特表2020-511598スパッタターゲット、及びスパッタターゲットの製造方法

発明の名称　スパッタターゲット、及びスパッタターゲットの製造方法

出願人　プランゼー　コンポジット　マテリアルズ　ゲーエムベーハー　（識別番号 515319954）

　　　　特許公開件数ランキング 31134 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25269 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2020-511598

公報発行日　2020年4月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2020-511598

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