502806

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