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特表2020-525640(P2020-525640A)
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特表
2020-525640
フッ化イットリウムオキシドコーティング膜の形成方法およびこれによるフッ化イットリウムオキシドコーティング膜
書誌
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詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
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