特表2020-513687(P2020-513687A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2020-513687マイクロ光学ベンチコンポーネントを用いる、面内光学軸を備えた光学MEMS構造のバッチ試験用の集積化光学プローブカード及びシステム
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